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1、龙源期刊网 http:/多晶硅生产工艺废气污染治理作者：赵睿明 韩福彬来源：中国科技纵横2012年第 03期摘要：对于采用改良西门子法生产多晶硅过程中产生的废气进行分析，采用尾气干法分 离、吸附法等方法对其进行处理，不仅使排放达到了国家大气污染物排放标准，更实现了 H2、HC1、SiHC13、SiC14充分回收，具有非常高的经济效益和环境效益。关键词：多晶硅尾气干法分离氯化氢 氟化氢1、概述多晶硅是半导体工业、电子信息产业、太阳能光伏电池产业的最主要、最基础的功能性材 料，特别对于多晶硅太阳能电池生产和集成电路用硅单晶生产，其重要性不言而喻。目前国际 上多晶硅生产工艺主要有改良西门子法、硅烷法
2、、熔融析出法、沸腾床法等。但从主要工艺技 术现状和发展趋势来看，改良西门子工艺能够兼容电子级和太阳能级多晶硅生产，技术成熟、 适合产业化生产，是目前多晶硅生产普遍采用的首选工艺。2、生产工艺废气分析在多晶硅生产过程中，不同的工艺部分会产生不同的废气，这些气体的主要成分为氯硅 烷、H2、HCl及微量的SiH2C12、SiCl4等物质。废气污染产生情况如表1所示。3、废气污染治理3.1 尾气干法分离技术多晶硅生产过程中，产生的氯硅烷合成气、多晶硅还原、氢化尾气主要成分是H2、HC1、 SiHC13、SiCl4等。传统的尾气回收采用的多是湿法回收技术，但是此种方法会使大量的HC1 溶于水而成为酸性废水，给强酸性废水的处理造成压力，增加处理费用；而经普通水淋洗后的 H2饱和了大量水分，同时普通水中的各种微量杂质亦进入H2中，造成H2再纯化困难，甚至 根本不能纯化再利用，造成大量浪费。而干法回收技术是不接触任何水分，利用尾气中各种组分的露点、沸点等物理特性上的差 异，采用化工、冶金工业常用的闪蒸分离、精馏分离、吸收分离、吸附等成熟的分离技术，把 尾气中的H2、HCl、SiHC13、SiCl4逐一分开，既可以返回系统循环使用，又避免了二次污染 和水处理问题。
