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1、高分辨场发射扫描电镜技术参数一、二次电子分辨率：0.8 nm （加速电压15 kV）1.1nm （着陆电压1 kV）二、放大倍率：40到900k三、电子光学：1. 电子枪：场发射电子枪2. 加速电压：0.5到30 kV，3. 透镜系统：三级以上电磁透镜系统4. 物镜光阑：四孔或大于四孔可调光阑（内置加热自清洁功能,）5. 消像散器：八级电磁系统（X，Y）6. 探测器：低位（Lower）、高位（Upper）、和顶位（Top）至少三个探测器进行二次电子/背散射电子的接收（配置光学导航摄像探头，配备红外CCC探头）四、样品室和样品台：样品台控制：高精度五轴马达台移动范围指标：X= 100 mm, Y
2、 = 80 mm, Z 20mm1- X、Y轴重复精度优于0.5微米。2. 样品台控制：图形界面控制；样品位置记忆功能；图片导航功能3. 样品仓接口：不少于10个附件预留口并带有附件返控接口4- 可进样尺寸：直径不小于100mm五、显示系统1. 用户界面：电脑显示器上的图形用户界面2. 电脑：操作系统：微软Windows 7专业版3. 显示器：进口 24.1寸专业图像处理液晶显示器2台4. 扫描模式：二维图像显示；选区模式；点分析模式；线积分；隔行扫描，漂移补偿帧积分5. 图像显示模式:大屏显示模式（1280 960）四屏同时显示模式（640 480）选区显示模式（图像调整时使用）6.图像存储
3、保存格式：BMP,TIFF （8位，16位，24位），JPEG,存储像素不小于6k X 4k六、真空系统1. 真空控制：完全自动气动阀系统2. 真空泵：离子泵：2或3个进口涡轮分子泵：1 （主抽气）前级干泵：13. 真空度：样品室：10-4 Pa七、保护措施断电保护、断水保护、漏气保护，配有进口空压机和冷却循环水系统，分别用于冷却扫描电镜镜筒及其它部件，要求配备2小时不间断电源系统备用场发射灯丝1根，物镜光阑1套八、防污染措施液氮冷阱，集成式等离子清洗装置（利用电镜主机软件操控）九、工作条件1. 电源：220V/50 Hz，2. 环境条件：室温：17C 23C3. 相对湿度：80 %4. 仪器
4、运行的持久性：可连续运行十、能谱仪技术参数1 .能谱探测器：传感器面积100mm2。2 .分析元素范围：Be4U923.能量分辨率（Mn-Ka）:优于129eV （STD严格依照ISO15632国标准测量4 .在0200kcps范围内的分辨率稳定性：90%5. 能量分辨率和死时间实时显示6. 可处理最大计数率：1,600,000CPS最大输出计数率800,000CPS7. 分析平台：要求提供最新型支持中文在内多国语言，在使用中可随时切 换的智能软件系统；要求系统平台可实现能谱仪，EBSD波谱仪一体化操作。7.1.智能相分布：在快速扫描的同时，实时自动识别化学相并给出其面分布7.2-专家峰识别（ExpertID）:基于物理原理的高级峰识别技术，对叠峰和痕 量元素 识别更准确7.3.智能跟踪：实时跟踪系统状态，确保其始终处于最佳条件7. 4.智能数据复查：方便提取数据和重构面分布8. 智能定性分析：基于物理原理的定性分析技术9.智能定量分析：针对具体应用， 有不同的定量方法供选择十一、离子溅射仪技术参数1 .溅射电流：0- 40mA2. 压力控制范围：7- 20Pa3. 镀膜速率：15nm/min （ Pt靶）（溅射条件：溅射腔压力：7Pa；溅射电流：40mA溅射距离：20mm4 .溅射靶材（阳极靶材）:Pt靶材
