光栅尺技术参数

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8、 ! #$%&(#*+,-./0 ! ! !# Lo (20C !#$ 1pm 2pm (ST322, 2.5pm 5pm (ST323 50mm - 350mm (7 3pm 600mm/s (ST322, 1500mm/s (ST323 ST422 579 !#$% !#$%& !#$% 5000mm/s !LED !#$%&(!*+,-./0 !#$%&(*+,- ! ! !# Lo (20C !#$ 0.2pm, 0.5pm, 1pm, 5pm 10mm - 1000mm (18 1pm (300mm , 2pm (350mm 500mm, 3pm (600mm - 1000mm !# 5000mm/s ( 337

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