传感器基础知识

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1、第第1章章传感器理论基础传感器理论基础11.1传感器基础传感器基础传感器就是把传感器就是把非电量非电量转换成转换成电量电量的装置。的装置。传感器传感器-是一种能是一种能感受感受规定的规定的被测量被测量并按并按照一定的规律转换成照一定的规律转换成可用量可用量的的器件和装置器件和装置。1.1.1传感器的概念传感器的概念22024/7/2721.1.2传感器的组成和分类传感器的组成和分类传感器是由传感器是由敏感元件敏感元件、转换元件转换元件和和测量电路测量电路组成。组成。1传感器的组成传感器的组成2024/7/273直接直接感受被测量感受被测量的变化,并的变化,并输出输出与被测量成确与被测量成确定关

2、系的某一定关系的某一物理量物理量的元件。的元件。敏感元件是传感器的核心敏感元件是传感器的核心2024/7/274转换元件:转换元件:将敏感元件输出的物理量将敏感元件输出的物理量转换转换成成适于传输或测量适于传输或测量电信号电信号的元件。的元件。2024/7/275测量电路:测量电路:将转换元件输出的电信号进行进将转换元件输出的电信号进行进一步一步转换和处理转换和处理的部分,如放大、滤波、线性的部分,如放大、滤波、线性化、补偿等,以获得更好的品质特性,便于后化、补偿等,以获得更好的品质特性,便于后续电路实现显示、记录、处理及控制等功能。续电路实现显示、记录、处理及控制等功能。2024/7/276

3、(1)按照其工作原理分:)按照其工作原理分:2传感器的分类传感器的分类传感器可分为电参数式传感器可分为电参数式(如电阻式、电感式和如电阻式、电感式和电容式电容式)传感器、压电式传感器、光电式传感器及传感器、压电式传感器、光电式传感器及热电式传感器等。热电式传感器等。传感器可分为力、位移、速度、加速度传感传感器可分为力、位移、速度、加速度传感器等。常见的被测物理量有机械量、声、磁、温器等。常见的被测物理量有机械量、声、磁、温度和光等。度和光等。(2)按照其被测量对象分:)按照其被测量对象分:2024/7/2772传感器的分类传感器的分类B、结构型传感器是依靠传感器结构参数的变化实、结构型传感器是

4、依靠传感器结构参数的变化实现信号变换,如:电容式传感器。现信号变换,如:电容式传感器。(3)按照其结构分:)按照其结构分:传感器可分为传感器可分为结构型结构型、物性型物性型和和复合型复合型传传感器。感器。A、物性型传感器是依靠敏感元件材料本身物理性、物性型传感器是依靠敏感元件材料本身物理性质的变化来实现信号变换,如:水银温度计。质的变化来实现信号变换,如:水银温度计。1.1.3传感器基本特性传感器基本特性2024/7/278当传感器的输入信号是常量,不随时间变化当传感器的输入信号是常量,不随时间变化时,其输入输出关系特性称为时,其输入输出关系特性称为静态特性静态特性。传感器的基本特性是指系统的

5、输入与输出关系特性,传感器的基本特性是指系统的输入与输出关系特性,即传感器系统的输出信号即传感器系统的输出信号y(t)和输入信号(被测量)和输入信号(被测量)x(t)之间的关系,之间的关系,传感器系统示意图1.1.3传感器基本特性传感器基本特性2024/7/2791)传感器的静态特性传感器的静态特性:1.测量范围测量范围:传感器所能测量到的最小输:传感器所能测量到的最小输入量入量与最大输入量与最大输入量之间的范围称为传感器的之间的范围称为传感器的测量范围。测量范围。2.量程量程:传感器测量范围的上限值:传感器测量范围的上限值与下限值与下限值的代数差的代数差称为量程。称为量程。传感器的精度是指测

6、量结果的可靠程度。传感器的精度是指测量结果的可靠程度。2024/7/2710工程技术中为简化传感器精度的表示方法,工程技术中为简化传感器精度的表示方法,引用了引用了精度等级精度等级的概念。的概念。3.精度:精度:精度等级以一系列标准精度等级以一系列标准百分比数值百分比数值分档表示。分档表示。代表传感器测量的最大允许误差,即相对误差。代表传感器测量的最大允许误差,即相对误差。4.灵敏度:灵敏度:灵敏度是指传感器输出的灵敏度是指传感器输出的变化变化量与引起该变化量的输入变化量与引起该变化量的输入变化量之比,如下图所示。量之比,如下图所示。2024/7/2711灵敏度表征传感器对输入量变化的反应能力

7、灵敏度表征传感器对输入量变化的反应能力(a) 线性传感器线性传感器 (b) 非线性传感器非线性传感器 最大非线性误差最大非线性误差 满量程输出满量程输出b、线性度就用输入、线性度就用输入-输出关系曲线与拟合输出关系曲线与拟合直线之间最大偏差与满量程输出的百分比直线之间最大偏差与满量程输出的百分比来表示。来表示。5.线性度:线性度:指其输出量与输入量之间指其输出量与输入量之间的关系曲线偏离理想直线的程度的关系曲线偏离理想直线的程度。a、在非线性误差不太大的情况下,通常采、在非线性误差不太大的情况下,通常采用用直线拟合直线拟合的方法来线性化。的方法来线性化。直线拟合线性化直线拟合线性化出发点出发点

8、获得最小的非线性误差获得最小的非线性误差拟合方法拟合方法拟合方法拟合方法: 理论拟合;理论拟合; 过零旋转拟合;过零旋转拟合; 端点连线拟合;端点连线拟合; 端点连线平移拟合;端点连线平移拟合; 最小二乘拟合;最小二乘拟合; 最小包容拟合最小包容拟合理论拟合理论拟合拟合直线为传感器的理论特性,与实际测试值无关。拟合直线为传感器的理论特性,与实际测试值无关。方法十分简单,但一般说方法十分简单,但一般说 较大较大xyLmax过零旋转拟合过零旋转拟合曲线过零的传感器。拟合时,使曲线过零的传感器。拟合时,使xyL2L1端点连线拟合端点连线拟合把输出曲线两端点的连线作为拟合直线把输出曲线两端点的连线作为

9、拟合直线xyLmax端点连线平移拟合端点连线平移拟合在端点连线拟合在端点连线拟合基础上使直线平移,移动距离为基础上使直线平移,移动距离为原先的一半原先的一半yxLmaxL2L1L36、迟滞迟滞正(输入量增大)反(输入量减小)行程正(输入量增大)反(输入量减小)行程中输出输入曲线不重合称为迟滞中输出输入曲线不重合称为迟滞 正反行程间输出的最大差值。正反行程间输出的最大差值。迟滞误差的另一名称叫回程误差,常用迟滞误差的另一名称叫回程误差,常用绝对误差绝对误差表示表示检测回程误差时,可选择几个测试点。对应于每一输检测回程误差时,可选择几个测试点。对应于每一输入信号,入信号,传感器正行程及反行程中输出

10、信号差值的最大者即为传感器正行程及反行程中输出信号差值的最大者即为回程误差。回程误差。7、重复性重复性传感器在输入按同一方向连续多次变动时传感器在输入按同一方向连续多次变动时所得特性曲线不一致的程度所得特性曲线不一致的程度正行程的最大重复性偏差正行程的最大重复性偏差反行程的最大重复性偏差反行程的最大重复性偏差取较大者为取较大者为8. 零点漂移零点漂移 漂移是指在漂移是指在外界的干外界的干扰下扰下,在一定时间间,在一定时间间隔内,传感器隔内,传感器输出量输出量发生与输入量无关的发生与输入量无关的或不需要的或不需要的变化变化。漂。漂移包括移包括零点漂移零点漂移和和灵灵敏度漂移敏度漂移等,如图所等,

11、如图所示。示。2024/7/272610.分辨率分辨率:分辨率是指检测仪表能够精确分辨率是指检测仪表能够精确检测出被测量最小变化值的能力。检测出被测量最小变化值的能力。一般一般模拟式仪表模拟式仪表的分辨率规定为最小刻度分的分辨率规定为最小刻度分格值的格值的一半一半。数字式仪表的分辨率是。数字式仪表的分辨率是最后一最后一位的一个字位的一个字。9.稳定性稳定性:稳定性表示传感器在一个较稳定性表示传感器在一个较长的时间内保持其性能参数的能力。长的时间内保持其性能参数的能力。2)传感器的动态特性传感器的动态特性传感器的传感器的动态特性动态特性是指传感器的输出对随时间变化是指传感器的输出对随时间变化的输

12、入量的响应特性。的输入量的响应特性。研究传感器的动态特性主要是从测量误差角度分析研究传感器的动态特性主要是从测量误差角度分析产生动态误差的原因以及改善措施。产生动态误差的原因以及改善措施。时域时域时域时域:瞬态响应法:瞬态响应法频域频域频域频域:频率响应法:频率响应法反映输出值真实再现变化着的输入量的能力。反映输出值真实再现变化着的输入量的能力。1. 瞬态响应特性瞬态响应特性 传感器的瞬态响应即为传感器的瞬态响应即为时间响应时间响应。在研究传感器的动态特性时,有时需要从时域中在研究传感器的动态特性时,有时需要从时域中对传感器的响应和过渡过程进行分析,这种分析对传感器的响应和过渡过程进行分析,这

13、种分析方法称为方法称为时域分析法时域分析法。一阶传感器一阶传感器二阶传感器二阶传感器 延迟延迟时间时间时间时间t td d 输出达到稳态值的输出达到稳态值的50%所用的时间。所用的时间。 瞬态响应特性指标瞬态响应特性指标各指标定义各指标定义如下:如下: 时间常数时间常数时间常数时间常数 一一阶阶传传感感器器的的上上升升到到63.2%所所需需的的时时间间,称称为为时时间间常数。常数。上升时间上升时间上升时间上升时间t tr r 输出达到稳态值的输出达到稳态值的90%所用的时间。所用的时间。峰峰值值时时间间tp 阶阶跃跃响响应应曲曲线线达达到到第第一一个个峰峰值所需时间。值所需时间。 瞬态响应特性

14、指标瞬态响应特性指标+超超调调量量 传传感感器器输输出出超超过过稳稳态态值值的的最最大值。大值。 +衰减比衰减比d 衰减震荡的二阶传感器输出衰减震荡的二阶传感器输出响应曲线第一个峰值与第二个峰值之比。响应曲线第一个峰值与第二个峰值之比。2. 频率响应特性频率响应特性传传感感器器对对不不同同频频率率正正弦弦输输入入信信号号的的响响应应特特性性,称称为为频率响应特性。频率响应特性。频率响应法频率响应法频率响应法频率响应法是从传感器的频率特性出发研究传感器是从传感器的频率特性出发研究传感器的动态特性。的动态特性。(1)零阶传感器的频率特性)零阶传感器的频率特性(2)一阶传感器的频率特性)一阶传感器的

15、频率特性(3) 二阶传感器的频率特性二阶传感器的频率特性(4)频率响应特性指标)频率响应特性指标 (a) 幅频特性 (b) 相频特性时间常数越小,频率响应特性越好。当 1时,A ()1, (),表明传感器输出与输入为线性关系,相位差与频率成线性关系,输出 y ( t ) 比较真实地反映输入x ( t ) 的变化规律。因此,减小可以改善传感器的频率特性。二阶传感器的频率特性 频率响应特性指标(自己看)频率响应特性指标(自己看) 频带频带频带频带 传传感感器器增增益益保保持持在在一一定定值值内内的的频频率率范范围围,即即对对数数幅幅频频特特性性曲曲线线上上幅幅值值衰衰减减3dB时时所所对对应应的的

16、频频率率范范围围,称称为为传传感感器器的的频频带或通频带,对应有上、下截止频率。带或通频带,对应有上、下截止频率。 时间常数时间常数时间常数时间常数 用用时时间间常常数数来来表表征征一一阶阶传传感感器器的的动动态态特特性性,越越小小,频频带带越宽。越宽。 固有频率固有频率固有频率固有频率 n n 二阶传感器的固有频率二阶传感器的固有频率n表征了其动态特性。表征了其动态特性。1.1.4 传感器的命名、代号和感器的命名、代号和图形符号形符号 2024/7/2736传感器的全称感器的全称应由由“主主题词+四四级修修饰语”组成,即成,即主主题词 传感器感器一一级修修饰语 被被测量,包括修量,包括修饰被

17、被测量的定量的定语。二二级修修饰语 转换原理,一般可后原理,一般可后缀以以“式式”字。字。三三级修修饰语 特征描述,指必特征描述,指必须强强调的的传感器感器结构、性能、材料特构、性能、材料特征、敏感元件及其他必要的性式能特征,一般可后征、敏感元件及其他必要的性式能特征,一般可后缀以以“式式”字。字。四四级修修饰语 主要技主要技术指指标(如量程、精度、灵敏度等如量程、精度、灵敏度等)。 1.传感器的命名感器的命名 例:传感器,位移,应变式,例:传感器,位移,应变式,100mm2024/7/27372024/7/2738一种传感器的代号应包括以下四部分:一种传感器的代号应包括以下四部分:a主称主称

18、(传感器传感器);b被测量;被测量;c转换原转换原理;理;d序号,如图所示。序号,如图所示。2传感器的代号传感器的代号 2024/7/2739例:应变式位移传感器:例:应变式位移传感器:CWY-YB-20光纤压力传感器:光纤压力传感器:CY-GQ-2主称主称传感器代号传感器代号C被测量被测量用一个或两个汉语拼音用一个或两个汉语拼音的第一个大写字母标记。的第一个大写字母标记。转换原理转换原理用一个或两个汉语用一个或两个汉语拼音的第一个大写字母标记。拼音的第一个大写字母标记。序号序号用一个阿拉伯数字用一个阿拉伯数字标记,厂家自定,用来表征产品设计特性、性能参数、产品标记,厂家自定,用来表征产品设计

19、特性、性能参数、产品系列等。系列等。2024/7/2740传感器的图形符号是电气图用图形符号的一个组成部分。按GB/T 1447993传感器图用图形符号规定,传感器的图形符号由符号要素正方形和等边三角形组成,如图所示。3传感器的图形符号传感器的图形符号1.1.5传感器的发展趋势传感器的发展趋势2024/7/2741(1)发现利用新现象、新效应;发现利用新现象、新效应;(2)开发新材料;)开发新材料;(3)采用高新技术;)采用高新技术;(4)拓展应用领域;)拓展应用领域;(5)提高传感器的性能;)提高传感器的性能;(6)传感器的微型化与低功耗;)传感器的微型化与低功耗;(7)传感器的集成化与多功

20、能化;)传感器的集成化与多功能化;(8)传感器的智能化与数字化;)传感器的智能化与数字化;(9)传感器的网络化。)传感器的网络化。2024/7/27421.2.1检测技术检测技术1.2检测技术理论基础检测技术理论基础检测技术检测技术主要研究被测量的测量原理、测量方主要研究被测量的测量原理、测量方法、检测系统和数据处理等方面的内容。法、检测系统和数据处理等方面的内容。不同性质的被测量要采用不同的原理去测量,不同性质的被测量要采用不同的原理去测量,测量同一性质的被测量也可采用不同测量原测量同一性质的被测量也可采用不同测量原理。理。自动检测技术的重要性自动检测技术的重要性(2)非电量电测量技术优点:

21、非电量电测量技术优点:测量精度高、反应速度快、能自动连续地进行测测量精度高、反应速度快、能自动连续地进行测量、可以进行遥测、便于自动记录、可以与计算量、可以进行遥测、便于自动记录、可以与计算机联结进行数据处理、可采用微处理器做成智能机联结进行数据处理、可采用微处理器做成智能仪表、能实现自动检测与转换等。仪表、能实现自动检测与转换等。(1)测试手段就是仪器仪表)测试手段就是仪器仪表在工程上所要测量的参数大多数为非电量,促使在工程上所要测量的参数大多数为非电量,促使人们用电测的方法来研究非电量,即研究用电测人们用电测的方法来研究非电量,即研究用电测的方法测量非电量的仪器仪表,研究如何能正确的方法测

22、量非电量的仪器仪表,研究如何能正确和快速地测得非电量的技术。和快速地测得非电量的技术。酒精测试仪酒精测试仪呼气管呼气管电子湿度计模块电子湿度计模块封装后的外形2024/7/27464)静态测量与动态测量静态测量与动态测量1.2.2测量方法测量方法1)直接测量、间接测量和组合测量直接测量、间接测量和组合测量(又称联立测又称联立测量量)。经过求解联立方程组,才能得到被测物理。经过求解联立方程组,才能得到被测物理量的最后结果,则称这样的测量为组合测量。量的最后结果,则称这样的测量为组合测量。2)偏差式测量、零位式测量与微差式测量偏差式测量、零位式测量与微差式测量3)等精度测量与非等精度测量等精度测量

23、与非等精度测量2024/7/27471.2.3检测系统检测系统检测系统是由被测对象、传感器、数据传输环节、检测系统是由被测对象、传感器、数据传输环节、数据处理环节和数据显示环节构成。数据处理环节和数据显示环节构成。(P9)1、检测系统的构成、检测系统的构成2024/7/2748检测系统又分:检测系统又分:开环检测系统开环检测系统与与闭环检测系统闭环检测系统1.2.3检测系统检测系统开环检测系统:开环检测系统:2024/7/2749闭环检测系统闭环检测系统:1.2.3检测系统检测系统2024/7/2750测量误差测量误差1.2.4测量误差及数据处理测量误差及数据处理检测值与真实值之间的差值。检测

24、值与真实值之间的差值。原原因因测量误差的主要来源可以概括为测量误差的主要来源可以概括为工具误差工具误差、环境误差环境误差、方法误差方法误差和和人员误差人员误差等。等。1.3.3 测量误差的表示方法测量误差的表示方法(1) 绝对误差绝对误差(2) 相对误差相对误差(1) 绝对误差绝对误差绝对误差是示值与被测量真值之间的差值。绝对误差是示值与被测量真值之间的差值。设设被被测测量量的的真真值值为为A0,器器具具的的标标称称值值或或示示值值为为x,则则绝对误差为绝对误差为由由于于一一般般无无法法求求得得真真值值A0,在在实实际际应应用用时时常常用用精精度度高高一一级级的的标标准准器器具具的的示示值值,

25、即即实实际际值值A代代替替真真值值A0。x与与A之差称为测量器具的示值误差,记为之差称为测量器具的示值误差,记为 通常以此值来代表绝对误差。通常以此值来代表绝对误差。修正值修正值修修正正值值与与绝绝对对误误差差值值大大小小相相等等、符符号号相相反反,测测得值加修正值可以消除该误差的影响得值加修正值可以消除该误差的影响为为了了消消除除系系统统误误差差用用代代数数法法加加到到测测量量结结果果上上的的值值称称为为修修正正值值,常常用用C表表示示。将将测测得得示示值值加加上上修修正正值后可得到真值的近似值,即值后可得到真值的近似值,即 A0= x+C 由此得由此得 C =A0-x在在实实际际工工作作中

26、中,可可以以用用实实际际值值A近近似似真真值值A0,则则上上式变为式变为C =A-x=- x(2) 相对误差相对误差相对误差有以下表现形式:相对误差有以下表现形式:实际相对误差。实际相对误差。示值相对误差。示值相对误差。满度(引用)相对误差满度(引用)相对误差相对误差是绝对误差与被测量的约定值之比。相对误差是绝对误差与被测量的约定值之比。n实际相对误差。实际相对误差。 n示值相对误差。示值相对误差。 n满度(引用)相对误差满度(引用)相对误差2) 误差的分类误差的分类(1)系统误差)系统误差(2)随机误差)随机误差(3)粗大误差)粗大误差系统误差系统误差1. 系统误差的发现系统误差的发现2.

27、系统误差的削弱和消除系统误差的削弱和消除1. 系统误差的发现系统误差的发现n理论分析及计算理论分析及计算n实验对比法实验对比法n残余误差观察法残余误差观察法n残余误差校核法残余误差校核法n计算数据比较法计算数据比较法(1 1)理论分析及计算)理论分析及计算)理论分析及计算)理论分析及计算因因测测量量原原理理或或使使用用方方法法不不当当引引入入系系统统误误差差时时,可可以以通通过过理理论分析和计算的方法加以修正。论分析和计算的方法加以修正。(2 2)实验对比法)实验对比法)实验对比法)实验对比法实实验验对对比比法法是是改改变变产产生生系系统统误误差差的的条条件件进进行行不不同同条条件件的的测测量

28、,以发现系统误差,这种方法适用于发现恒定系统误差。量,以发现系统误差,这种方法适用于发现恒定系统误差。(3 3)残余误差观察法)残余误差观察法)残余误差观察法)残余误差观察法根根据据测测量量列列的的各各个个残残余余误误差差的的大大小小和和符符号号变变化化规规律律,直直接接由由误误差差数数据据或或误误差差曲曲线线图图形形来来判判断断有有无无系系统统误误差差,这这种种方方法主要适用于发现有规律变化的系统误差。法主要适用于发现有规律变化的系统误差。(4)残余误差校核法残余误差校核法 用于发现累进性系统误差用于发现累进性系统误差马马利利科科夫夫准准则则:设设对对某某一一被被测测量量进进行行n次次等等精

29、精度度测测量量,按按测测量量先先后后顺顺序序得得到到测测量量值值x1,x2,xn,相相应应的的残残差差为为v1,v2,vn。把把前前面面一一半半和和后面一半数据的残差分别求和,然后取其差值后面一半数据的残差分别求和,然后取其差值 用于发现周期性系统误差用于发现周期性系统误差阿卑阿卑-赫梅特准则:赫梅特准则: 则认为测量列中含有周期性系统误差。 当存在 设 (5) 计算数据比较法计算数据比较法对同一量进行多组测量,得到很多数据,通过多组对同一量进行多组测量,得到很多数据,通过多组计算数据比较,若不存在系统误差,其比较结果应计算数据比较,若不存在系统误差,其比较结果应满足随机误差条件,否则可认为存

30、在系统误差。满足随机误差条件,否则可认为存在系统误差。任意两组结果与间不存在系统误差的标志是任意两组结果与间不存在系统误差的标志是 2. 系统误差的削弱和消除系统误差的削弱和消除n从产生误差源上消除系统误差从产生误差源上消除系统误差n引入修正值法引入修正值法n零位式测量法零位式测量法n补偿法补偿法n对照法对照法(1)算术平均值算术平均值 (2 2)标准误差)标准误差随机误差的评价指标有以下两点:随机误差的评价指标有以下两点:随机误差随机误差(1)算术平均值算术平均值 当测量次数为无限次时,所有测量值的算术平均值即等于真值,当测量次数为无限次时,所有测量值的算术平均值即等于真值,事实上是不可能无

31、限次测量,即真值难以达到。但是,随着测量事实上是不可能无限次测量,即真值难以达到。但是,随着测量次数的增加,算术平均值也就越接近真值。次数的增加,算术平均值也就越接近真值。因此,以算术平均值作为真值是既可靠又合理的。因此,以算术平均值作为真值是既可靠又合理的。 () 标准差标准差标准误差标准误差(又称均方根误差又称均方根误差)。算术平均值是反映随机误差的分布中心,算术平均值是反映随机误差的分布中心,而标准误差则反映随机误差的分布范围。而标准误差则反映随机误差的分布范围。标准误差越大,测量数据的分散范围也越标准误差越大,测量数据的分散范围也越大,标准误差可以描述测量数据和测量结大,标准误差可以描

32、述测量数据和测量结果的精度,是评价随机误差的重要指标。果的精度,是评价随机误差的重要指标。 测量列中单次测量的标准差测量列中单次测量的标准差在等精度测量列中,单次测量的标准差在等精度测量列中,单次测量的标准差 式中,式中,n测量次数;测量次数; 每每次次测测量量中中相相应应各各测测量量值值的的随随机机误差。误差。 测量列算术平均值的标准差测量列算术平均值的标准差式中, 算术平均值标准差(均方根误差); 测量列中单次测量的标准差; n 测量次数当测量次数n愈大时,算术平均值愈接近被测量的真值,测量精度也越高。粗大误差粗大误差判别粗大误差最常用的统计判别法判别粗大误差最常用的统计判别法判别粗大误差

33、最常用的统计判别法判别粗大误差最常用的统计判别法:如果对被测量进行多次重复等精度测量的测量数据为如果对被测量进行多次重复等精度测量的测量数据为x1,x2,xd,,xn 其其标标准准差差为为,如如果果其其中中某某一一项项残残差差vd大大于于三三倍倍标标准准差差,即即 则则认认为为vd为为粗粗大大误误差差,与与其其对对应应的的测测量量数数据据xd是是坏坏值值,应从测量列测量数据中删除。应从测量列测量数据中删除。2024/7/2769休息一下2024/7/2770n测量误差及数据处理测量误差及数据处理系统误差的检查及消除系统误差的检查及消除n1)系统误差的检查方法)系统误差的检查方法(1)实验对比法。)实验对比法。(2)残余误差法。)残余误差法。n2)系统误差的消除方法系统误差的消除方法(1)交换法。交换法。(2)抵消法。抵消法。(3)代替法。)代替法。(4)对称测量法。对称测量法。(5)补偿法。补偿法。1.2检测技术理论基础检测技术理论基础

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