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1、设备使用问卷调查表各位用户及学界先进 您好 感谢您长久以来对国家实验研 究院奈米元件实验室 NDL 的支持与爱护。提供更专业的全 方位服务是我们的责任使客户满意是我们追求的目标追求 世界第一是我们的愿景。 为了提升服务品质本实验室希望 透过 NDL 的 web portal 进行客户满意度调查以提升 NDL 服 务品质及行政支援效率。您的宝贵意见是我们改进的重要参 考和未来研究资源运用效率检讨的依据。请您拨冗填写以下 表单您的协助与意见将使我们更加成长与进步谢谢您的合 作。 顺颂 教安 倪卫新 敬上 国家奈米元件实验室主任 国 立交通大学 TSMC 讲座教授 一、基本资料 填写日期 姓名 学校
2、/系所或单位/部门职称博士班硕士班其他 联络 电话 E-mail 指导教授姓名 指导教授 E-mail 指导教授联络 电话 国家实验研究院 国家奈米元件实验室 National Nano Device Laboratories 表单编号 S4-BP02C 修定日期 95/09/01 二、详细资料 1.请问您是否曾取得 NDL 自行操作仪器资格 是否2.请问您是否曾委托NDL进行代工服务是否 3.请问您是否曾参加NDL所开设之课程是否4.请问您 是否曾与NDL共同进行研究计画推动是否5.请问您目 前使用NDL仪器设备所使用的经费多来自於自费国科 会贵仪 NDL 合作计画 无使用过 NDL 仪器设
3、备 三、网 站改版满意度调查 非常满意 满意 普通 不满意 非常不满 意 您对 NDL 目前网站首页编排方式 5 4 3 2 1 您对 NDL 目 前网站提供的资讯内容丰富性5 4 3 2 1您对NDL目前网站 使用容易度5 4 3 2 1您对NDL目前网站资讯更新速度5 43 2 1您对NDL目前网站下载速度5 4 3 2 1四、技术支援 满意度调查未使用其他贵仪中心仪器设备者贵仪中心栏位 免填 非常满意 满意 普通 不满意 非 常 不 满意 您对仪 器设备使用预约上的便利性 NDL 5 4 3 2 1 贵仪中心 5 4 32 1 您对仪器设备的使用稳定度 NDL 5 4 3 2 1 贵仪中
4、心 54 3 2 1 您对仪器设备工程师的专业程度及应用经验 NDL 5 4 3 2 1 贵仪中心 5 4 3 2 1 您对仪器设备在违规事项与工安 问题的标示明确性 NDL 5 4 3 2 1 贵仪中心 5 4 3 2 1 您对 仪器设备技术服务服务对自己研究上的帮助 NDL 5 4 3 2 1 贵仪中心 5 4 3 2 1 五、课程规划满意度调查 非满普不非 国家实验研究院 国家奈米元件实验室 National Nano Device Laboratories 表单编号 S4-BP02C 修定日期 95/09/01 常满意 意 通 满意 常 不 满意 您对NDL现有开课项目5 4 3 2
5、1 您对NDL现有课程规划内容5 4 3 2 1您对NDL讲师授课 方式、表达能力5 4 3 2 1您对NDL课程的收费标准5 4 3 2 1您对NDL课程对工作或自己研究上的帮助5 4 3 2 1六、 合作研究满意度调查 非常满意 满意 普通 不满意 非 常 不 满意 您对NDL合作研究案的申请与审核流程5 4 3 2 1 您对NDL合作研究案服务窗口的服务态度5 4 3 2 1您对NDL 研究人员的专业素养与研究态度 5 4 3 2 1 您对 NDL 研究环境的完善程度 5 4 3 2 1 您对合作研究模式对自己研 究上的帮助 5 4 3 2 1 七、营运组制程模组及设备服务满意 度调查未
6、使用营运组仪器设备仪器设备者免填 1.请问您曾 经使用过本实验室下列何项制程模组及设备服务 可复选 频率请略估每日、每周、每月、每年 微影 Lithography 频 率 湿式清洗蚀刻 Wet Clean Etch 频率 蚀刻 Etching 频率 化学机械研磨 CMP 频率 离子植入 Implantation 频率 电化学电镀 ECP 频率 热处理制程 Thermal Process 频率 分子磊晶 Epitaxial Growth 频率 薄膜沈积 Thin Film Deposition 频率 薄膜特性分析 Thin Film Analysis 频率 奈米碳管 CNTs 频率 电性量测分析
7、 Electrical Measurement 频率 金属化制程 Metallization 频率 表 面污染分析 Contamination Analysis 频率 2.请问您对於营 运组制程模组及设备服务满意程度如何 非常满意 满意 普 通 不满意 非 常 不 满意 国家实验研究院 国家奈米元件 实验室 National Nano Device Laboratories 表单编号 S4-BP02C 修定日期 95/09/01 机台之维护能力 5 4 3 2 1 对 制程技术支援能力 5 4 3 2 1 机台训练及考核之专业性 5 4 3 2 1 对现有机台预约制度之满意度 5 4 3 2
8、1 对现有机台 种类及属性满意度 5 4 3 2 1 就营运组制程模组及设备所提 供的自行操作服务而言您觉得还有哪些方面可以做进一步 的改善 3.请问您对於营运组委托服务方面您的满意度如何 不曾委托服务者可免填 非常满意 满意 普通 不满意 非 常 不 满意 到目前为止整个交货、验收过程 5 4 3 2 1 代工 品质的稳定性 5 4 3 2 1 委托服务时程之长短 5 4 3 2 1 机 台委托代工之价位 5 4 3 2 1 就营运组委托服务而言您觉得 还有哪些方面可以做进一步的改善 八、奈米量测技术组仪 器使用满意度调查未使用奈米量测组仪器设备仪器设备者 免填 1.请问您曾经使用过曾经使用
9、过下列何项分析服务 或 者曾自行操作何项设备可复选 频率请略估每日、每周、每 月、每年 场发射扫描式电子显微镜 SEM 频率 扫描探针 显微镜 SPM 频率 欧杰电子显微镜 Auger 化学分析电子 仪 ESCA 频率 穿透式电子显微镜 TEM 频率 X 光绕 射仪 XRD 频率 试片准备室 含 PIPS ion-mill 频率 A、 如果您是申请委托服务者请填写此部分 您申请的是哪一项 分析服务 可复选 场发射扫描式电子显微镜 SEM 扫描探 针显微镜 SPM 欧杰电子显微镜 Auger 化学分析电子仪 ESCA 穿透式电子显微镜 TEM X 光绕射仪 XRD 试 片准备室 含 PIPS i
10、on-mill 您对本单位奈米量测分析服务 的满意程度为何 非满普不非 国家实验研究院 国家奈米元 件实验室 National Nano Device Laboratories 表单编号 S4-BP02C 修定日期 95/09/01 常满意 意 通 满意 常 不 满意 您觉得负责分析工程师的技术专业度如何 5 4 3 2 1您对分析结果的满意程度为何 5 4 3 2 1 就奈米量测组委托服务而言您觉得还有哪些方面可以做进一步的改善B、如果您是自行操作者 请填写此部分 您使用的仪器是下列哪一部 场发射扫描式 电子显微镜 SEM 扫描探针显微镜 SPM 穿透式电子显 微镜TEM X光绕射仪XRD
11、试片准备室 含PIPS ion-mill 您对本单位奈米量测分析自行操作仪器设备服务 的满意程度为何 非常满意 满意 普通 不满意 非 常 不 满意您觉得所提供的仪器设备SOP是否清楚5 4 3 2 1您 认为此仪器之训练与考核是否让您对仪器有进一步的认识 避免错误操作 5 4 3 2 1 您认为分析仪器所得之资料对您的 研究助益很大吗 5 4 3 2 1 从训练、考核、预约到使用仪器 您觉得奈米量测组有哪些项目或流程需要做更好的改善 C、 整体来说您对於奈米量测组所提供之仪器设备或分析服务 的满意度是 非常满意 满意 普通 不满意 非 常 不 满意 整体满意度 5 4 3 2 1 九、高频分
12、析组仪器使用满意度调查 未使用高频分析组仪器设备仪器设备者免填 1.请问您曾经 使用过曾经使用过下列何项分析服务 或者曾自行操作何项 设备可复选 频率请略估每日、每周、每月、每年 奈米元件 参数量测系统 频率 20/50 GHz 元件高频 S 参数量测系统 频率 国家实验研究院 国家奈米元件实验室 NationalNano Device Laboratories 表单编号 S4-BP02C 修定日期95/09/01 110GHz元件高频S参数量测系统口频率 高频杂 讯参数量测系统 频率 高频功率参数量测系统 频率 RFIC 量测系统 频率 元件低频杂讯参数量测系统 频 率 4-port 高频
13、S 参数量测系统 频率 脉冲式射频量测系 统口频率A、如果您是申请委托服务者请填写此部分 您申 请的是哪一项分析服务 可复选 奈米元件参数量测系统 20/50 GHz元件高频S参数量测系统口 110GHz元件高频S 参数量测系统 高频杂讯参数量测系统 高频功率参数 量测系统 RFIC 量测系统 元件低频杂讯参数量测系统 4-port 高频 S 参数量测系统 脉冲式射频量测系统 您 对本单位高频分析服务的满意程度为何 非常满意 满意 普 通 不满意 非 常 不 满意 您觉得负责分析工程师的技术 专业度如何 5 4 3 2 1 您对分析结果的满意程度为何 5 4 3 2 1 就高频分析组委托服务而
14、言您觉得还有哪些方面可以做 进一步的改善 国家实验研究院 国家奈米元件实验室 National Nano Device Laboratories 表单编号 S4-BP02C 修定日期 95/09/01 B、如果您是自行操作者请填写此部分 您使用的仪 器是下列哪一部 奈米元件参数量测系统 20/50 GHz 元件 高频S参数量测系统口 110GHz元件高频S参数量测系统口 高频杂讯参数量测系统 高频功率参数量测系统 RFIC 量测系统 元件低频杂讯参数量测系统 4-port 高频 S 参 数量测系统 脉冲式射频量测系统 您对本单位高频分 析自行操作仪器设备服务的满意程度为何 非常满意 满意 普通
15、 不满意 非 常 不 满意 您觉得所提供的仪器设备 SOP是否清楚5 4 3 2 1您认为此仪器之训练与考核是否让 您对仪器有进一步的认识避免错误操作 5 4 3 2 1 您认为分 析仪器所得之资料对您的研究助益很大吗 5 4 3 2 1 从训练 考核、预约到使用仪器您觉得高频分析组有哪些项目或流程 需要做更好的改善C、整体来说您对於高频分析组所提供之仪器设备或 分析服务的满意度是 非常满意 满意 普通 不满意 非 常 不 满意 整体满意度 5 4 3 2 1 国家实验研究院 国家奈米 元件实验室 National Nano Device Laboratories 表单编号 S4-BP02C
16、修定日期 95/09/01 十、南科奈米结构制造组仪器 设备满意度调查未使用南科仪器设备仪器设备者免填 1.请 问您曾经使用过本实验室下列何项制程模组及设备服务 可 复选 频率请略估每日、每周、每月、每年 化学气相沈积电 感藕合蚀刻PECVDICP 频率 热蒸镀机Thermal coater 频 率 反应式离子蚀刻 STS 频率 原子力显微镜 AFM 频率 金属溅镀系统 Sputter 频率 表面轮廓量测仪 Profile meter 频率 电性量测系统 HP4140BHP4145B 频率 膜厚量测 NK及 M-gage 频率 电子显微镜 SEM 频率 炉管 Furnace 频率 光阻涂布及显影系统 Track 频率 湿式蚀刻 Wet bench 频率 光罩
