激光干涉仪的维护与保养及故障处理

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1、激光干涉仪的维护与保养及故障处理激光干涉仪是以光波为载体，以光波波长为单位的高精度、高灵敏度检测设备，在高端 制造领域应用广泛。SJ6000激光干涉仪采用美国进口高稳定氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术，实现快 速（约6分钟）、高精度（0.05ppm）、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光输出；采用高精度环 境补偿模块、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，结合线性镜组能 实现0.5ppm精度的线性测量；结合相应镜组还能实现角度、直线度（平行度）、平面度、 垂直度、回转轴等参数的测量，并进行动态分析。SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、测量范围大、分辨力高等优点。

2、通过与不同的光学组件结合，可以实现对线性、角度、平面度、直线度（平行度）、垂直度、 回转轴等参数的精密测量，并能对设备进行速度、加速度、频率振幅、时间-位移等动态性 能分析。在相关软件的配合下，可自动生成误差补偿方案，为设备误差修正提供依据。1. 维护保养说明：1.1.仪器运输要求不用设备时需将激光器出光口前盖，旋转90度，防止外部粉尘进入激光头内部。 对仪器要小心轻放，避免强烈的冲击震动。1.2. 仪器保存要求 附件应统一放在附件箱，需防撞、防划伤。 激光干涉仪要设置专库存放，环境要求干燥、通风、防震、防雾、防尘、防锈。仪器应 保持干燥。 各种仪器均不可受压、受冻、受潮或受高温，仪器箱不要靠

3、近火炉或暖气管。 保持光学镜的干燥、清洁。 不可拆卸，不可手摸。1.3. 光学镜维护 尽量不要去擦拭仪器的反光镜、分光镜等，如必须擦拭则应当使用无磨蚀性镜片纸和眼 睛清洁布轻轻擦拭。 清洁时使用适合眼睛的清洗液或类似的清洁剂，严禁丙酮擦拭。2. 常见故障处理：故障一、仪器开机上电后，电源指示灯不亮。（1）仪器急停开关没有旋出来。请将急停开关顺时针旋出。（2）电源没插好。请检查电源线是否正常上电。故障二、开启测量软件后，连接不上。（1）确认仪器电源是否已经开启，急停开关是否处于弹起的状态。（2）确认串口线与电脑、仪器连接是否松动。（3）把串口线连接到电脑另外一个串口，如果问题得以解决，说明之前的串口坏了。（4）PC机端查看设备管理器确认连接正常。如果以上几点都确认没有问题，串口仍然连接不上，请联系厂家解决。故障三、参考标准数据有出入。（1）首先确认两个对比标准是否为同一标准（国籍、标准号、年份等），若不是同一标 准，很可能不同标准之间存在细小的差异，需要找第三方数据进行核验。（2）若是同一标准，请务必说明参考的标准或书籍的名称和相关出版信息，方便的话请 帮忙拍照反馈图片给我们，以便我们进行核验和完善，对此表示感谢。