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1、19）中华人民共和国国家知识产权局汐（12 ）实用新型专利（10）申请公布号CN208766456U（43）申请公布日2019.04.19（21）申请号 CN201821819846.8（22）申请日 2018.11.06（71）申请人 青岛天仁微纳科技有限责任公司地址266000山东省青岛市城阳区长城路89号青岛博士创业园21A号楼407、408 室（72）发明人 冀然（74）专利代理机构代理人（51）Int.CI权利要求说明书 说明书 幅图（54）发明名称采用超大尺寸软膜模板进行大面积压印的纳米压印装置（57）摘要本实用新型公开了一种采用超大尺寸软膜模板进行大面积压印的纳米压印装置，包括底
2、座；工作台、导向柱，垂直设置在底座上；衬底，放置于工作台上，衬底上表面旋涂有压印胶层；模具夹持单元，设于导向柱上并且可沿导向柱上下移动；软膜夹具，设于模具夹持单元上；软膜模板，设于压印胶层上方，软膜模板与压印胶层相接触的面上设有微纳米压印图案，软膜模板一端与软膜夹具固定，软膜模板的另一端与工 作台固定；压印装置，设于软膜模板上方，所述 压印装置上设有压辊；UV固化装置，设于软膜模 板上方并且可在软膜模板上方横向及纵向移动。 本实用新型可在超大尺寸的非平整刚性衬底上实 现均匀、高效、低成本制造，实现大尺寸刚性衬 底的大面积纳米转印图形化。法律状态法律状态法律状态公告日 法律状态信息2019-04-19 授权 授权权利要求说明书采用超大尺寸软膜模板进行大面积压印的纳米压印装置的权利要求说明书内容是请下载后查看说明书采用超大尺寸软膜模板进行大面积压印的纳米压印装置的说明书内容是请下载后查看
