红外探测器排气充气设备说明书

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1、.主要配置及系统简图二.产品概述三.工作原理四.技术指标及参数五.操作说明及注意事项六.使用维护及注意事项北京利方达真空技术有限责任公司 目录2.主要配置及系统简图序号名称13分子泵1 ,2, 3, 4工件14无油膜片泵5 ,6, 7, 8手动截止阀门15薄膜真空规9真空室16充气电磁阀10咼真空规17质量流量计11咼真空电磁阀18气体纯化器12流导控制阀2警告：不按要求操作本设备可能会造成人身伤害、设备损坏或工件 作废！未认真阅读并理解本说明书，请不要操作设备。设备 操作人员必须理解本说明书，掌握操作规范后，才能进行操 作！二.产品概述：本设备属于用户定制的非标研制类专用设备，用于红外探测器

2、的密封工艺。红外探 测器是红外地球敏感器的核心器件，为了避免受到外界环境中的湿气的影响，采用密封 的关键工艺是排气充气；即先将探测器内部的空气排出，即对系统抽真空，达到设定真 空度后，充气系统自动充入干燥氮氦混合气体，满足要求后结束充气，最后用冷焊钳将 排气管钳断冷焊，完成整个工艺。本设备是为了提高探测器的可靠性，解决工艺中存在的问题，专门研制的一套排气 充气设备。设备由真空系统、充气系统和控制系统共同完成对红外探测器的排气充气工 艺。真空系统抽速大，能在短时间内将排气管内压力抽到所需指标。充气系统能够满足 对充入气体的纯化和流量的调节。系统配置全部采用进口部件，可靠性高。整机具有外 观新颖；

3、结构布局紧凑合理、性能可靠，操作和维护方便等特点。系统为整体集成结构，机械部分和电控部分集成于一个机架之内，掀开左侧保护罩 可以进行安装器件和封接等操作部分，右侧外壳上安装开关按钮及触摸屏等控制部分。底部带调节地脚，方便移动并可调节水平。三.工作原理：1. 真空系统： 真空系统是红外系统的核心部分之一，它负担着红外系统的抽真空过程，同时各个 阀门还控制着系统中的气体通断和流量。真空系统由一套真空机组、流导控制阀、电磁 阀和真空规管及外部管道等共同组成。本系统主管道尺寸为0 50X490,内外表面经电解抛光处理，两端CF50法兰均可开 启；通过8个波纹管截止阀与8个工位口相接，1个KF40接口和

4、副管道连接，1个KF16 备用接口，便于以后对真空计标检。副管道上配有两个薄膜规和一个皮拉尼规，用于指示系统内压力，并兼做控制排气 和充气工艺的压力参数和过程切换。KF40电磁阀用于截止或连通器件和排气系统。流 导控制阀用于控制排气过程中的流导。3 顾客至上 优质创新 选择利方达 选择高品质工作原理：手动开启工位口截止阀，通过控制系统可以自动开启真空排气系统,薄膜规等测量装置自动开启并检测系统压力，到达设定值后，自动关闭电磁阀，结束 排气过程；流导控制阀可以在排气过程中调节排气流量。2. 充气系统：充气系统包含充气电磁阀、质量流量计、纯化器等，其主要功能为在系统真空度 达到设定值时向器件内充入

5、氮气和氦气混合气体。电磁阀可以通断充气过程，流量计 可以控制气体流量，气体纯化器对高纯气体进一步过滤以降低充入气体内的杂质，特 别是水蒸气含量及挥发性的金属离子等，从而提高器件寿命并减少颗粒物的产生，达 到提高充气质量的目的。工作原理：当系统排气压力达到设定值后，排气系统停止，充气系统自动打开向系统内充入气体；达到设定值后关闭充气阀门，结束充气过程。排气和充气过程需要循环数次，达到要求后用冷焊钳封离器件。3. 控制系统采用 Semens S7-200 PLC 为控制逻辑核心部件，显示触摸屏 ： Simatic TP177A。 由 PLC 控制分子泵、膜片泵、流导控制阀、流量调节阀、电磁阀的启停

6、；并读取真空 计数据；通过软件依据控制流程及相关工艺参数的设定来自动实现充排气过程。四.技术指标、 A. 技术指标注意：在设备运行前，请仔细阅读各相关设备及仪器仪表说明 书并检査电源、气源及冷却水循环系统正常且无隐患。设备参数和环境要求:a) 系统极限真空度：5X10-4Pa ,b) 工作真空度：10Pa3X10-3Pa,c) 恢复真空：3 X 103 PavlOmind) 充气循环次数可设定，充气压力： 0.81.5个大气压，可设定，压力精度达到95%e) 真空度及温度数据由测控系统自动采集和存储，并具有设备异常状态报警功能。f) 设备总占地空间：1 2 0 0 mmX800 mmX 1 5

7、 0 0 mm (长X宽X高)；B. 设备参数a)使用电源：2 2 0 V,50Hz,三相五线制；4b）设备总功率：W2KW；c）设备总重量：250Kg。C. 消防要求 车间厂房要具有符合国家消防要求的消防设施，操作要掌握电气灭火常识。电器设 备着火后，不能直接用水冲浇。因为水有导电性，进入带电设备后易引起触电，会降低 设备绝缘性能，甚至引起设备爆炸，危及人身安全。若仅个别用电器短路起火，可立即关闭电器电源开关，切断电源。若整个电路燃烧， 则必须拉断总开关，切断总电源。如果离总开关太远，来不及拉断，则应采取果断措施 将远离燃烧处的电线用正确方法切断。注意切勿用手或金属工具直接拉扯或剪切，而应站

8、在木凳上用有绝缘柄的钢丝钳、 斜口钳等工具剪断电线。切断电源后方可用常规的方法灭火，没有灭火器时可用水浇灭。 如果不能迅速断电，可使用二氧化碳、四氯化碳、1211灭火器或干粉灭火器等器材。注意绝对不能用酸碱或泡沫灭火器，因其灭火药液有导电性，手持灭火机的人员会 触电。这种药液还会强烈腐蚀电器设备，且事后不易清除注意：此设备操作（尤其程控部分）应由一定真空专业知识的人负 责，并设定界面密码。本设备在投入使用之前，操作人员必 须认真阅读本说明书和各泵、阀门及仪表等所有相关设备的 说明书，并严格按说明书操作五.操作说明及注意事项:A. 安装 设备安装在清洁、干燥和无强烈振动的地方，并保证电源的供应。

9、另外，设备周围应有适当的空地以方便操作和拆装。设备底座必须安装在平坦的地面上，整体机架必要 时使用地脚螺钉固定。B. 开启前的检查及准备 在设备开启之前，请仔细阅读说明书中系统原理图和触摸屏中流程图，熟悉各电源 按钮和原理图中的对应关系，以免错误操作。 本设备为整机发送给用户，发送前已经经过认真调试。 连接电控的电源进线必须良好接地，将设备各部分的电源引出线接好.5 顾客至上 优质创新 选择利方达 选择高品质 关紧全部阀门，并将所有电源开关置于关闭状态。 最后检查一遍电路是否畅通无故障，总电源位于合闸状态，设备有无运输损坏及 漏气等，当确认无误时方可投入使用。注意事项a. 本设备在投入使用之前

10、，操作人员必须认真阅读干泵、分子泵、膜片泵机组及各仪器仪表等所有相关设备的说明书，并严格按说明书操作。b. 为了维持设备良好的真空性能，应尽可能的缩短工件的装卸时间。设备发生故障应及时与厂家联系。C. 控制系统操作流程1. 系统准备：（1）、检查系统线路，电路、气路连接是否通畅；（2）、按下系统操作面板上的“总电源”按钮，系统上电，按下“电源开”按钮，“触摸控制屏”和“分子泵控制器”开始上电自 检，自检结束后“触摸控制屏”转入系统登陆画面如图 12.点击“系统登陆”按钮，系统进入监控主界面，在这个界面中用户可以对整个系统的进行控制，如图 2在监控界面正中是系统的流程图，在流程图的泵和阀的位置上

11、有相应的 状态指示灯，当泵和阀在工作时对应的指示灯会点亮；在监控界面的左侧是系统的运行状态的指示，在这部分区域除了显示系 统的真空度、剩余的清洗次数和质量流量计的开度外还对系统运行过程中的抽 气状态、充气状态、报警状态和完成状态用指示灯进行指示；6在监控界面的右上角显示的是系统运行所经历的时间；在监控界面的下方有 5 个按钮，分别是“运行”、“停止”、“参数设置”、报警查询”和“返回”，用户通过这些按钮可以完成整个充排气流程。3.1、参数设置：（1）、基本操作：点击“参数设置” 按钮，系统进入参数设置画面， 见图 3；在这个界面中，用户可以对“充气真空度”、“抽气真空度”、“流 量计流量”和“

12、清洗次数”进行设置，设置完成后点击“参数保存”按钮， 系统设置完参数后会记录到内存中，下次使用时如果参数没有变化不用重新输入，最后点击“返回”按钮，系统返回监控画面；72）、数据输入：点击数据输入框，系统弹出数据输入键盘，见图 4；数据输入完毕后点击流量计流量”的格式为 05000间的整数；例如：800、20、按钮确认输入，如果想取消输入或删除数1500 等；清洗次数”的格式为0200间的整数；例如：3、10 等；注意：真空度输入时符号“+”和“-”不能省略，输入数据时要注意负号“-”（）和下滑线“_” 的区别，否则有可能会弓I起系统逻辑错误！4）、数据存储：所有的数据输入结束后，点击“参数保

13、存”按钮，数据存入系统内存，如果按钮前的指示灯亮起，则表示“流量计流量”的 数据下置出错，请重新输入流量再点击“参数保存”按钮。3.2、系统运行、停止在参数设置完成之后点击“运行”按钮，系统将按照用户设置自动 完成整个充排气过程，在运行过程中，系统的充气和抽气状态将会在监 控界面的左侧有显示，系统运行时间将在屏幕右上角显示，系统充排气 流程结束后将稳定1分钟后发出声音提示同时“完成”状态指示灯点亮， 用户点击“停止”按钮终止流程；8注意：为了保护分子泵，在由充气向抽气切换的过程中 会等待分子泵转速下降到150HZ以下时抽气电 磁阀才会打开！3.3、系统报警 当系统运行中如果出现硬件错误系统将给

14、出声音警告同时监控界 面左侧的“报警”状态指示灯点亮，此时系统终止，用户可以点击“报警 查询”按钮来查看报警原因，待故障解除后点击“报警确认”取消警报。 见图 5；图5注意：在故障排除的过程中可以按下系统操作面板上的 “报警消音”按钮消除报警声音，待故障解除后 复位消音按钮！4. 系统退出当排气结束后，按下系统操作面板上的“电源关”按钮，系统终止 退出，按下“总电源”按钮，系统断电！六.使用维护及注意事项维护和注意事项1. 本设备属真空试验设备，应指定具有一定真空知识的专人进行操作、维护和保养。严格按照说明书进行各项操作。2. 为了维持设备良好的性能，应定期维护各相关仪器等93. 设备需要拆卸时，关闭所有电连接，从底端中间部起吊一用叉车运走。1) 其它泵，阀门、仪器仪表等配件的保养和维护请参考相关说明书。2) 密封圈经过长时间使用，造成划伤、老化或永久严重变形而影响使用时，请及时更换。3) 设备自交付之日起保修一年。4) 设备发生其它故障时请及时和厂家联系。故障预想及解决序 号故障现象原因分析处理方法1系统真空度下降1. 系统存在泄露2. 真空计显示错误1. 检漏后处理2. 检查真空计2泵抽速卜降1. 真空泵油故障2. 电磁阀未打开3. 电磁阀故障1. 更换泵油2. 开启相应按钮3. 拨打售后服务电话3充气管路故障1. 电磁阀故障2. 流量计