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1、材料加工设备概论1、 对太阳电池的实际应用起到决定性作用的是美国贝尔实验室3位科学家关于 单晶硅太阳电池的研制成功,在太阳电池发展史上起到了里程碑的作用。2、早期硅太阳电池的生产工艺流程:3、 现代机电设备的功能实现部分不仅有原动部分、传动部分、工作部分,还包括自 动检测技术、自动控制技术的控制系统。4、 电动机的选择原则:交流电动机以其结构简单、价格便宜、维护工作量小的优点正显现取代直流电动机的态势,一般有两个原则:不需调速的机械,无论是长时工作、短时工作或重复短时工作的机械,应首选交流电动机;当电动机的操作特别频繁,会引起电动机发热,启动特性不能满足机械需求时,才考虑用直流电动机。对于需要
2、调速的机械,要综合分析机械的转速、功率、力矩、使用场合、调速成本、对电网的影响、电动机的损耗与通风等多项因素,合理选用电动机。5、传动装置是一种将动力源输出的运动和动力传递给设备工作终端的装置。6由一系列相互啮合的齿轮组成轮系,可实现减速、变速、变向等要求。7、检测与传感装置的作用就是及时检测设备运行的各种物理参数,并将检测获得的数据转化为电信号输送到设备的信息处理中心。8控制系统主要用来处理检测与传感装置传递的信息,并能及时对机电设备相应运动参数进行调整或修改,达到预期设计的功能。9、按腐蚀液的种类不同,硅片的制绒可分为碱性制绒和酸性制绒。10、扩散工艺原理:在太阳电池制备中,扩散的主要目的
3、是形成P-N结,对硅进行扩散的典型做法是将硅片置于 800? 1200 C高温石英管中,并通入含 有待 扩散元素的混合气体。目前通常采用参杂了硼的P型硅片作为原料,采用三氯氧磷作为扩散源提供磷原子在硅片的一面通过扩散磷来形成P-N结。常采用的扩散方法为石英管中进行闭管液态源方式扩散。11、扩散室一种由微粒的热运动所引起的物质输运过程,可以由一种或多种物质在气、液或固体的同一相内或不同相间进行。12、扩散系数是描述杂质在被扩散物体 (如待扩散硅片)中扩散快慢的一个 参数。13、刻蚀是采用化学或物理的方法,有选择地从半导体材料表面去除不需要材料的过程。刻蚀技术分为湿法腐蚀和干法刻蚀。14、高刻蚀速
4、率和高均匀性一直是微细加工技术发展的主要追求目标15、( 1)等离子体是由部分解离的气体及等量的带正负电荷粒子所组成,其中所含的气体具有高度的活性,它是利用外加电场的驱动而形成,并且会产生辉光放电现象。(2)等离子体刻蚀的基本原理包括:在低压下,反应气体在射频功率的激发下,产生电离并形成等离子体;自由基和被刻蚀材 料之 间的化学反应对材料产生腐蚀作用;反应生成挥发性极强的气体脱离被刻蚀物质表面,并被真空系统抽出腔体。16、化学气象沉积(CVD)是反应气体在一定条件下分解并发生化学反应,最终生成固态物质沉积在物体表面继而形成薄膜的一种技术。17、等离子体增强化学气象沉积(PECVD)的特点:电子
5、和离子的密度达 1091012 个/cm3,平均电子能量可达1 10eV成膜过程在真空中进行,大约 在5500Pa范 围内,成膜均匀,适合大面积沉积。18、PECV啲整个工艺流程约半个小时,其流程图如下:装片进舟抽空恒温沉积nV 卸片退舟充氮清洗4抽空19、正面电极的形成和厚度总是两方面因素平衡的结果:一方面要有高的透过率;另一方面要保证栅网电极有一个尽可能低的接触电阻。20、丝网印刷基本原理:丝网印刷由五大要素构成,即丝网、舌I刀、浆料、 工作台以及基片。刮刀在丝网印版的浆料部分施加压力,油墨在移动过程中透过网孔挤压到基片上,整个过程刮刀与丝网印版和基片呈线性接触。21、电极金属材料和有银浆、银铝浆、铝浆膜层的半导体单晶硅加热达到共晶温度,硅原子以一定的比例溶入熔融的合金电极材料形成合金系统,降低温度使系统冷却再结晶,使硅原子重新结晶出来形成外延层,就获得了用合金法工艺形成的欧姆接触。22、光生载流子的定向运动形成光电流。23、由于光照而在电池两端出现的电压称为光电压。24、P-N结太阳电池等效电路:IIIoRs