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单晶断棱的原因及采取的单晶断棱的原因及采取的措施措施断棱的原因及采取的措施n断棱的原因：nA：极限真空、漏气率达不到要求nB：设备故障nC：缩颈位错排除不干净nD：吃渣nE：操作不当nF：热场梯度不合适 避免吃渣采取的措施n1.装料时要认真检查原料是否有石英、石墨，尽量避免熔硅时的搭桥、挂边，检查原料是否清洗干净。n2.炉室及导流筒的内、外表面必须清扫干净，必要时要用沙纸把表面过多的挥发物要进行清理。n3.严格按操作工艺要求操作，认真检查炉台各部分的密封，并按工艺要求进行清理。n4.对于抽气率、漏气率要严格按工艺要求执行。n5.认真观察拉晶过程中炉内的运行情况，并做好记录，存在的问题要及时处理。n6.必要时要掉出一部分料沾出一些渣点，高温挥发一段时间 操作不当n1.引晶、缩颈位错排除的不彻底n2.放肩速度不合适，温度、拉速控制不当n3.转肩没有掌握要领n4.装炉检查不仔细，造成坩埚摆动，液面晃动n5.熔硅不当，造成溅硅、挂边，坩埚变形n6.翻板阀使用不当，造成返气（强调翻板阀使用方法）
