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1、By Jin XinBy Jin Xin（No1 WaferNo1 Wafer）2008-02-162008-02-161 1硅片硅片硅片硅片HCTHCT线锯工艺改进分析报告及改进计划线锯工艺改进分析报告及改进计划线锯工艺改进分析报告及改进计划线锯工艺改进分析报告及改进计划HK000L8P_Analyst Presentation粒壮落轴全舷盗狂逾恍舶理用槽蜕蛊屉讥氮尽丈获溢革颖涸皱彻缺缉事殖硅片工艺改进分析报告及改进计划硅片工艺改进分析报告及改进计划2HK000L8P_Analyst Presentation目录目录目录目录改进前工艺改进前工艺HCT工程师改进工艺工程师改进工艺目前改进后工艺
2、目前改进后工艺问题分析问题分析目前工艺分析目前工艺分析改进计划改进计划辅助行动辅助行动轧鹅窍坊链淬络泻誓蛙进吱查怒宏绒铆委蛔娩州着航筒卓接甭妄报挽支斑硅片工艺改进分析报告及改进计划硅片工艺改进分析报告及改进计划3HK000L8P_Analyst Presentation改进前工艺改进前工艺改进前工艺改进前工艺u线速线速:13m/su工作台速度工作台速度:350um/minu钢线规格钢线规格:140um/780kmu导轮槽距导轮槽距:370umu滑轮更换滑轮更换:2刀刀/次次u砂浆袋更换砂浆袋更换:5刀刀/次次翘估总砖英殊赵虚猜钓俩痊狸闯燕熙删秧撑缚靖桑摔毕蝴钨斋刮要粘齐沟硅片工艺改进分析报告及
3、改进计划硅片工艺改进分析报告及改进计划4HK000L8P_Analyst PresentationHCTHCT工程师改进工艺工程师改进工艺工程师改进工艺工程师改进工艺u线速线速:14.8m/su工作台速度工作台速度:320um/minu钢线规格钢线规格:120um/780kmu导轮槽距导轮槽距:335umu滑轮更换滑轮更换:2刀刀/次次u砂浆袋更换砂浆袋更换:5刀刀/次次鸿曹烃诉淀票伦谅挖蒸园盅沉铸垄握扒硒着虾哗芦匹焙首六衣吉显泼便腑硅片工艺改进分析报告及改进计划硅片工艺改进分析报告及改进计划5HK000L8P_Analyst Presentation目前改进工艺目前改进工艺目前改进工艺目前改
4、进工艺u线速线速:13m/su工作台速度工作台速度:270um/minu钢线规格钢线规格:120um/780kmu导轮槽距导轮槽距:340umu滑轮更换滑轮更换:1刀刀/次次u砂浆袋更换砂浆袋更换:2刀刀/次次炳钉行坷堰蕊恬郑坚俭骑剔脆等胰钢永仓誉炉帆闯屯盔且裁坷频谎债钧们硅片工艺改进分析报告及改进计划硅片工艺改进分析报告及改进计划6HK000L8P_Analyst Presentation问题分析问题分析问题分析问题分析1.HCT工程师改进工艺残余问题分析工程师改进工艺残余问题分析 (1)速度过高速度过高,皮带断裂皮带断裂 W08、W09在改进工艺之前对皮带进行过检查在改进工艺之前对皮带进行
5、过检查,但在当晚切割时但在当晚切割时发现皮带断裂发现皮带断裂,分析原因可能是速度过高分析原因可能是速度过高,在速度变动时皮带所受拉力在速度变动时皮带所受拉力将比原来所受力大将比原来所受力大,导致皮带拉长导致皮带拉长,使皮带在皮带轮上移位而拉断使皮带在皮带轮上移位而拉断.沥置吓稻腐怂绦暂淮牙掘酚务幻部戏赦毋模荡炬刀诗藐燃爷诞弊仪腮搓乎硅片工艺改进分析报告及改进计划硅片工艺改进分析报告及改进计划7HK000L8P_Analyst Presentation问题分析问题分析问题分析问题分析 (2)断线率过高断线率过高 机器编号机器编号断线次数断线次数W011次次W041次次W063次次W071次次W0
6、86次次W094次次W101次次W08一月份断线次数为一月份断线次数为6次次,W09自更改工艺后断线次数为自更改工艺后断线次数为4次次(其中有其中有1次次为皮带断裂导致断线为皮带断裂导致断线),其他设备断线次数总和为其他设备断线次数总和为7次次.臼校统垂槽周帖愚鞠侮螺葱什要莱池梅业纪鼻顿逞啡音霹欺蓖龄浇菊舰羊硅片工艺改进分析报告及改进计划硅片工艺改进分析报告及改进计划8HK000L8P_Analyst Presentation目前工艺分析目前工艺分析目前工艺分析目前工艺分析lHCT工程师设定工艺分析工程师设定工艺分析 设设P为走线系数为走线系数,即工作台每下降即工作台每下降1um时所切割用钢线
7、的尺寸时所切割用钢线的尺寸 注注:以下分析假设切割长度相同以下分析假设切割长度相同,钢线附带砂浆量相同的情况下钢线附带砂浆量相同的情况下;按HCT工程师所设工艺参数求得P= = =2.775由此系数我们可推算出我们切割所需要钢线总长：L切割=P*L工作台行程=2.775*131*1000=363525m364KM14.8m/s320um/min14.8m/s5.33um/s拍滴尺爵亮锐曝椒禁莆商啤袭隐次帛未阻好向轻丰邑剁赚概谅恭协塌下消硅片工艺改进分析报告及改进计划硅片工艺改进分析报告及改进计划9HK000L8P_Analyst Presentation目前工艺分析目前工艺分析目前工艺分析目前
8、工艺分析l目前工艺分析目前工艺分析 因为针对因为针对W08、W09直接抬高速度导致皮带断裂的情况，所以初定钢线速度暂时直接抬高速度导致皮带断裂的情况，所以初定钢线速度暂时不于改变，仍为不于改变，仍为13m/s； 又因又因W08、W09断线率较高，从试验的安全性考虑，将走线系数提升断线率较高，从试验的安全性考虑，将走线系数提升0.1，即工作，即工作台每下降台每下降1um，切割所用钢线为，切割所用钢线为2.875m，这样我们可反推出工作台速度：，这样我们可反推出工作台速度： 所需切割钢线长所需切割钢线长L切割切割=2.875*131000=376625m377km V工作台工作台= = =V钢线速
9、度P13m/s2.875271.3um/min所以将工艺初定为：钢线速度所以将工艺初定为：钢线速度13m/s 工作台速度工作台速度270um/min 钢线规格：钢线规格：120um/780km惶陈纫蛀躲御惑荡撰包亨糖主篆孙捕拥榔渺邓豆告录硒姿粥筋速梧酷蓬嚎硅片工艺改进分析报告及改进计划硅片工艺改进分析报告及改进计划10HK000L8P_Analyst Presentation改进计划改进计划改进计划改进计划 我们现以我们现以HCT工程师所给工艺参数为目标，根据前阶段所暴露出来的问题，总结经验，逐步工程师所给工艺参数为目标，根据前阶段所暴露出来的问题，总结经验，逐步解决问题，并改良我们的工艺，为
10、了达到解决问题，并改良我们的工艺，为了达到HCT工程师所设工艺参数，并完全解决其中的问题，我工程师所设工艺参数，并完全解决其中的问题，我们制定以下计划：们制定以下计划：日期日期行动行动08年年2月月13日日W01、W02、W03、W04、W09全面检查设备、转换工艺，开始阶段初定前全面检查设备、转换工艺，开始阶段初定前3刀切割刀切割2根方棒，钢线速度为根方棒，钢线速度为13m/s，工作台速度为，工作台速度为270um/min08年年2月月15日日改进后设备全部切割改进后设备全部切割3根方棒，总长根方棒，总长1200mm08年年2月月16日日W08更换导轮，转换工艺，前更换导轮，转换工艺，前3刀
11、切割刀切割2根方棒根方棒08年年2月月18日日改进后设备滑轮更换改为改进后设备滑轮更换改为2刀刀/次，砂浆袋更换次，砂浆袋更换3刀刀/次次08年年2月月21日至日至08年年2月月25日日视视140um钢线库存情况，更换钢线库存情况，更换W05、W06、W07、W10导轮，并更换工艺导轮，并更换工艺08年年3月月全面提升钢线速度和工作台速度全面提升钢线速度和工作台速度,提高产能提高产能,目标工作台速度目标工作台速度:320um/min蛇波面瘫滓小曼锗郸洞移缨撵深浪岳罪挫光赂坞岁扳店豌磐师路晓凄臭我硅片工艺改进分析报告及改进计划硅片工艺改进分析报告及改进计划11HK000L8P_Analyst P
12、resentation辅助行动辅助行动辅助行动辅助行动l设备部门设备部门 在设备提升速度后需对皮带定期检查，防止皮带在短时间内拉长而在皮带在设备提升速度后需对皮带定期检查，防止皮带在短时间内拉长而在皮带轮上移位，导致皮带断裂，要求在提速之间彻底检查一次，提速后每日检查一轮上移位，导致皮带断裂，要求在提速之间彻底检查一次，提速后每日检查一次，连续检查次，连续检查3天；天； 皮带检查要求：皮带检查要求： 主马达（短）：主马达（短）：741.5HZ 从马达（长）：从马达（长）：400.8HZ赏白耶了撒璃霜岔蜀炽运树莉案店厄北涤苏载华议绕培甄胺啸瘸些丁床碱硅片工艺改进分析报告及改进计划硅片工艺改进分析
13、报告及改进计划12HK000L8P_Analyst Presentation辅助行动辅助行动辅助行动辅助行动l生产部门生产部门 生产部门是我们的母体，其他部门都是它的分支，如果母体有了问题，我们这些分支再生产部门是我们的母体，其他部门都是它的分支，如果母体有了问题，我们这些分支再好也没法正常行走；好也没法正常行走； 以下为以下为2月月13日开始发生的一些人为故障停机：日开始发生的一些人为故障停机： 设备编号设备编号故障原因故障原因故障发生日期故障发生日期修复日期修复日期W02下砂浆循环泵插头烧毁，插头下砂浆循环泵插头烧毁，插头内部有水内部有水08年年2月月13日日11时时08年年2月月13日日
14、17时时W02上砂浆循环泵插头烧毁，插头上砂浆循环泵插头烧毁，插头内部有水内部有水08年年2月月13日日17时时08年年2月月13日日21时时W03回流砂浆缸液位显示器插头拉回流砂浆缸液位显示器插头拉断，配件很难购买，至今仍无断，配件很难购买，至今仍无消息消息08年年1月月31日日08年年2月月15日日12时时W09因回流管道与上砂浆循环管道因回流管道与上砂浆循环管道插反，导致热交换器堵塞插反，导致热交换器堵塞08年年1月月14日日12时时08年年2月月15日日1时时巫耙盅氮招领契迹剂寂析病弃拓丽漏膝挨竣倘洒患软撒檄碎峪拆模帧显耍硅片工艺改进分析报告及改进计划硅片工艺改进分析报告及改进计划13
15、HK000L8P_Analyst Presentation辅助行动辅助行动辅助行动辅助行动 以上只是近期来发生的一些不必要的故障停机，如果我们的操作工以上只是近期来发生的一些不必要的故障停机，如果我们的操作工能仔细细心一点的话，完全可以避免这些不必要的损失。能仔细细心一点的话，完全可以避免这些不必要的损失。 我们目前工艺对操作工的要求越来越严格，对于设备每部分的检查我们目前工艺对操作工的要求越来越严格，对于设备每部分的检查都必须细致入微，稍有差池就会导致我们很大的损失。所以希望生产部都必须细致入微，稍有差池就会导致我们很大的损失。所以希望生产部门能培养操作工的责任心，并与我们积极配合，成功完成好我们的共同门能培养操作工的责任心，并与我们积极配合，成功完成好我们的共同任务！任务！绷把踊删婶橡乳挎斤泻光格装穆扁搔购汉溪靶媚谍兜告啥所腿辛蛋配渭葫硅片工艺改进分析报告及改进计划硅片工艺改进分析报告及改进计划14HK000L8P_Analyst Presentation结束结束结束结束如有意见建议请提出！如有意见建议请提出！逛攘默斩薪像贫涕贞添扳柬脉弟平统闯蜕润感皇瞪生硝妈吸铺杂快于准市硅片工艺改进分析报告及改进计划硅片工艺改进分析报告及改进计划
