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1、建设项目环境影响报告表项目名称：中微南昌刻蚀研发清洗设备项目建设单位（盖章）：南昌中微半导体设备有限公司编制日期：2023 年 12 月中华人民共和国生态环境部制目录一、建设项目基本情况 1二、建设项目工程分析 23三、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准 53四、主要环境影响和保护措施 59五、环境保护措施监督检查清单 92六、结论 94建设项目污染物排放量汇总表 95附图：附件：附图一项目地理位置图附件一 委托书附图二本项目与现有项目位置关系图附件二 备案文件附图三项目四周环境保护目标示意图附件三 用地文件附图四南昌市生态保护红线划定范围图附件四 厂房租赁意向书附图五南昌市环境管控单元
2、分类图附件五 关于南昌高新技术产业开发区规附图六高新区规划（修编）用地现状图划（修编）环境影响报告书的审查意见附件七瑶湖污水处理厂接管范围图附件六关于中微南昌产业化基地项目环附图八项目所在区域水系图境影响报告表的批复附图九卫生防护距离包络线图附件七 中微南昌产业化基地项目（一期）附图十项目四周环境现状图竣工环境保护验收组意见附件八 原辅料 EKC 成分报告附件九 营业执照 I 一、建设项目基本情况建设项目名称中微南昌刻蚀研发清洗设备项目项目代码2310-360198-04-01-508087建设单位联系人联系方式建设地点江西省南昌市南昌高新技术产业开发区光电路 699 号地理坐标（ 116 度
3、 3 分 56.253 秒， 28 度 44 分 11.318 秒）国民经济行业类别M7320 工程和技术研 究和试验发展建设项目行业类别四十五、研究和试验发展 98 专业实验室、研发 （试验）基地其他（不 产生实验废气、废水、危险废物的除外）建设性质新建（迁建）改建扩建技术改造建设项目申报情形首次申报项目不予批准后再次申报项 目超五年重新审核项目重大变动重新报批项目项目审批（核准/备案）部门（选 填）南昌高新技术产业开 发区管理委员会项目审批（核准/ 备案）文号（选填）2310-360198-04-01-508087总投资（万元）800环保投资（万元）10环保投资占比（%）1.25%施工工期
4、/是否开工建设否是：用地（用海） 面积（m2）不新增用地（依托现有项目 100m2）专项评价设置 情况表 1-1 专项评价设置原则表专项评价 的类别设置原则本项目情况设置情况大气排放废气含有毒有害污染物 1 、二噁英、苯并a芘、氰化物、氯气且厂界外 500 米范围 内有环境空气保护目标 2 的建设项目。不涉及不展开地表水新增工业废水直排建设项目（槽罐车外送污水处理厂的除外）；新增废水直排的污水集 中处理厂。不涉及不展开环境风险有毒有害和易燃易爆危险物质存储量超过 临界量 3 的建设项目。不涉及不展开生态取水口下游 500 米范围内有重要水生生物的自然产卵场、索饵场、越冬场和洄游通道的 新增河道
5、取水的污染类建设项目。不涉及。不展开 1 海洋 直接向海排放污染物的海洋工程建设项目。 不涉及 不展开注：1 、废气中有毒有害污染物指纳入有毒有害大气污染物名录的污染 物（不包括无排放标准的污染物）。2 、环境空气保护目标指自然保护区、 风景名胜区、居住区、文化区和农村地区中人群较集中的区域。3 、临界量及其计算方法可参考建设项目环境风险评价技术导则（HJ 169）附录 B、附录 C。根据以上表格，本项目无需设置专项评价。规划情况产业区规划名称：南昌高新技术产业开发区规划(修编)报送单位：南昌高新区管委会；审查单位：南昌市人民政府；审查时间：2016年11月。规划环境影响 评价情况规划环境影响
6、评价文件名称：南昌高新技术产业开发区规划（修编）环境影响报告书；审查机关：生态环境部；审查文件文号：环审【2019】26号。规划及规划环境影响评价符合性分析一、与区域规划符合性分析本项目位于高新区瑶湖北岸组团区域，根据南昌高新技术产 业开发区规划(修编)环境影响报告书及批复（环审201926 号）， 瑶湖北岸组团区域以光电一体化、生物医药产业，重点发展绿色、 低碳的高新技术产业、光伏产业作为规划发展产业。高新区瑶湖北岸组团环保准入要求见下表。表 1-2 高新区瑶湖北岸组团的负面清单建议及其他团(组) 限制类负面清 禁(单)止类 限制条件(类项目)准入 瑶湖北岸组团光电 一体 化、 生物 医药产
7、 业， 重点 发展绿 色、 低碳1 、新建、改扩建国家产业政策中的限制类项目；2、正常生 产过程中 不可避免 产生地下 水、土壤 污染的项1、新建、改扩建国家产业政策中的限制类项目；2、有化学合 成的原料药 生产项目；3 、电镀、冶炼的项目（配套电镀工序的除1 、新建、改扩建国家产业政策中的限制类项目需得到发改委核准；且相关经济技术指标需满足国家生态工业示范园区标准；2、生产过程中不可避免产生地下水、土壤污染的项目，必须采取1 、光电一体 化、新材料、 电子信息和 生物医药属 于园区的优 势产业，要紧 紧依靠优势 产业为园区 带来的优势， 强化下游产 业链的发展， 根据国家相 2 的高 新技
8、术产 业、 光伏 产业目；3 、新建、 改扩建原 料含有尚 未规模化 种植或养 殖的濒危 动植物药 材的产品生产项目；4 、新建、 扩建单纯 扩大产能 的光伏制 造项目；5、存在重大环境风险源的项目。外）；4、赣府厅发 200858 号 文中的高污 染、高能耗、高排放项目；5、正常生产 过程不可避 免产生地下 水、土壤污 染，且其污 染程度和范 围不可接受的项目；6、不符合国家法律法 规、政策的 药品研发、 生产项目； 7、国家产业 政策中淘汰 类的项目。最严格的地下水 和土壤污染防治 设施，将污染程 度和范围控制在 安全的范围内；4 、新建、改扩建 原料含有尚未规 模化种植或养殖 的濒危动植
9、物药 材的产品生产项 目，其生产规模 需得到相关动植物保护部门认 可，以确保该项 目不会对濒危动 植物造成影响；5、存在重大风险 源的项目，其风 险源距离周边居 民区、学校等敏 感需 500m 以上。关政策要求， 在符合各项 环保要求的 前提下做大 做强产品延 伸产业链条， 形成精深产 业集群。2 、根据赣府厅发200858号文件，在沿江1公里范围内禁止新建高能耗高排放项目，并将生物医药边界范围调整到1公里范围以外。根据上表分析，企业属于电子电工信息行业，本项目属于其中 的试验部分，主要建设内容为对即将进入现有项目研发工序的基片 进行清洗，属于产业结构调整指导目录（2019 年本及 2021
10、修订 版）中允许类项目，且本项目不属于负面清单中限制类的濒危动 植物药材产品生产项目、光伏制造项目及存在重大环境风险源的项 目，不属于负面清单中禁止类的有化学合成的原料药生产项目、赣 府厅发200858 号文中的高污染、高能耗、高排放项目，故本项目不在瑶湖北岸组团的负面清单内。二、项目土地利用规划性分析本项目位于江西省南昌市南昌高新技术产业开发区光电路 699 号。根据南昌高新技术产业开发区（修编）规划内容，本项目 用地为规划居住用地，但根据洪高新管文202039 号，本项目用地 范围已调整为工业用地。同时本项目租赁南昌城微置业有限公司用 地（租赁协议见附件四），且南昌城微置业有限公司提供了用
11、地规划许可证（地字第 360100202000007G）（用地文件见附件三）， 3 土地用途性质为工业用地，因此本项目的土地规划性与实际用途是相符的。其他符合性分 析一、与鼓励外商投资产业目录（2022 年版）、产业结构调整指导目录（2019 年本及 2021 修订版）相符性分析建设单位母公司中微半导体设备（上海）股份有限公司为中外 合资公司，即项目属于外商投资类。根据鼓励外商投资产业目录 （2022 年版），本项目属于“中西部地区外商投资优势产业目录 ” 中“江西省 ”中的“28 半导体芯片上下游产品研发与生产 ”，为 外商投资优势产业，符合外商投资产业导向；本项目属于产业结 构调整指导目录
12、（2019 年本及 2021 修订版）中的“允许类 ”范 围。且南昌高新技术产业开发区管理委员会为本项目出具了备案文 件（项目统一代码为：2310-360198-04-01-508087）。因此，该项目建设符合国家有关产业政策的要求。二、选址可行性分析用地性质的相符性项目选址于江西省南昌市南昌高新技术产业开发区光电路 699 号，用地性质为工业用地，不涉及基本农田，不涉及生态红线。本项目用地性质符合规划。选址所在地环境敏感程度本项目选址不属于生活饮用水源和地下水补给区、风景名胜 区、温泉疗养区、水产养殖区、基本农田保护区、自然保护区等需要特殊保护区域，项目所在区域环境敏感程度一般。环境功能一致
13、性分析由环境质量现状可知，项目所在地区环境空气、地表水、声环 境质量现状均能达到相应的功能区划的要求。项目生产过程中产生 的废水、废气以及噪声、固体废物经妥善处理后，均能达标排放，对外环境影响较小，项目建设不会使区域环境功能发生改变。与周边环境相容性分析 4 本项目东面为空地，南面为南昌良良实业有限公司，西面为南 昌合力泰科技有限公司及江西怡杉环保科技园，北面为江西美晨通 讯有限公司。周边分布的企业为电子芯片制造、环保设备制造、睡 眠寝具用品制造研发等企业，与本项目不产生冲突，周边企业相容性适合。从项目周边企业分布来看，本项目与周边企业均未构成明显环 境制约。本项目污染物在采取各项污染防治措施后均可达标排放， 对外环境影响较小。因此，从项目周边环境来看，项目与周边企业 及敏感点相容。在采取了环保措施，保证周围环境不受到其影响的前提下，本环评认为该项目的选址可行。三、与挥发性有机物（VOCs）污染防治技术政策相符性分析根据挥发性有机物（VOCs）污染防治技术政策（公告 2013年第 31 号），本项目相符性分析详见下表。表 1-3 与挥发性
