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1、多晶硅的生产工艺大致要经过石英砂锻炼提纯生成工业硅(Si),氯化氢(HCL)合成、三氯氢硅(SiHCL3)合成并粗馏、三氯氢硅多级精馏得到高纯度三氯氢硅，以及 三氯氢硅在氢气(H2)气氛中高温还原沉积在硅棒上生长出多晶硅等主要环节。其中某 些厂房的一系列设备，如氯化氢合成炉、三氯氢硅加压合成炉、三氯 氢硅粗馏及精馏 塔提纯系统、还原炉等，是项目中自动化控制的重点，此外还包 括尾气回收等处的数 据采集和控制任务。整个多晶硅生产制备过程连续性强，需 要控制的过程变量多，且 牵涉到各种有毒原料的配比和反应，相应控制系统的选 型需要能够满足多晶硅生产工 艺的需求。黄河公司新能源分公司多晶硅采用基于西门
2、子法多晶硅生产工艺展开的，各 过程 之间的关系如图所示。目前根据生产工艺，霍尼韦尔分为四个控制区：合成控制区、还原区、精馏 区和 能源动力区，采用分区设立控制室，在能源动力区设置中心控制室。目前中 心控制室 仅有监视功能，并承担全厂生产调度功能，采用电话调度方式协调各分 区对整个成产 过程进行控制。整个系统由仪表、执行机构、模拟和数字信号模块，控制器、通讯处理器、 工程 师站和操作员站等构成。整个 DCS 系统主要分上位机和下位机两块。上位机 由操作员 站、冗余OS服务器和工程师站共同构成；下位机主要是自动化站。下位机采用冗余CPU的DCS系统，其区别与PLC系统，为保证可靠性采用大量设 备的双重化设置。主要采集信号为设备温度、流量、阀门状态等；主要控制 对象为阀 门和泵等。尤其是各种泵，均采用专用程序控制。从整体看，整个控制过程与水电站完全不同，上下位机采用以太网通讯，上 位机 软件为霍尼韦尔自己研发的软件，上下位机的通讯规约不明。
