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1、第一节键合工艺Wire bond 的构成 FAB FAB 的形成的形成（空空气气中的金球中的金球Free Air Ball）Ball Bonding (1st 結合) 加加热热 + + 振振动动( (超音波超音波) ) 形成形成AuAu和和AlAl金属间金属间的化合物的化合物行程行程 1: 1: 焊焊头头在打火高度在打火高度( ( 复复位位置位位置 ) )空空气气中的金球中的金球Free Air Free Air BallBall（FAB)FAB)劈刀劈刀 - Capillary*打火要求: 准确和对准烧球烧球不好可能存在问题：烧球不好可能存在问题：1) 打扁金球2) 高尔夫球或叫匙球 - G
2、olf or Club Ball3) 不粘 - Non sticking4) 起坑: 因劈刀直接打在焊压点行程行程 2: 2: 焊头由打火高度下降到第一焊点搜索高度焊头由打火高度下降到第一焊点搜索高度Die焊頭在向下運動的過程中, 金球通过气压的空气張力, 使金球緊貼劈刀凹槽在第一焊點搜索高度開始, 焊頭使用固定的速度搜索接觸高度第一焊點搜索速度第一焊點搜索速度1st Search Speed 1第一焊點搜索高度第一焊點搜索高度1st Search Height行程行程 3: 3: 接接触触高度和高度和压焊工艺压焊工艺; ; 第一焊第一焊点参数点参数最初的球形影响参数:预备功率Standby
3、PowerDIEDIE最最終的球形和終的球形和质量质量決定于決定于: :1 1STST BOND BOND CONTACT TIMECONTACT POWER, CONTACT FORCE, BASE TIMEBASE POWERBASE FORCE行程行程 4: 4: 共晶金共晶金属属的形成的形成超超声声功率功率Ultrasonic PowerUltrasonic Power共晶金共晶金属属的生長的生長DIEDIE共晶金属的覆盖面积共晶金属的覆盖面积第一焊點的功率和壓力變量曲線簡圖第一焊點的功率和壓力變量曲線簡圖第一焊點的功率和壓力變量曲線簡圖第一焊點的功率和壓力變量曲線簡圖1 1st st
4、 Bong Power and Force Profile Bong Power and Force ProfileRelease ForceDieDieDieDieDieDieContact TimeBase TimeStandby Power功率功率POWER压力压力FORCEContact PowerBase PowerImpact ForceContact ForceBase ForceSearch TimeRel. TimeRel. Powe r行程行程 5: 完成第一完成第一点压焊后点压焊后, 焊焊头头上升到反向高度上升到反向高度（Reverse Height）DIEDIE反向高度
5、反向高度 - RHRH焊头向上运动焊头向上运动行程行程 6: 反向距反向距离离Stage 6: Reverse Distance反向距反向距离离-RDDIE行程行程 7: 7: 焊頭上升到焊頭上升到线线弧高度位置弧高度位置DIDIE E焊頭向上焊頭向上运动运动行程行程 8: 8: 在弧度高度在弧度高度搜索延搜索延迟迟XY XY 工作台向第二工作台向第二压压点移动点移动焊焊头头不不动动DIE搜索延迟搜索延迟SEARCH DELAYSEARCH DELAY行程行程 9: XYZ 移向第二移向第二壓點搜索高度壓點搜索高度DIDIE EARC MOTIONSD第二焊點搜索高度第二焊點搜索高度 - 2
6、- 2ndnd Sch. Sch. HighHigh第一焊點搜索速度第一焊點搜索速度 - - 2nd Sch. 2nd Sch. SpeedSpeedLeadDIE行程行程 10: 第二第二点接触点接触LEAD”最初的楔形影响参数:碰撞压力和預备功率行程行程 11: 11: 第二第二压点参数压点参数Lead最終的楔形最終的楔形质质量決定于量決定于: :2nd bondContact Time, Contact Power, Contact ForceBase Time, Base Power, Base Force第二焊第二焊第二焊第二焊点点点点的功率和的功率和的功率和的功率和压压压压力力力力
7、变变变变量曲量曲量曲量曲线简图线简图线简图线简图Contact TimeBase TimeStandby Power功率功率POWER压压力力FORCEContact PowerBase PowerImpact ForceContact ForceBase ForceRelease Force 2LEADLEADLEADFinal Wedge ShapeSearch TimeRelease TimeRelease Power行程行程 12: 12: 焊焊头头在尾在尾丝丝高度高度完成第二點完成第二點压焊后压焊后, , 焊焊头头上升到尾上升到尾丝丝高高度度, , 然后线夹关上然后线夹关上Lead線
8、夾“關上”WIRE CLAMP “CLOSE”尾絲長度尾絲長度Tail lengthLead行程行程 13: 13: 拉断尾丝拉断尾丝线夹线夹在尾在尾丝丝位置位置关关上上, , 把尾把尾丝从丝从第二第二压点压点拉拉断后断后, ,焊焊头头上升到上升到打火高度打火高度线夹关闭WIRE CLAMP “CLOSE”行程行程 14: 14: 金球形成，金球形成，开始下一个压焊过程开始下一个压焊过程线夹关闭WIRE CLAMP ”CLOSE”金球金球 FAB打火杆 E -Torch焊焊头头到到达烧球达烧球高度高度, ,烧烧球球延延迟迟以以后后, , 然然后电后电子打子打火形成火形成对称对称的金球的金球第二
9、节常见问题处理问题处理FAB 形成不良 1 1）检查线夹）检查线夹，劈刀劈刀是否污染是否污染 2 2）用用pant light pant light 检检查查金丝金丝是否有手指印是否有手指印 3 3）EFOEFO 放放电电呈黃色，呈黃色，检检查指查指纹纹，E-TorchE-Torch 4 4）如果是铜丝键合检查氮氢混合气是否正常）如果是铜丝键合检查氮氢混合气是否正常 1 1）检查）检查pad pad 有有无无污染污染 2 2）适当调整一焊点）适当调整一焊点Standby Power Contact Time，Contact Power，Contact Force Base Time ，Base
10、 Power，Base Force参数 3 3）检查劈刀是否沾污或损坏，是否选用了合适的）检查劈刀是否沾污或损坏，是否选用了合适的劈刀型号劈刀型号 4) 4) 铜丝键合检查铜丝键合检查FABFAB是否氧化，氮氢气有无异常是否氧化，氮氢气有无异常 5) 5) 调整调整Power输出模式(Low,High)(Normal,Cont-I,Cont-P)1st bond non stick处理方法 1 1）检查引线框架）检查引线框架有有无无污染污染或不良或不良 2 2）检查劈刀是否沾污或损坏，是否选用了合适的）检查劈刀是否沾污或损坏，是否选用了合适的 劈刀型号劈刀型号 3 3）适当调整二焊点）适当调整
11、二焊点Standby Power Contact Time，Contact Power，Contact Force Base Time ，Base Power，Base Force参数 4) 4) 调整调整Power输出模式(Low,High)(Normal,Cont-I,Cont-P)2nt bond non stick处理方法 1 1）检查线夹）检查线夹，劈刀劈刀是否污染是否污染 2 2）检查有无缠丝）检查有无缠丝，沾有，沾有粘着粘着物，碰物，碰伤伤等引起的金等引起的金丝丝放放线不畅线不畅 3 3）检查劈刀选用型号是否正确）检查劈刀选用型号是否正确 4 4）适当调整）适当调整LOOPLOO
12、P参数参数 5) 5) 以上调整都无效果可调用一个程序，编程再调以上调整都无效果可调用一个程序，编程再调整整Loop 高度不稳定断丝的处理方法 Tail too short(尾丝太短）Missing Ball(失球） 1 1）检查引线框架）检查引线框架有有无无污染污染或不良或不良2 2）检查线夹是否沾污和劈刀是否沾污或损坏，是否选用了合适）检查线夹是否沾污和劈刀是否沾污或损坏，是否选用了合适的劈刀型号的劈刀型号3 3）检查金丝有无缠丝）检查金丝有无缠丝，沾有，沾有粘着粘着物，碰物，碰伤伤等引起的金等引起的金丝丝放放线不线不畅畅4 4）适当调整二焊点）适当调整二焊点Standby Power C
13、ontact Time，Contact Power，Contact Force Base Time ，Base Power，Base Force参数，一般调整为适当减小Power,Force5) 5) 调整调整Power输出模式(Normal,Cont-I,Cont-P)，一般Low,Normal不易断丝6）Tail Length适当加大 7）检查打火电流和打火时间是否合适，打火FAB正好形成为最佳，过大可能把球打飞，过小可能打不着火。正常打火会有蓝火，出现黄火就可有异常上机操作培训项目1）如何做好PR2）弧度的简单调整3）Bond TIP OFFSET 操作4）更换劈刀的各个步骤5）AUTO BOND菜单使用说明
