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1、精选优质文档-倾情为你奉上 ESD防护 1、目的: 为明确规范公司ESD管制技术标准，以及在整个生产过程中提供ESD防护及控制技术支持，完善公司ESD体系，从而达到提高客户满意度的最终目的。2、范围： 本规范适用于整个制造及运输过程。 3、定义： ESD：Electrostatic Discharge 静电释放。 EPA：静电防护区 ESSD：静电敏感元器件 静电：物体间因为相互摩擦而导致正负离子在接触表面聚集，当离子数量聚集到一定数量时，在表面产生电压，这就是静电。4程序： 4.1 EPA区域的划分： 4.1.1 EPA区必须具备以下基本环境要求：有明确的区域界限和防静电标示，对区域内所有导
2、体和人员可靠接地。 4.1.2 EPA静电敏感度等级： 4.1.2.1静电敏感度等级防范要求为200V，应尽量避免200V以上静电荷源，如无法避免，需采取有效方式消除。 4.1.2.2采用防静电标示与其它区域隔开，未采取有效防静电措施的人员，物料，设备，工具等皆不能进入。 4.1.2.3进入静电防护区域的人员应做好防静电要求，包括防静电工衣，静电鞋，静电帽，手腕带等测试合格后方可进入。 4.2 EPA的ESD控制措施； EPA控制措施按照下表实施：ESD控制措施要求ESD控制措施要求静电电压控制标准小于200V辅助工具防静电要求防静电标示要求静电材料禁止带入EPA要求防静电地板或地垫要求区域封
3、闭性可选防静电桌垫要求出口控制可选防静电腕带要求静电电压表可选防静电手套，指套要求表面电阻测试仪可选防静电工作服要求人体综合测试仪要求防静电工作鞋要求接地系统测试仪可选防静电工作椅要求离子风机要求防静电周转工具要求例子风机测试仪要求防静电包装材料要求防静电资料夹可选防静电烙铁要求防静电液要求防静电吸锡器要求办公区独立区域4.3 EPA标示； 防静电工作区，防静电包装材料，防静电周转工具和设备仪器的接地都应该有防静电标示。防静电标示的作用是警告任何靠近防静电区域的人员，必须按照防静电的标准规范进行操作。 4.3.1任何防静电工作区都必须有明确的区域标示，除非此区域是在防静电安全工作区内。标示上应
4、有注意说明，如“注意，静电安全工作区”或同意语，不可用“注意”，“静电”，“危险”等词。EPA标示所在位置及大小应保证至少在距离EPA区域外1米处可见。4.3.2应该使用黄黑相间的防静电地板胶带将每个防静电区域围起，并在比较显眼的胶带的入口处和中间位置贴上EPA区域边缘标记，其宽度为4-5cm，如下图所示。4.3.4 防静电器材，工具及静电敏感组件都应有明显的标示，如下图所示， 4.3.5有直接接触静电敏感组件的设备需贴上静电敏感设备标示，如下图所示 4.4 EPA的工程环境的防静电规范；4.4.1 EPA环境要求： EPA区的温度应该控制在18-30，湿度应该控制在30%-70%，区域内应配
5、备温湿度计，并在每天开工前进行点检记录，如点检结果不符合要求，应立即通知厂务进行处理，每月的温湿度点检记录应分类保存，保存年限在两年以上。 4.4.2 地面的技术要求； 4.4.2.1地板的防静电要求：为使人体静电能及时有效地通过地板泄漏到大地上，要求地板具有一定的导电性能，如下表为各种地板的泄漏电阻。（单位：）地坪材料名称泄漏电阻地坪材料名称泄漏电阻石104-109沥青1011-1013混凝土105-1010聚氯乙烯1012-1015一般刷漆地面109-1012导电性水磨石105-107橡胶109-1013导电性橡胶104-108木，木胶合板1010-1013导电性聚氯乙烯107-1011
6、4.4.2.2 防静电地板的定期检查与维护保养； 检查测量应在标准温湿度条件下进行，当地面附有绝缘性的油膜，树脂，橡胶或是其它脏污时，应根据实际情况定期清除，清扫防静电地板时候不可使用绝缘性的地板蜡。4.4.3 EPA的防静电接地保护技术要求； 4.4.3.1 接地线：接地主干线的截面积应不小于35mm2 ，支干线的截面积应不小于 16mm2 ,工作台及设备静电接地线应使用截面积不小于1.25mm2的敷塑导线，并以黄绿色为宜。 4.4.3.2 防静电设备的连接端子应确保接触可靠，易拆装，最好使用插头座。 4.4.3.3 接地电阻：指接地体与大地之间的接触电阻，静电保护接地电阻应小于1。 4.4
7、.3.4 地线的埋设：地线的埋设原则是埋设的地点土壤电阻系数越小越好，接地体与土壤的接触面积要大，接触密度要高，接触要紧。应使用耐腐蚀的接地体金属，接地体与接地线焊接要牢固，引线不要过长。 4.4.3.5 静电接地线的定期检查与维护； 厂务部门为确保静电接地线有效接地，应定期对接地线进行维护，对生锈的接地线要进行更换，对松动接触不良的接地线要重新连接。 4.5 EPA的人员防静电规范； 4.5.1 各类人员的防静电知识培训要求及职责：所有有可能进入EPA及可能接触静电敏感元器件的人员都必须接受ESD相关知识的培训，这既是对每各员工的基本要求，也是减小静电危害最有效的途径。4.5.1.1所有新进
8、直接员工上岗前必须接受两个小时的ESD理论知识培训，并讲解本规范内容，并考试合格者方可上岗。 4.5.1.2 所有在职员工每年必须接受不少于两小时的ESD知识再培训，培训的内容包括ESD新规范，新技术等。 4.5.1.3 工艺人员必须接受较为专业的ESD知识培训，了解电子工业生产过程中的防静电工艺技术，在实际生产过程中知道作业人员落实防静电措施。 4.5.1.4 质量管理人员必须接受较为专业的ESD知识培训，了解各种ESSD的静电敏感性能及防护知识，监督静电防护工程的实施，并评估其效果。 4.5.1.5 采购部人员必须接受基本的ESD知识，熟悉ESSD品种，规格，标示及防护方法，在物料采购及运
9、输过程当中严格遵守ESD防护规范。4.5.1.6 仓储转运人员必须接受ESD 基本知识培训，懂得在储存和转运过程中防护 ESSD 静电器件及相关的存放操作要求。4.5.1.7 检验和试验人员(包括外购件入厂检验试验和产品检验人员)必须接受较为专业的ESD知识培训，熟练掌握ESSD 的检测知识和防静电器件的 检测方法，严格按设计技术档要求和工艺规程进行检验和试验。4.5.1.8 负责防静电接地和布生产线的人员，应接受较为专业的 ESD 知识培训，熟悉防静电接地系统要求，掌握地桩、地线、及其它防静电设施的敷设或安装。4.5.1.9 生产管理人员应了解 ESD 基本知识，严格按静电敏感器件的设计档要
10、求和工艺规程组织生产，并开展对生产员工的静电防护日常教育。4.5.1.10 计量检定人员也应了解ESD基本知识，尤其是关于防静电仪器的校验知识，要定期调校防静电检测器材，保证其安全、有效。4.5.1.11 提高培训是针对ESD工作骨干人员组织的静电防护技术的高级培训，适用于 ESD小组成员、区域ESD责任人、各部门 ESD工作优秀人员和 ESD责任人的预备人选等。提高培训由公司ESD负责人根据需要不定期举行。提高培训的内容主要是 ESD 标准的学习讨论ESD新技术的学习，ESD案例学习和疑难问题讨论等。 4.5.2 人体静电防护系统；4.5.2.1 防静电工作服（帽）：防静电工作服是指为防止静
11、电荷积累，用防静电织物作 为 面料而制成的工作服，样式有连体式、分体式等。防静电工作服主要用来泄放人体高绝缘性能的服装所产生的静电或减少人体静电产生。防静电工作服的主要技术指标如下表。技术指标A级实验方法带电量0.6C/件耐洗涤时间33.0h防静电服使用要求: 应根据所制造或操作的 ESSD 的静电敏感度的不同，选用不同等级的防静电布料和防静电工作服。防静电工作服应在首次穿用前作防静电性能检测，只有测试合格方可投入使用，穿用一定时期后应对其防静电性能进行复测，防静电大褂衣和夹克衣每周应做一次防静电特性复测，对于检测不过关的防静电大褂衣和夹克衣应停止使用，更换新的。4.5.2.2 防静电工作鞋：
12、作业人员必须穿防静电鞋，经过人体综合电阻测试合格后，方可进入静电敏感区域工作。防静电工作鞋每半年应做一次防静电特性检测，对于检测不过关的防静电工作鞋应停止使用，更换新的。4.5.2.3 防静电手套或指套：在 EPA 内，操作员工应戴上防静电手套或指套，防静 电手套或指套兼具防腐蚀的功能。在不便使用有绳防静电腕带的岗位，如流动操作岗位，须使用防静电手套。坐式操作，必须佩戴腕带。防静电手套和指套较脏时应及时清洗干净，手套使用期限为一月，到有效期后，统一以旧换新，有破损统一更换。4.5.2.2 防静电腕带：防静电腕带是通过腕带与皮肤的直接接触和静电线接地的方 式，将人体皮肤表面静电泄放掉，由松紧圈和
13、接地组件构成。松紧圈的要求是体积电阻率100cm接地组件必须串接一定数值的电阻，以确保操作者意外触及高电压时不致发生人身伤害。该电阻的选择原则是，一方面应保证操作者在触及线电压时流过人体的电流不大于5mA，另一方面又要保证人体所带的静电能通过该电阻很快泄放，使皮肤上的静电压小于200V，一般该电阻阻值取为106。进入静电敏感区域应将防静电环连接好，与皮肤完全接触，保证防静电环正常有效的工作。腕带佩带方法：将腕带扎于手腕处，不能松动，手腕感觉四周握紧。保证手腕带内表面与皮肤良好接触，鳄鱼夹夹紧接地线。每班开工前，每位员工都应自检防静电环是否正常，并在静电手环点检表上作好记录，只有测试合格，才可以
14、进入静电敏感区域工作。4.6 静电敏感区域的防静电操作规范； 4.6.1 所有的ESSD及其部件的操作必须在静电安全工作台上进行。贮存和运输ESSD及其部件时，应妥善进行防静电包装。拒绝接受未包装在防静电容器里的ESSD。运输 ESSD及其部件时，应将其放入防静电包装内进行，必要时，应用离子风机来消除在运输过程中产生的静电。4.6.2 新布置的生产线或工位等都应进行ESD认可，只有认可合格后，方可给生产线使用。4.6.3 新投入防静电敏感区域的防静电材料，包括主料，辅料和包装材料都应进行ESD认可，只有认可合格后，方可给生产线使用。4.6.4 新投入防静电敏感区域的防静电工具等都应进行ESD认可，只有认可合格后，方可给生产线使用。4.6.5 不具备防静电功能的必备工具和用具，应放在防静电桌垫上，并应置于离子风机的作用范围内。4.7 静电敏感区域的工作台、工装、设备以及防静电器材的防静电规范；4.7.1 基本防静电要求：防静电工作区内的各种设备、工具、工装仪器都应实施静电防护措施，如接触元器件的部分应使用防静电材料(体积电阻10
