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1、1、目的的：规范范层压工工序制程程能力的的管控。2、范围围：适用用于层压压工序制制程能力力的管控控。3、职责责：3.1层层压工序序工艺工工程师按按规范要要求管控控该工序序制程能能力；3.2技技术中心心负责该该规范的的编制与与更新。4、模块块划分：序号规范模块块内容1制程目标标工序产品品能力、设设备能力力、制程程能力、产产品类型型及工艺艺流程2工序资源源工序设备备物料资资源3基本原理理工序药水水反应机机理、设设备作用用原理4工艺原则则工序参数数设定原原则、生生产控制制原则及及特殊产产品要求求5工艺维护护工序维护护保养内内容方法法和标准准6制程监控控工序制程程监控内内容及制制程测试试方法和和标准7
2、制程改善善制程状态态改善方方法和途途径8偏差处理理规范和生生产实际际偏差的的处理方方法和途途径。5、制程程目标5.1产产品能力力：详见见附件三三层压压工序产产品能力力参数表表5.2设设备能力力：详见见附件二二层压压工序设设备能力力参数表表5.3制制程能力力：详见见附件四四层压压工序制制程能力力参数表表5.4产产品类型型和工艺艺流程产品类型型工艺制作作流程常规板来板棕棕化预叠叠合压合X-RRay钻钻靶铣边出板内层底铜铜大于等等于200Z板，盲盲孔板、高高频板来板棕棕化烘板预叠叠合压合X-RRay钻钻靶铣边出板内层过电电镀的板板来板烘烘板棕化烘板预叠叠合压合X-RRay钻钻靶铣边出板6、工序序资源
3、6.1设设备资源源：详见见附件六六层压压工序设设备列表表6.2物物料资源源：详见见附件五五层压压工序物物料列表表7、基本本原理7.1棕棕化内层芯板板经过棕棕化处理理后，在在铜面形成成一层均均匀的棕棕色有机机金属膜膜，可增增强铜面面与半固固化片的的结合力力，同时时在高温温压合过过程中，阻阻止铜与与半固化化片的氨氨基发生生反应。产产品实现现的基本本原理有有药水作作用原理理、设备备作用原原理等。7.1.1棕化化反应机机理7.1.1.11酸洗酸洗的主主要作用用是去除除铜表面面氧化物物，中和和残余退退膜液，粗粗化铜面面，保证证稳定的的微蚀、成成膜及着着色。酸酸洗段的的主要成成分为过过硫酸钠钠（NaaPS
4、）、HH2SO4。其反反应机理理如下：Cu+CCuO+H2SO4+Naa2S2O82CuuSO44+Naa2SO4+H2O影响酸洗洗效果的的因素及及影响趋趋势如下下：序号影响因素素具体影响响1NaPSS浓度NaPSS浓度是是影响酸酸洗段效效果的主主要影响响因素，随随着NaaPS浓浓度的增增大，微微蚀量增增大，NNaPSS浓度过过高会影影响内层层铜厚及及线宽的的控制。2H2SOO4浓度H2SOO4浓度是是影响酸酸洗效果果的因素素之一，HH2SO4浓度过过低，酸酸洗效果果不佳会会导致棕棕化不良良。3温度根据阿伦伦尼乌斯斯方程：lnkk=lnnA-EEa/RRT。其其中k为为速率常常数，EEa为实实
5、验活化化能，AA为指数数因子。当当温度越越高，速速率常数数越大，反反应速率率越大。但但温度过过高，又又不利于于药水控控制与维维护。4喷淋压力力喷淋压力力影响药药水交换换速率，喷喷淋压力力过低，酸酸洗效果果不佳会会导致棕棕化不良良。喷淋淋压力过过高，易易损伤板板面。5时间除氧化物物、微蚀蚀需要一一定的作作用时间间，酸洗洗时间过过短，酸酸洗效果果不佳会会导致棕棕化不良良。7.1.1.22碱洗碱洗的主主要作用用是去除除铜表面面的油污污、手指指印、轻轻微氧化化物及抗抗蚀剂残残渣。碱碱式除油油剂主要要成分为为NaOOH和HH2O。其其反应过过程是利利用热碱碱溶液对对油脂的的皂化作作用和乳乳化作用用来进行
6、行除油。影响碱洗洗效果的的因素及及趋势如如下：序号影响因素素具体影响响1除油剂浓浓度除油剂浓浓度是影影响碱洗洗段效果果的主要要影响因因素，除除油剂浓浓度过低低，碱洗洗效果不不佳会导导致棕化化不良。2温度温度对于于碱洗段段除油效效果影响响较大，温温度升高高虽有助助于除油油剂皂化化作用和和乳化作作用的发发挥，但但随温度度升高除除油剂本本身在高高温下挥挥发并且且除油剂剂中的表表面活性性剂将出出现浊点点，导致致除油效效果反而而降低。3喷淋压力力喷淋压力力影响药药水交换换速率，喷喷淋压力力过低，酸酸洗效果果不佳会会导致棕棕化不良良。喷淋淋压力过过高，易易损伤板板面。4时间除油需要要一定的的作用时时间，碱
7、碱洗时间间过短，碱碱洗效果果不佳会会导致棕棕化不良良。7.1.1.33水洗棕化线在在酸洗、碱碱洗、棕棕化之后后均有水水洗段，主主要目的的是去除除酸洗、碱碱洗、棕棕化缸在在板面残残留的药药水，避避免污染染下一道道工序。 影响水水洗效果果的因素素及趋势势如下：序号影响因素素具体影响响1DI水电电导率水洗用水水必须具具备一定定的纯净净度，即即对电导导率有要要求，当当电导率率超过一一定范围围，则会会带来离离子污染染。2水洗时间间水洗需要要一定的的时间去去作用，水水洗时间间不够，则则无法去去除板面面残留药药水，从从而引起起缸与缸缸之间的的药水污污染。3喷淋压力力采用喷淋淋水洗主主要是为为了全面面去除板板
8、面各个个位置的的残留药药水，若若水洗压压力不当当，则会会导致局局部区域域水洗效效果不佳佳，引发发污染。7.1.1.44预浸预浸的主主要作用用是活化化铜表面面以利于于棕化处处理快速速均匀，增增强结合合力。预预浸段的的主要成成分为活活化剂（成成分为苯苯并三唑唑，乙二二醇单异异丙基醚醚和水）。影响预浸浸效果的的因素及及趋势如如下：序号影响因素素具体影响响1活化剂浓浓度活化剂浓浓度是影影响预浸浸段的主主要影响响因素，浓浓度过低低，活化化效果不不佳会影影响后续续棕化效效果。2温度根据阿伦伦尼乌斯斯方程：lnkk=lnnA-EEa/RRT。其其中k为为速率常常数，EEa为实实验活化化能，AA为指数数因子。
9、当当温度越越高，速速率常数数越大，反反应速率率越大。但但温度过过高，又又不利于于药水控控制与维维护。3时间预浸活化化需要一一定的作作用时间间，预浸浸时间不不够，活活化效果果不佳会会影响后后续棕化化效果。7.1.1.55棕化棕化的主主要作用用是粗化化铜面并并在铜表表面形成成一层均均匀的棕棕色有机机金属转转化膜以以增强多多层板内内层结合合力。棕棕化的主主要成分分为苯并并三唑、硫硫酸和水水。其反反应机理理如下：2Cu+H2SO4+H2O2+nAA+nBBCuSSO4+2HH2O+CCuAA+Bn有机物AA为：乙乙二醇单单异丙基基醚； 其作用机机理：11、参与与半固化化片环氧氧树脂聚聚合； 2、与与含
10、N的的杂环化化合物BB和金属属铜形成成化学键键。杂环化合合物B为为：苯并并三唑其作用机机理：11、与基基体铜结结合；22、通过过有机物物A的桥桥键与环环氧树脂脂结合；3、化化合物BB分子之之间通过过Cu22+以配配位键形形式连接接，增加加了棕化化层的厚厚度和平平整性。影响棕化化效果的的因素及及影响趋趋势如下下：序号影响因素素具体影响响1H2SOO4浓度H2SOO4浓度影影响微蚀蚀速率和和棕化剥剥离强度度，随着着H2SO4浓度的的增大，微微蚀速率率增大，HH2SO4浓度过过低，微微蚀速率率低，微微观粗糙糙度小，剥剥离强度度低，HH2SO4浓度过过高，溶溶液PHH值高，不不利于棕棕化膜在在铜面沉沉
11、积。2H2O22浓度H2O22浓度是是影响影影响微蚀蚀速率、棕棕化剥离离强度的的关键因因素，随随着H22O2浓度的的增大，微微蚀速率率增大，HH2O2浓度过过低，微微蚀速率率低，微微观粗糙糙度小，剥剥离强度度低，HH2O2浓度过过高，蚀蚀铜量大大，不利利于内层层铜厚和和线宽控控制，棕棕化膜发发红，耐耐化学性性下降。3棕化剂浓浓度棕化剂浓浓度影响响棕化膜膜的质量量、棕化化剥离强强度，随随着棕化化剂浓度度的增大大，剥离离强度增增大，棕棕化剂浓浓度过低低，棕化化膜在铜铜面覆盖盖率低，剥剥离强度度低，棕棕化剂浓浓度过高高，剥离离强度不不再增大大，药水水成本增增加。序号影响因素素具体影响响4Cu2+浓度
12、Cu2+浓度影影响影响响棕化膜膜的质量量、棕化化剥离强强度，CCu2+浓度过低低，不利利于棕化化膜在铜铜面沉积积，所以以新开缸缸时需保保留部分分原液，保保持一定定的Cuu2+浓度度；Cuu2+浓度度过过高高，缸底底或缸壁壁析出黑黑色结晶晶, 药药水消耗耗量大，成本增加，且剥离强度下降。5温度温度影响响微蚀速速率，根根据阿伦伦尼乌斯斯方程：lnkk=lnnA-EEa/RRT。其其中k为为速率常常数，EEa为实实验活化化能，AA为指数数因子。当当温度越越高，速速率常数数越大，微微蚀速率率越大。温温度过低低，微蚀蚀速率低低，微观观粗糙度度小，剥剥离强度度低；温温度过高高不利于于药水控控制与维维护。6
13、时间棕化时间间影响微微蚀量和和棕化剥剥离强度度，时间间过短，微微蚀量小小，微观观粗糙度度小，棕棕化膜不不致密，剥剥离强度度低；时时间过长长，蚀铜铜量大，不不利于内内层铜厚厚和线宽宽控制，棕棕化膜发发红，耐耐化学性性下降，孔孔口易形形成粉红红圈。7.1.2棕化化设备作作用原理理系统名称称作用原理理作用缸体体/段温控系统统保证棕化化温度参参数的准准确性酸洗缸、碱碱洗缸、预预浸缸、棕棕化缸、烘烘干段过滤系统统将药水中中的杂物物、结晶晶等滤去去，防止止喷嘴堵堵塞，同同时防止止杂物附附在板面面导致棕棕化不良良酸洗缸、碱碱洗缸、预预浸缸、棕棕化缸、水水洗缸喷淋系统统减少板中中间和板板边、上上下板面面的除氧
14、氧化物、除除油等清清洗效果果差异酸洗缸、碱碱洗缸、水水洗缸自动添加加系统自动控制制药水添添加，保保证药水水浓度的的准确性性。其主主要有：1、计片片添加系系统：设设定单次次药水添添加量，根根据电眼眼感应到到的做板板数量添添加药水水2、比重重添加系系统：设设定比重重控制范范围，低低于比重重控制添添加点时时添加棕棕化药水水酸洗缸、碱碱洗缸、预预浸缸、棕棕化缸传送系统统传送产品品的主要要载体，传传送感应应电眼还还可用于于记录过过板数量量和卡板板警报所有缸体体7.2烘烘板烘板的作作用主要要体现在在以下两两个方面面：对于于内层经经过电镀镀的板棕棕化前烘烘板的主主要作用用为去除除水分，此此阶段的的温度和和时
15、间可可以按参参数上限限设置。对对于棕化化后烘板板的主要要作用为为去除水水分，防防止后续续层压板板因内层层芯板吸吸潮引起起的分层层等缺陷陷；增强棕棕化膜与与半固化化片的结结合力。基本原理有设备作用原理。项目具体内容容主要设备备烘箱作用1、去除除水分；2、增强强棕化膜膜与半固固化片的的结合力力。基本原理理烘箱通过过电能使使加热管管加热，并并通过电电机通过过风道送送风使烘烘箱内部部温度达达到均匀匀。影响因素素1、温度度：温度度偏低，除除水效果果不好；温度偏偏高，结结合力、耐耐酸性下下降；2、时间间：时间间偏短，除除水效果果不好；时间偏偏长，结结合力下下降，生生产效率率降低；3、温度度均匀性性：均匀匀性差会会导致温温度差，产产生应力力。
