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1、 传感器是将被测物理量（机械量）转化成与之相对应的，容易检测、传输、或处理的信号的装置。国家标准GB7665-87对传感器下的定义是：“能感受规定的被测量并按照一定的规律转换成可用信号的器件或装置，通常由敏感元件和转换元件组成”。第三章传感器w4传感器优秀课件第一节 概述一、组成ERe声波例：电容传声器振膜平板电容直流极化电路e声波w4传感器优秀课件输入P大气压壳体膜盒电感线圈磁芯基本转换电路例：压力传感器：w4传感器优秀课件1、敏感元件 - 把机械量转化成电量。2、一次敏感元件 - 把被测机械量转化成 敏感元件可接受的机械量。3、辅助元件 - 多数为传力元件。4、测量电路 - 将电路参数的变
2、化转化为 电信号输出。注 ：有些传感器没有一次敏感元件。 如： 光电池组成的测亮度传感器 热敏电阻组成的测温传感器w4传感器优秀课件二、分类1、按被测物理量分类、按被测物理量分类压力传感器温度传感器位移传感器以测量目标为对象便于管理注意：同一类型的传感器，内部转换原理可能不同：如压电式加速度传感器、应变式加速度传感器w4传感器优秀课件按工作原理分类2、按敏感元件类型：3、按转换特性:4、按是否需要能源：电阻式、压电式、电感式、电容式等物性型：结构型：能量控制型：能量转换型：利用敏感材料性质的变化，如：压电式、光电式、磁阻式利用结构参数的变化，如：电感式、电容式、电阻式能量由测量电路提供不需辅助
3、能源w4传感器优秀课件w4传感器优秀课件第二节、传感器选用原则 选择传感器主要考虑灵敏度、响应特性、线性范围、选择传感器主要考虑灵敏度、响应特性、线性范围、稳定性、精确度、测量方式等六个方面的问题。稳定性、精确度、测量方式等六个方面的问题。 1、灵敏度、灵敏度 一一般般说说来来，传传感感器器灵灵敏敏度度越越高高越越好好，但但，在在确确定定灵灵敏度时，要考虑以下几个问题。敏度时，要考虑以下几个问题。 a)灵敏度过高引起的干扰问题；灵敏度过高引起的干扰问题； b)量程范围。量程范围。 c)交叉灵敏度问题交叉灵敏度问题(向量向量)。w4传感器优秀课件2 响应特性响应特性 传传感感器器的的响响应应特特
4、性性是是指指在在所所测测频频率率范范围围内内，保保持持不不失真的测量条件。失真的测量条件。 3 线性范围线性范围 任任何何传传感感器器都都有有一一定定的的线线性性工工作作范范围围。在在线线性性范范围围内内输输出出与与输输入入成成比比例例关关系系，线线性性范范围围愈愈宽宽，则则表表明明传传感感器器的的工工作作量量程程愈愈大大。传传感感器器工工作作在在线线性性区区域域内内，是是保保证证测量精度的基本条件。测量精度的基本条件。 传感器选用原则w4传感器优秀课件4 稳定性稳定性 稳稳定定性性是是表表示示传传感感器器经经过过长长期期使使用用以以后后，其其输输出出特特性性不不发发生生变变化化的的性性能能。
5、影影响响传传感感器器稳稳定定性性的的因因素素是是时时间间与环境。与环境。5 精确度精确度 传传感感器器的的精精确确度度是是表表示示传传感感器器的的输输出出与与被被测测量量的的对对应程度。应程度。 6 测量方式测量方式 传传感感器器工工作作方方式式，也也是是选选择择传传感感器器时时应应考考虑虑的的重重要要因因素素。例例如如，接接触触与与非非接接触触测测量量、破破坏坏与与非非破破坏坏性性测测量量、在线与非在线测量等。在线与非在线测量等。传感器选用原则w4传感器优秀课件第三节、电阻式传感器将被测机械量转化成电阻的变化一、变阻式：位移（输入）电阻（输出）敏感元件环节w4传感器优秀课件灵敏度：A与B之间
6、的电阻值：输出输入w4传感器优秀课件角位移型：输出输入w4传感器优秀课件非线性型：用于满足输入、输出之间的某种函数关系w4传感器优秀课件特点： 结构简单，性能稳定，使用方便。 电阻不随x连续变化。 分辨力低，噪声大。场合： 用于大位移测量测量电路：w4传感器优秀课件测量电路电阻分压电路输入位移 输出电压负载效应w4传感器优秀课件 变阻器式传感器的性能参数变阻器式传感器的性能参数1.线性线性(或曲线的一致性或曲线的一致性); 2.分辨率分辨率; 3.整个电阻值的偏差整个电阻值的偏差; 4.移动或旋转角度范围移动或旋转角度范围;5.电阻温度系数电阻温度系数;6.寿命寿命;w4传感器优秀课件应用案例
7、应用案例案例案例1 1： 重量的自动检测重量的自动检测-配料设备配料设备重量设定原材料比较原理用弹簧将力转换为位移;再用变阻器将位移转换为电阻的变化w4传感器优秀课件案例案例2 2：煤气包储量检测：煤气包储量检测原理直接将代表煤气包储量的高度变化转换为钢丝的电阻变化煤气包钢丝特点：特点：（1）测量量程大；）测量量程大；（2）防爆；）防爆；（3）可靠；）可靠；（4）成本低。）成本低。应用案例应用案例w4传感器优秀课件案例案例3 3：玩具机器人（广州中鸣数码：玩具机器人（广州中鸣数码 ）原理直接将关节驱动电机的转动角度变化转换为电阻器阻值变化应用案例应用案例w4传感器优秀课件4.3.1电阻应变式传
8、感器敏感元件： 应变片输入输出两种形式金属应变片半导体应变片w4传感器优秀课件丝式箔式w4传感器优秀课件1、电阻应变效应： 把应变片用特制胶水（502）粘固在弹性元件或需要测量变形的物体表面上，在外力的作用下，电阻丝随同该物体一起发生变形，其电阻值发生相应变化。 设一根电阻丝，未受力时的原始电阻值：当受到外力F作用，其电阻R的变化：w4传感器优秀课件电子称电子称原理将物品重量通过悬臂梁转化结构变形再通过应变片转化为电量输出。w4传感器优秀课件w4传感器优秀课件w4传感器优秀课件w4传感器优秀课件2、金属电阻应变片：工作原理：结构：丝式 箔式金属应变片：应变效应为主，压阻效应很小w4传感器优秀课
9、件a丝式：四个基本部分组成：敏感栅（电阻丝）基片覆盖层引出线丝式w4传感器优秀课件b箔式：特点：光刻技术，应变花；横向效应小；散热条件好；疲劳寿命长；生产率高。箔式w4传感器优秀课件l优点优点:稳定性和温度特性好稳定性和温度特性好.l缺点缺点:灵敏度系数小灵敏度系数小.w4传感器优秀课件材料： 见表4-2。材料名称成分灵敏度电阻率温度系数 线胀系数元素含量sgmm2/m10-6/C10-6/C康铜CuNi57%43%1.72.10.49-202014.9镍铬合金NiCr80%20%2.12.50.91.111015014.0镍铬铝合金(卡玛合金)NiCrAlFe73%20%34%余量2.42.
10、61.33-101013.3w4传感器优秀课件3、半导体应变片：工作原理：“压阻效应”单晶半导体材料在沿某一轴向受到外力作用时，其电阻率发生变化的现象。压阻效应为主，应变效应很小特点： （1）灵敏度高；机械滞后小，横向效应小； （2）温度稳定性差；灵敏度离散度大； 在较大应力作用下，非线性误差大等。w4传感器优秀课件结构：材料： 见表4-3P型硅单晶 半导体敏感栅内引线焊接端外引线胶膜衬底w4传感器优秀课件应变片的主要参数应变片的主要参数l1）几何参数：表距）几何参数：表距L和丝栅宽度和丝栅宽度b，制造厂常用，制造厂常用bLl 表示。表示。 l2）电阻值：应变计的原始电阻值。）电阻值：应变计的
11、原始电阻值。 l3）灵敏系数：表示应变计变换性能的重要参数。）灵敏系数：表示应变计变换性能的重要参数。 l4）其它表示应变计性能的参数（工作温度、滞后、）其它表示应变计性能的参数（工作温度、滞后、l 蠕变、零漂以及疲劳寿命、横向灵敏度等）。蠕变、零漂以及疲劳寿命、横向灵敏度等）。w4传感器优秀课件应变片应用w4传感器优秀课件w4传感器优秀课件w4传感器优秀课件w4传感器优秀课件桥梁固有频率测量桥梁固有频率测量原理在桥中设置一三角形障碍物，利用汽车碍时的冲击对桥梁进行激励，再通过应变片测量桥梁动态变形，得到桥梁固有频率。w4传感器优秀课件电阻式传感器小结l变阻式l应变式金属半导体w4传感器优秀课
12、件线圈自感或互感的变化位移、振动、压力被测量的变化主要特征：具有线圈绕组。第四节 电感式传感器w4传感器优秀课件分类自感式互感式- 差动变压器式可变磁阻式涡电流式电感式极距型截面型螺管型l将被测机械量转换成电感变化，其工作原理基于电磁感应这一物理现象w4传感器优秀课件w4传感器优秀课件（一）可变磁阻式：1、基本组成：线圈铁心衔铁一自感型：位移磁阻自感w4传感器优秀课件2、工作原理：w4传感器优秀课件极距型面积型被测位移被测位移w4传感器优秀课件3、极距变化型w4传感器优秀课件3、极距变化型L0L00w4传感器优秀课件特点： 由于非线性关系，取较小的初始间隙0可获得 高的灵敏度； 由于非线性，工
13、作范围受限。只能对微小的位 移进行测量。 （/00.1 ,:0.001-1mm) 使用时先定0 ， 限制测量范围w4传感器优秀课件4、面积变化型w4传感器优秀课件a) 可变导磁面积型（同上）b) 差动式：5、可变磁组式传感器的典型结构两个完全相同的单线圈电感传感器共用一个活动衔铁。（电气参数，几何尺寸均相同）w4传感器优秀课件w4传感器优秀课件w4传感器优秀课件灵敏度提高一倍非线性误差减小稳定性好有补偿作用差动连接的优点w4传感器优秀课件0w4传感器优秀课件c） 单螺管型：d）双螺管差动型：w4传感器优秀课件（二）、涡电流型涡流式传感器的变换原理，是利用金属导体在交流磁场中的涡电流效应。如图所
14、示，金属板置于一只线圈的附近，它们之间相互的间距为为，当线圈输入一交变电流 i时，便产生交变磁通量，金属板在此交变磁场中会产生感应电流 i1，这种电流在金属体内是闭合的，所以称之为“涡电流”或“涡流”。涡流的大小与金属板的电阻率、磁导率、厚度h，金属板与线圈的距离，激励电流角频率等参数有关。若改变其中某一参数，而固定其他参数不变，就可根据涡流的变化测量该参数。、涡流传感器原理、涡流传感器原理w4传感器优秀课件如上图所示，高频(lMHz)激励电流，产生的高频磁场作用于金属板的表面，由于集肤效应，在金属板表面将形成涡电流。与此同时，该涡流产生的交变磁场又反作用于线圈，引起线圈自感L或阻抗ZL的变化
15、，其变化与距离、金属板的电阻率、磁导率、激励电流i，及角频率等有关，若只改变距离而保持其他系数不变，则可将位移的变化转换为线圈自感的变化，通过测量电路转换为电压输出。高频反射式涡流传感器多用于位移测量。涡流式传感器可分为高频反射式和低频透射式两种2、高频反射式涡流传感器w4传感器优秀课件线圈自感系数L变化，与以下因素有关：距离板厚h电阻率导磁率激励电流频率w4传感器优秀课件输出电压被测物体涡流变换器初始安装间隙铸铁、钢、铝、铜w4传感器优秀课件输出电压涡流变换器初始安装间隙轴铸铁、钢、铝、铜w4传感器优秀课件低频透射式涡流传感器的工作原理如图所示，发射线圈1和接收线圈2分别置于被测金属板材料G
16、的上、下方。由于低频磁场集肤效应小，渗透深，当低频(音频范围)电压e1加到线圈1的两端后，所产生磁力线的一部分透过金属板材料G,使线圈2产生感应电动势e2。但由于涡流消耗部分磁场能量，使感应电动势e2减少，当金属板材料G越厚时，损耗的能量越大，输出电动势e2越小。因此，e2的大小与G的厚度及材料的性质有关，试验表明，e2随材料厚度h的增加按负指数规律减少,如图所示，因此，若金属板材料的性质一定，则利用e2的变化即可测量其厚度。3、低频透射式涡流传感器w4传感器优秀课件w4传感器优秀课件4 4、涡流传感器的应用、涡流传感器的应用涡流式电感传感器主要用于位移、振动、转速、距离、厚度等参数测量，它可
17、实现非线性测量，下图是涡流式传感器测厚和涡流式传感器用于零件计数的例子。w4传感器优秀课件5、涡流传感器涡流传感器涡流传感器涡流传感器测量电路、阻抗分压式调幅电路： 振荡器放大检波滤波CReew4传感器优秀课件f振荡器频率ew4传感器优秀课件f振荡器频率ew4传感器优秀课件e1e3e2312fee1e2f1f2f3123图3-17w4传感器优秀课件高频振荡器鉴频器、调频电路：1423w4传感器优秀课件分类自感式互感式- 差动变压器式可变磁阻式涡电流式电感式极距型截面型螺管型l将被测机械量转换成电感变化，其工作原理基于电磁感应这一物理现象w4传感器优秀课件 二、互感型-差动变压器式电感传感器互感
18、型电感传感器是利用互感M的变化来反映被测量的变化。这种传感器实质上是一个输出电压可变的变压器。当变压器初级线圈输入稳定交流电压后，次级线圈便产生感应电压输出，该电压随被测量的变化而变化。1、工作原理：M-互感系数（H）表示两线圈之间的耦合程度。其大小与两线圈相对位置及周围介质的导磁能力等因素有关。w4传感器优秀课件2 互感型互感型-差动变压差动变压器器2、 基本结构WW1W2Esx-xEwEoutw4传感器优秀课件e0te2te1te1te0tte2XXw4传感器优秀课件振荡器放大器Re1e2|e0|xe0X3 3、测量电路、测量电路1、极性的确定问题差动变压器式传感器输出的电压是交流量，如用
19、交流电压表指示，则输出值只能反应铁芯位移的大小，而不能反应移动的极性；w4传感器优秀课件振荡器放大器Re1e2|e0|xe0X3 3、测量电路、测量电路2、残余电压地消除问题（调零）交流电压输出存在一定的零点残余电压，是由于两个次级线圈的结构不对称、铁磁材质不均匀、线圈间分布电容等原因所形成。所以，即使活动衔铁位于中间位置时，输出也不为零 w4传感器优秀课件 图示为用于小位移的差动相敏检波电路的工作原理，当没有信号输入时，铁芯处于中间位置，调节电阻R，使零点残余电压减小； 当有信号输入时，铁芯移上或移下，其输出电压经交流放大、相敏检波(+-)、滤波后得到直流输出。由表头指示输入位移量的大小和方
20、向。 振荡器放大器相敏检波器R滤波器w4传感器优秀课件e1e2e0xe0振荡器放大器相敏检波器R滤波器w4传感器优秀课件4、差动变压器式传感器的特点、差动变压器式传感器的特点l优点：测量精度高（0.1微米），线性范围大（+-100毫米），稳定性好，使用方便。l缺点：功耗相对较大，动态响应性能一般，通常只能用于接触测量。w4传感器优秀课件5、应用、应用:厚度,角度,表面粗糙度;拉伸,压缩,垂直度; 压力,流量,液位;张力,重力,负荷量;扭矩, 应力,动力;气压,温度;振动,速度,加速度;等.案例：案例：板的厚度测量板的厚度测量案例：案例：张力测量张力测量w4传感器优秀课件第五节 电容式传感器一、
21、工作原理：将被测量的变化转换成电容的变化。平行平板电容器：w4传感器优秀课件上式表明，当被测量、A或发生变化时，都会引起电容的变化。如果保持其中的两个参数不变，而仅改变另一个参数，就可把该参数的变化变换为单一电容量的变化，再通过配套的测量电路，将电容的变化转换为电信号输出。根据电容器参数变化的特性，电容式传感器可分为极距变化型、面积变化型和介质变化型三种，其中极距变化型和面积变化型应用较广。 二、分类w4传感器优秀课件（一）、极距变化型电容式传感器（一）、极距变化型电容式传感器 机械量Cw4传感器优秀课件 一般在小范围内测量 用于非接触式测量 差动连接 运放电路w4传感器优秀课件w4传感器优秀
22、课件运算放大器电路输出输入总的灵敏度？w4传感器优秀课件（二）、面积变化型电容式传感器（二）、面积变化型电容式传感器角位移型 线位移型圆柱体线位移型图3-23位移电容的变化面积w4传感器优秀课件角位移型 角位移型w4传感器优秀课件线位移型线位移型w4传感器优秀课件圆柱体线位移型圆柱体线位移型w4传感器优秀课件输入输出呈线性。但与极距变化型相比，灵敏度较低，适于较大直线位移或角位移的测量。面积变化型电容传感器的特点：w4传感器优秀课件、液位测量。、介质温度，湿度或厚度测量；（三）、介质变化型w4传感器优秀课件气体介质间的电容量液体介质间的电容量液位测量w4传感器优秀课件w4传感器优秀课件(四)
23、电容式传感器的测量电路 将电容量转换成电量 (电压或电流)的电路称作电容式传感器的转换电路，它们的种类很多，目前较常采用的有电桥电路、谐振电路、调频电路及运算放大电路等 w4传感器优秀课件电桥电路图3-25 图所示为电容式传感器的电桥测量电路。电容传感器为电桥的一部分。通常采用电阻、电容或电感、电容组成交流电桥，该图所示为一种电感、电容组成的电桥。由电容变化转换为电桥的电压输出，经放大、相敏检波、滤波后，再推动显示、记录仪器 w4传感器优秀课件谐振式电路 图所示为谐振式电路的原理框图，电容传感器的电容C3作为谐振回路(L2、C2、C3)调谐电容的一部分。谐振回路通过电感藕合，从稳定的高频振荡器
24、取得振荡电压。当传感器电容发生变化时，使得谐振回路的阻抗发生相应的变化，而这个变化被转换为电压或电流，再经过放大、检波即可得到相应的输出。 为了获得较好的线性关系，一般谐振电路的工作点选在谐振曲线的线性区域内，最大振幅70%附近的地方，且工作范围选在BC段内。w4传感器优秀课件电容式传感器的应用电容式传感器的应用案例：案例：电容传声器电容传声器 案例案例: :液面高度测量液面高度测量w4传感器优秀课件第六节 压电式传感器 压电式传感器是一种可逆型换能器，它既可以将机械能转换为电能，又可以将电能转化为机械能。它的工作原理是基于某些物质的压电效应。 一压电效应：a. 概念 某些晶体元件，在外力作用
25、下不仅几何尺寸发生变化，而且内部极化，表面出现电荷，形成电场。外力消去，电荷也随之消失，尺寸恢复，这种现象叫做压电效应。 相反，如果将这些物质 (物体)置于电场中，其几何尺寸也会发生变化，这种由外电场作用导致物质 (物体）产生机械变形的现象，称之为逆压电效应，或称之为电致伸缩效应。 w4传感器优秀课件b.晶体的各向异性与压电效应模型：w4传感器优秀课件电荷发生器:Q=DF (D压电常数；F 外力）从理论上讲，如果外力保持不变，无电荷泄漏，可以测静力。但是，由于测量对信号源吸取能量，且不可避免的存在泄漏，因此适合动态测量。w4传感器优秀课件二压电材料：单晶石英晶体铌酸锂，钽酸锂多晶- 压电陶瓷（
26、钛酸钡，锆钛酸铅PZT）新型材料三压电式传感器及其等效电路在压电晶片的两个工作面上进行金属蒸镀，形成金属膜，构成两个电极。当压电晶片受到压力F的作用时，分别在两个极板上积聚数量相等而极性相反的电荷，形成电场。因此，压电传感器可以看作是一个电荷发生器，也可以看成是一个电容器。w4传感器优秀课件等效电路：等效电荷源等效电压源Ra泄漏电阻e0CaRaqCaRaw4传感器优秀课件泄漏电阻qCR0uw4传感器优秀课件w4传感器优秀课件w4传感器优秀课件一阶高通环节w4传感器优秀课件不失真的条件？w4传感器优秀课件当时能实现不失真传输可见压电元件具有优良的高频特性，低频特性不好。为了改善其低频特性（降低下
27、限截止频率），需有较大的R0或C，而R0Ri，即压电元件需后接高输入阻抗的运算放大器。w4传感器优秀课件w4传感器优秀课件即压电元件需后接高输入阻抗的运算放大器。w4传感器优秀课件并联 电容量大，电荷量大，时间常数大，动态响应差，适合于慢变 信号的测量。以电荷量输出的场合。四、压电晶体片的连接方式w4传感器优秀课件串联 电容量小，电压大，时间常数小，动态响应好，适合于快变信号的测量。以电压作为输出的场合。w4传感器优秀课件五、压电传感器的测量电路压电传感器对测量电路的要求：压电传感器内阻很高，且信号微弱，因此，一般不能直接显示 和记录，而需经过二次仪表进行阻抗变换和信号放大。压电传感器需后接高
28、输入阻抗的前置放大器。前置放大器的作用：阻抗变换（高输入阻抗 低输出阻抗）放大微弱信号w4传感器优秀课件前置放大器的形式：电压放大器：电阻反馈，输出电压与输 入电压成正比。电荷放大器：带电容负反馈的高增益运放，输出电压与输入电荷成正比。w4传感器优秀课件电压放大器w4传感器优秀课件问题：输出电压与电缆电容有关。如果电缆电容变化，灵敏度也随之变化。 w4传感器优秀课件电荷放大器由电荷平衡建立方程式：w4传感器优秀课件w4传感器优秀课件输出电压与传感器的电荷量近似正比，且只与反馈电容有关，不受电缆电容的影响。这是电荷放大器的突出优点。w4传感器优秀课件传感器电压放大器传感器电荷放大器w4传感器优秀
29、课件第七节 磁电感应式传感器一工作原理：把被测量的变化转换成感应电动势的大小。 根据电磁感应定律：一匝数为W的线圈，当穿过该线圈的磁通量发生变化时， 线圈中产生的感应电动势e的大小与穿过线圈的磁通量 的变化率成正比w4传感器优秀课件w4传感器优秀课件二、动圈式：w4传感器优秀课件w4传感器优秀课件等效电路放大器检波传感器电缆 如果在其测量电路中接入积分电路或微分电路，那么还可以用来测量位移或加速度。由上述工作原理可知，磁电感应式传感器只适用于动态测量。 w4传感器优秀课件三、磁阻式：线圈与磁铁不动，由运动着的物体（导磁材料）改变磁路的磁阻，从而引起磁通量的变化，使线圈感应出电动势。w4传感器优秀课件不需能源，转换型输出能量较大，不需高增益放大器性能稳定四、特点w4传感器优秀课件
