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1、电子厂房洁净室测试方法随着人们物资文明生活的不断提高，洁净技术在生产生活中的应用越来越多，它被广泛 应用于微电子、半导体和精密机械等对环境有很高要求的工业制造厂房。洁净室对各项性能 指标都有非常明确、严格的要求，不同的设备、工艺、安装水平对总的效能都有不同的影响， 对此就需要过程完工后进行严格的竣工验收和测试，来检验是否达到要求，以便满足生产环 境要求。本文就某微电子厂房万级洁净室的各项测试项目进行简单的介绍，并结合实际对洁净 系统测试过程中的注意事项进行简单说明。根据业主要求，本洁净室测试项目主要有：风量、 静压差、洁净度、室内温度、相对湿度、噪声的测试。1 测试前的准备工作（1）测试工作在
2、系统调整好并运行至少24 小时之后进行；（2）所测试的洁净室和净化系统应再次全面清扫；（3）任何一种测试得出的洁净度级别，必须注明测试状态。2 风量测试2.1 测试仪器风量罩、风速仪2.2 风量测试准备测试前必须检查风机运行是否正常，系统中各部件安装是否正确，过滤器是否干净，所 有阀门应固定在一定的开启位置上，并且在图纸上标注出每个风口的设计风量，如图1所 示，以便于调整风量。同时选用与送风口尺寸相适应的风量罩口。1150同品向同同I.11501150!.1150ft.Mi+SOOOm.S/h-斟加期閹 1150m3/h115J11501150115D11fO11W11M1150nr：oi畑s
3、：l；5i.图 1 风口风量标注2.3 测试方法（1）首先通过主风管上的测定口利用风速仪测量出主风管内的风速，并按下式计算 出总风量。总风量需满足设计要求。Q=V*F*3600式中：Q为风量（m3/h）； V为管道内的平均风速（m/s）； F为测定主风管的净面积（ m2）。（2）风量罩开机，并等风量罩能正常工作后才开始测试；（3）将风量罩完全罩住所需要测试的风口，同时将风量罩与风口四周压紧；（4）待风量罩读书趋于稳定后读取数值，读取3次测量数值，取其平均值即为该风 口的风量；（5）若风口的风量与设计风量的偏差大于允许偏差，应通过调节风口上的风阀来调 整风量的大小。2.4 注意事项（1）测量主风
4、管风速时，测量次数应不小于 3 次，取其平均值作为主风管风速；（2）风量罩测量风量时，风量罩与风口四周一定要压紧，防止漏风；（3）测量时应从风管末端的风口逐一向前测量，以便于调整风量。2.5 判定标准2） 室内各风口风量与设计风量的允许偏差为15%。3 静压差测试3.1 测试仪器微差压力计（仪表灵敏度不应低于 2.0Pa）3.2 静压差的作用为了维持洁净室内的洁净度免受邻室的污染，在洁净室内维持某一个高于邻室的空气压力，是洁净室区别于一般空调房间的重要特点。具有以下两个作用：（1）在门窗关闭情况下，防止洁净室外的污染由缝隙渗入洁净室内；（2）在门开启时，保证有足够的气流向外流动，尽量减少室外空
5、气进入室内。3.3 静压差测试方法（1）洁净室所有的门均关闭的条件下进行测定；（2）由高压向低压，由平面布置上与外界最远的里面房间开始，依次向外测定。3.4 判定标准（1）相邻不同级别洁净室之间和洁净室与非洁净室之间的静压差应大于 5Pa；（2）洁净室与室外之间的静压差应大于 10Pa。4 室内洁净度的测试为了正确评价工程的施工质量，应对洁净室洁净级别进行测定。本工程按要求在静态的状态下进行测定。4.1 测试仪器光学粒子计数器（采样速率大于lL/min）。在仪器选用时应考虑粒径鉴别能力，粒子浓度适用范围和计数效率。4.2 测试方法（1） 粒子计数器应有有效的标定合格证书。室内测定人员不应超过3
6、 名，且必须穿干净洁净服远离或者位于采样点的下风侧静止不动或微动。2） 确定最低采样点数按照表 1 来确定。采样点应均匀分布于整个面积内，并位于工作区的高度（距地坪0.8m的水平面），或者设计单位、业主特指的位置。表1最低限度的采样点数NL测点数NL2345678910洁净区面2.16.112.120.130.142.156.172.190.1积 A(m2)6.012.020.030.042.056.072.090.0110.0注：1 在水平单向流时，面积A为与气流方向呈垂直的流动空气截面的面积。2最低限度的采样点数NL按公式NL=A0.5计算（四舍五入取整数）。3） 每个采样点最小采样量按照
7、表2 来确定。表2每次采样的最少采样量VS （L）洁净度等级粒径（um）0.10.20.30.51.05.01200084002200840196056803208419656824004282057240522262468062222268722782229222（4）每个采样点的最少采样时间为lmin。每个洁净室（区）最少采样次数为3次。 当洁净区仅有一个采样点时，则在该点至少采样 3 次。取三次的平均值，即为 该点的实测数值。4.3注意事项（1） 采样时采样口处的气流速度，应尽可能接近室内的设计气流速度；2） 对单向流洁净室，其粒子计数器的采样管口应迎着气流方向；对于非单向流洁净室，采样
8、管口宜向上；（3）采样管必须干净，连接处不得有渗漏。采样管的长度应根据允许长度确定，如 无规定时，不宜大于 1.5m；（4）由于洁净室气流分布的不均匀和尘粒分布的不均匀，建议吧工艺布置在主流区 内；（5）主要工艺尽量布置于送风管上风段，上风段相对来说，洁净程度比下风段要好；（6）净化处理原则：能用局部净化的场合，就尽可能不用全面净化。 4.4判定标准每个采样点的平均粒子浓度Ci应小于或等于洁净度等级规定的限值，见表3。表3洁净度等级及悬浮粒子浓度限值洁净度等级大于或等于表中粒径D的最大浓度Cn （pc/m3）0.1pm0.2pm0.3pm0.5pm1.0pm5.0pm1102210024104
9、3100023710235841000023701020352835100000237001020035208322961000000237000102000352008320293735200083200293083520000832000293009352000008320000293000注：1本表仅表示了整数值的洁净度等级（N）悬浮粒子最大浓度的限值。2 对于非整数洁净度等级，其对应于粒子粒径D （ym）的最大浓度限值 （Cn）,应按下列公式计算求取。Cn=10Nx（0.1/D）2.083洁净度等级定级的粒径范围为0.15.0ym，用于定级的粒径数不应大于3 个，且其粒径的顺序级差不应
10、小于1.5倍。5 温湿度的测试5.1 测试仪器温湿度测试仪5.2 测试方法(1) 室内测点布置：送回风口处；恒温工作区具有代表性的地点(如沿着工艺设备 周围布置或等距离布置)；没有恒温要求的洁净室中心。(2) 测定一般应布置在距外墙表面大于0.5m，离地面0.8m的同一高度上；也可以根据恒温区的大小，分别布置在离地不同高度的几个平面上。(3) 测点数应符合表4的规定。表 4 温、湿度测点数波动范围洁净室面积50m2每增加2050m2At=0.52C5个增加35个ARH=5%10%At0.5C点间距不应大于2m,点数不应少于5个ARH5%5.3 判定标准90%以上测点偏差值在室温波动范围内，为符
11、合设计要求。反之，为不合格。6 噪声的测试6.1 测试仪器声级计(带倍频程分析)6.2 噪音测试条件(1) 生产设备必须处于正常工作状态，并维持运行状态不变；(2) 测试过程中，应避免或减少振动、电磁场、温度、湿度等环境因素的干扰。6.3 噪声测点位置(1) 测定布置应按洁净室面积均分，每 50m2 设一点。测点位于其中心，距地面1.11.5m高度处或按工艺要求设定。(2) 测点上的传声器，应置于人耳位置高度。传声器应指向影响较大的声源，难于 判断声源方位，则应将传声器竖直向上。6.4 判定标准洁净室内的噪声级(空态)，非单向流洁净室不应大于60dB(A)，单向流、混合流洁净 室不应大于 65dB(A)。洁净室测试的结果直接反应了设计、施工的质量，必须采取正确的方法并测定出正确的 数值，才能真正起到检测设计、施工质量的目的。以上就是本人针对深圳某微电子厂房洁净 室测试做了一个简单的介绍。鉴于经验有限，还有很多不足之处，还需要继续努力，提高自 己。参考文献：1 GB50073-2001洁净厂房设计规范S.北京:中国计划出版社,2001.2 GB50243-2002通风与空调工程施工及验收规范S.北京:中国计划出版社,2002.3 JGJ71-90洁净室施工及验收规范S.1990.4 GBJ1221988工业企业噪声测量规范S.1988.
