ITO蚀刻基本知识

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1、ITO蚀刻基本知识ITO蚀刻介绍（主讲生产线操作）a-jpgITO刻蚀内容: ITO化学名称 ITO刻蚀机理影响ITO刻蚀因素 ITO刻蚀不良原因分析b-iPdITO名称:ITO中文名:氧化钮锡化学名称：帀2。 SnO2CjPQITO刻蚀机理1ITO刻蚀液配比：HCI : HNOj ; H2O = 9 : 1 : 6 （体积比）ITO刻蚀液浓度：6505Mol/LITO刻蚀浓度是以液体内的H+浓度进行衡量.d.jpgITO刻蚀机理2級.2瀝E-ak/注tIfVam1笊门空4詞W;. ,砂？ , b |3k2：:稠4 J柵gj：I ：；. A 越I哪一橄Etching圖案是我們想要丽叩匕I;:斗

2、耳;汀刚ohiJnOj + 6 HCI =2 InCb + 3 出02SnO2 + 8 HCI =2 SnC + 4 出0+ 6 HNO3 =2 In+ 3 出。2SnO2 + 8 HNO3 =2 Sn(/VOJ4 + 4I i,. 1 ；J;；rs UoiicJi.;onie.jpgITO刻蚀后图形:USS RH. wW底切朋炳鏈AT * 3L 抽二瀾 綁 Y字轨拧.伽影响ITO刻蚀的因素要因素：1.1刻蚀液浓度1.2刻蚀液温度1.3刻蚀传送速度2 次要因素：2.1刻蚀液喷淋压力2.2刻蚀液喷头摇摆速度gjpoITO刻蚀注意事项11刻蚀液浓度：11刻蚀前确认刻蚀液浓度12刻蚀液重新配制后，需

3、要将刻蚀液循环10 分钟左右后,再进行酸浓度测量.13刻蚀过程中抽检浓度14刻蚀过程中，浓度降低需要检查机台各用 水部分（密封水，润滑水，抽风管道）和刻蚀段进 出口风刀h.jpgITO刻蚀注意事项2ng;二 JL d.丿化4 ：.不良名称:ITO短路2 刻蚀液温度：2 J刻蚀前，确认温度达到工艺指定温度.22刻蚀过程中，确认温度变化在工艺范围内3 刻蚀带速:在正常生产过程中，不能更改刻蚀带速,若要进行更改，需要当班助理以上人员 同意才可以进行更改生产线巡线人员在巡 线时，要检查刻蚀液温度/刻蚀带速 fQ后:制说屛刑S Uon：iu：（）ulijpgITO刻蚀不图片1不良原因：POSI制作过程中

4、，涂POSI 前玻璃基板上有纤维，显影 后有纤维类异物抻到玻璃 上或MASK被污染造成刻 蚀后ITO走线短路. 控制点:显影后乔備:点训iOfdbjPOITO刻蚀不图片2kjpg不良名称:ITO针孔控制点:显影后如不良原因：POSI制作过程中，涂POSI 后fOSI上冇针孔，或POSI层中有异物,造成刻 蚀后rro层出现针孔或走 线断线.ijpg - y七i.一不良名称：ITO划伤ITO刻蚀不图片3不良原因：POSH：程前的初清洗或 POSI制作过程中玻璃表 面受到污染，造成刻蚀后 ITO走线断线或缺口.控制点:ITO刻蚀后外观检 注:发现的不艮耀进行如 隔离流程. S Uo.i:h：c；nn