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真空退火炉工安全技术操作规程6.扩散泵送电加热,约40min以后,泵油加热蒸发,这时关闭2号真空阀,然后再打开高真空阀。7.真空度高于0.133Pa后关闭热电偶电源,打开电离计电源,用电离计测量真空度。8.把电子电位差计的定针调到要求的温度值,把PID调整到规定的比例带和积分、微分时间(比例带为40%150%,积分时间为62.5min,微分时间为54min)9.把电路电源手动给定旋钮调到最小,开关打到自动位置,把PID调节器的手动调到最小,开关打到手动位置,并接通PID电源。10.电炉送电,调整PID的手动,使三相电流表的输出指示基本均衡在3070A。11.待炉温接近给定值时,把PID的炉温控制从手动打到自动以便进行自动控制。12.保温时间满足要求后,如工艺要求随炉冷却,可关闭电炉电源。如工艺要求控制冷却,即把PID由自动打到手动,靠手动调节冷却。13.350以上不准关闭水源和真空系统,关闭扩散泵时,必须首先关闭高真空阀,然后关闭3号真空阀,打开2号真空阀。14.关闭机械泵时,先关闭2号真空阀,再关闭电源。15.炉温高于150时,不准放气和打开炉盖。16.工作过程中一定要严格遵守上述安全技术操作规程,不准脱离岗位,经常注意检查水源、仪器、真空度、电机、变压器、风扇、电表等运行是否正常,发现异常,及时报告处理。第 页 共 页
