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1、北京中芯国际微电子行业废气处理洗涤塔PM项目操作流程 SEX洗涤塔的切停，清洗及恢复1 北京中芯国际微电子行业废气处理洗涤塔的切停流程1.1北京中芯国际微电子行业废气处理洗涤塔的切停流程此项操作需要格林斯达环保施工人员4名：其中班组长（领班）一名，工人3名，费时约半天。格林斯达环保施工时要着重注意的是：梯子需要两人一前一后搬运以保证安全；工具要放在顺手的位置以备使用，使用完不可随便乱放；电箱电线等用电设施要远离水源以杜绝安全隐患，如清洗机运转时溅出的水，或使用高压水枪清洗塔内部时从视窗飞溅出的水都有可能导致电路问题；电线高挂两米以上以免绊倒施工人员或其他行人；使用隔离带将全部施工区域围好；高空
2、作业时安全带不能挂在消防管路等一切不容许的管路上，注意高挂低用；安全帽，个人防护PPE必须全部佩戴好；保证梯子安全，上人时必须有其他人扶着梯子；随时保持通道畅通等。1.2由于结晶的影响，手动阀可能无法顺利打开。此时需在洗涤塔塔体进口处靠近damper的侧面使用手枪钻一边一个共开两个斜向孔，从孔洞中插入高压清洗机的枪头给叶片冲水以去除结晶。可从入口侧的视窗外查看是否清除掉全部影响阀门打开的结晶物。清洗后应及时用胶带封上两个孔洞。1.3如关闭塔体入口出口的damper后发现不能完全保证系统不漏风，就必须在出口入口的风管中插入木板。此时要在出口处和入口处的风管上下对应的位置打四个眼。注意打眼时上紧手
3、枪钻钻头不要让其脱落掉入风管内引起不必要的麻烦。并要用通丝提前试试是否能顺利插入孔洞以保证后续操作顺畅。在风管上部打几个眼以便于曲形锯锯头的插入。使用曲形锯切出与插板尺寸一致的横槽，并用透明胶带暂时封好以等待随后插入木板。注意通丝上下的螺丝必须全部拧紧，且通丝应垂直插入于风管，下部露出长度也最好一致。如下部露出过多应布置警示以避免碰伤行人头部。1.4随后的步骤必须在主办现场代表实时监测系统压力和频率波动的条件下进行，一有异动必须马上停止一切动作等待指示。在打开视窗之前需要请业主使用控制柜切断一切相关电路，仪表等并挂盘上锁，以防后续清洗工作中设备突然启动伤人。特别需要注意要停止循环水泵的运行，以
4、免打开视窗后还有水溅出来伤人。还要注意必须在停泵后才能打开出水阀放水以防水位下降过多低于水泵进水口导致水泵空转。在开启出水阀期间，不能有任何的清洗工作，以防洗涤塔内壁的任何大块垃圾或微生物脱落阻塞出水管路。1.5格林斯达环保人员到达洗涤塔上部，在入口风管上部缓慢插入木板到槽内，插到底后用胶带将缝隙全部密封好避免漏气。1.6入口处缓慢关上手动damper。可使用锤子轻轻敲击关闭。注意必须确保手动阀关闭到底。1.7在出口处缓慢插入板子到槽内，插到底后用胶带将缝隙全部封好。1.8出口处缓慢关上手动damper。可使用锤子轻轻敲击关闭。注意必须确保手动阀关闭到底。1.9缓慢拆除除雾器视窗，进风口视窗，
5、出风口视窗及大填料视窗，注意拆除顺序最好综合考虑先拆对压力和波动影响较小的再逐渐拆影响较大的。视窗拆下后可拆塔体上面盖板，此时可将6个螺旋喷洒头拆下以备清洗，清洗时注意不要破坏喷洒头。1.10打开视窗后可以从内部仔细观察进口damper的百叶片确保其完全关闭，如还有废气漏进可用塑料布严密封堵入口并用通丝牢牢固定。2北京中芯国际微电子行业废气处理洗涤塔本体内部以及外部清洗流程2.1此项操作需要格林斯达环保人员5名，其中班组长（领班）一名，工人4名。其中最好有一到两名身材瘦小的工人可方便进入塔体内尤其是下部的狭小空间。此操作共费时约一天。格林斯达环保施工时要着重注意的是：个人防护用品的佩戴。因为与
6、AEX排放单一碱性废气不同，SEX排放的废气还含有多种制程工艺中产生的有毒有害气体。2.2拿出PH sensor及电导度sensor放入清水中浸泡。注意PH sensor的检测头要着重清洗。待洗涤塔清洗完毕后放回。2.3掏出全部填料。如果在开视窗当日掏填料要注意塔体内部的湿气很大，如隔一日湿气已散尽时掏填料则更要注意粉尘产生的伤害。由于此步骤工作强度较大，工作时要注意人员的替换。不能同一工人长时间在洗涤塔内工作以致因为出汗而不自觉摘下面罩或敞开衣襟。此项操作需要尽量先从外面掏出填料，最后再让人员进入洗涤塔内部协助操作以减少人员在塔体内部的总时间。2.4填料全部掏出后即可开始洗涤塔内外部的清洗工
7、作。最好先进行视窗洒水喷头等小部件的清洗以防遗忘。喷嘴摘下后清理掉上面的结晶。注意安上后开口方向要朝向视窗，不要装反。在其后清洗管路时可以检验洒水喷头出水是否顺畅并可以覆盖全部视窗。2.5洗涤塔内部格栅和内壁的冲洗，包括隔离板，前后阀门，框架等。此项操作需要人员依次进入塔内四个房间操作。注意冲洗进风入口处时要着重冲洗百叶片上的结晶。进风口房间内有一朝向填料格栅方向的出水冲洗口需要着重清洗内部相连管路。需要用高压水枪直接插入出水口冲洗，此时需要拧开外侧相连管路以观察冲洗水的出水流量和流速，进而判断管路是否清洗通畅。清洗格栅和内壁时注意可使用铲刀铲去结晶，或用锤子敲击震动以松动结晶便于冲洗等。2.
8、6冲洗时产生的冲洗水可使用自带水泵抽出并排入指定排水口。注意不能将废液直接倒入排水口，必须经过合适孔径的滤网等过滤以防其中的填料碎渣和其它垃圾堵塞管路。2.7循环管路的清洗比以上所述的塔体内部清洗更为重要。洗涤塔内滋生的各种菌类会堵塞循环管路导致压损增加而使处理风量减少。常见的有细菌，真菌和藻类等，通过观察此项目洗涤塔内多为真菌。在清洗前可将一切能拆开的大小管路全部拆开，观察内部污物堵塞和结晶情况。可用改锥等细长之物将抹布捅入擦洗管口，然后用高压水枪冲入高压水分管段进行清洗。高压水枪清洗时可观察管路出口水的流速流量和清洁程度，进而判断管路是否畅通。循环泵和相连管路是最容易被杂物阻塞的区域，如有
9、必要可将泵拆开后仔细清洗。2.8对填料拉西环的清洗可先用酸液浸泡后用高压水枪冲洗，洗掉上面的结晶和污物，外观良好即为洗好。注意损坏的填料必须检出扔掉。2.9拿出下部池子的格栅，用铲刀清除上面的结晶。一些用于查看水位或流量的带刻度管段要拆下着重清洗。2.10拆下的视窗要清洁。可用高压水枪冲洗，如冲洗不掉可用铲刀铲去其上污物。如视窗破损则必须更换。2.11按照从上到下的清洗顺序，最后要清理并载运水槽下部的微生物和淤泥。可让一到两名身材矮小的工人进入下部空间内用高压水枪冲洗并将所有杂物和水一起掏出。积水可用自带水泵抽出到指定排水口。如有必要，可顺便用水泵逆向抽取排水管路中的污水以清洗排水管路。内部清
10、洗完毕后可使用高压水枪冲洗或抹布擦洗洗涤塔外部一切管路，设备等，以保证外观清洁。洗涤塔内外清洁完毕后可以打开进水阀，放入清水。可酌情放入过量清水以备开循环泵。3北京中芯国际微电子行业废气处理洗涤塔的恢复运行3.1格林斯达环保此项操作需要施工人员4名：其中班组长（领班）一名，工人3名，费时约半天。先组织人员关闭除雾器视窗及大填料视窗，从洗涤塔上部放回全部填料。注意放回填料的数量要达到规定要求。3.2在主办代表实时监测压力和频率波动的条件下，以与切停流程相反的顺序拔去插板，打开damper，恢复设备的风路畅通。最后打开循环水泵，开启循环水，并检查视窗，管路等有无漏水。如有，则需要进一步上紧螺丝。 3.3上螺丝操作时要注意先安上所有螺丝，再按一定顺序统一上紧，以确保整个视窗玻璃受力均匀，避免漏水，漏气或产生局部开裂。3.4清洗前所开全部孔洞此时要用相同材质的焊条严密封堵，玻璃钢材质上的开孔可使用胶带封堵。最后检查现场卫生，撤去警示带等保护标识。3.5系统保养完毕后，洗涤塔前后的压差250Pa，循环水压1.35Kg/cm2，洒水喷头一月之内不会堵塞方为合格。
