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1、 籽晶晶体定向的检测籽晶晶体定向的检测 Detection of seed crystal orientation Evaluation only.Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0.Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.检测依据及设备、原理检测作业指导书检测数据分析234采样及其样品处理1检测报告书5Evaluation only.Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0.Copyrigh
2、t 2004-2011 Aspose Pty Ltd.采样及其样品处理采样及其样品处理一、采样一、采样1、单晶棒2、单晶片：取头部、中部、尾部各三片，要具有代表性二、样品处理二、样品处理1、试样待测面用2842m或2028m金刚砂研磨或喷砂。2、 对圆片试样，用514m氧化铝或金刚砂研磨上下表面。Evaluation only.Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0.Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.检测依据检测依据Evaluation only.Created with
3、Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0.Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.检测设备检测设备射线晶体定向仪原理：射线晶体定向仪原理： 如果波长为如果波长为的单色的单色X X射线入射到晶体上，射线入射到晶体上，要使其能在某晶面产生衍射，使得该晶面的放置要使其能在某晶面产生衍射，使得该晶面的放置位置相对于入射位置相对于入射X X射线来说满足布喇格方程射线来说满足布喇格方程2dsin=n2dsin=n，对不同结构的晶体和不同的晶面，对不同结构的晶体和不同的晶面其衍射线出现的方位不同，在与入射线的角度为其衍射
4、线出现的方位不同，在与入射线的角度为22的位置上便会出现衍射线，根据衍射线的方的位置上便会出现衍射线，根据衍射线的方位就能确定晶体的取向。位就能确定晶体的取向。 X X射线的性质：射线的性质： 感光作用、萤光作用、电离作用、穿透能感光作用、萤光作用、电离作用、穿透能力强、力强、X X射线的折射率近似等于射线的折射率近似等于1 1、 衍射作用衍射作用Evaluation only.Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0.Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.一台一台X X射线定向
5、仪主要由下几射线定向仪主要由下几个部份组成：个部份组成： （1 1）X X射线发生部分射线发生部分（2 2）X X射线检测部分射线检测部分（3 3）样品台及转角测量部分）样品台及转角测量部分Evaluation only.Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0.Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.检测作业指导书检测作业指导书1、对晶体要求：在检测前首先确认被测晶体是否为单晶；定向前需先判断定向面的大致取向，如无法判定则可先假定一个，逐一实验，直到找到正确晶面；记住样品假定的方
6、向。2、实验仪器：X射线定向仪、硅片Evaluation only.Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0.Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.3、实验步骤： 用前，开机预热5-10min；查表，找与之对应的布喇格角；调节盖革计数管放置在2的位置上；开x光电源，按下开关，调电压，0.8-1.0A之间；开气阀，吸上标准石英，拉开x光挡板，调数率旋钮，摇动手轮找到峰值；换硅片，重复第5步操作；当计数表达到峰值，记下转角，求水平偏离角，旋180，重复上面步骤，两次测量结果取平均值；
7、将样品位置复原后，旋转90 后，重复操作，测得两个垂直的偏离角，取平均值利用 公式，当 时，计算出 值Evaluation only.Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0.Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.数据分析数据分析数据数据x-xy-y测试值测试值1519144814261614Evaluation only.Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0.Copyright 2004-2
8、011 Aspose Pty Ltd.检验报告检验报告检测项目籽晶晶体定向的检测规格型号边长：20mm 厚度：4mm单晶片委托单位及地址产品等级优等品抽样基数单晶棒头中尾各三片生产单位样品数量3片抽/送样日期检验状态符合检验要求检验日期检验类别委托检验检验依据国标GB/T1552-1995检验结果153检验结论 符合合同要求主检人员： 质检机构（公章）审核人员：批准人员： 签发日期：Evaluation only.Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0.Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.Thank you !Evaluation only.Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0.Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.
