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1、xxxx有限公司电子分厂编 号：DRE/WM0305 版本号：A1页次：1/8页数：8ESD控制管理办法更改日期：2015-05-201 .目的1.1 减少或消除静电放电对电子产品的损伤，提高产品质量和生产效率，满足客户需求。1.2 通过建立统一的、切实可行的标准来规范各生产车间、不同产品，供应商和外协之间的ESD行为。1.3 通过建立有效的、高质量的管理和稽查程序，用于保证本标准的有效实施。2 .范围本规范适用于广东德豪润达电气股份有限公司电子分厂生产制造体系内部静电防护工程的设计、使用、管理、维护和检测。3 .组织结构和职责3.1 ESD组织执行全员参与的原则，总负责人为技术部门经理；3.
2、2 工艺技术室：主要负责 ESD管理制度的制定、ESD防护的规划、审批和发布ESD技术标准与相关操作规范；组织攻关解决 ESD疑难和重大问题、重要问题裁决处理，保障产品质量。3.3 品质部：主要负责部门ESD执行情况的检查，定期开展 ESD的稽核工作。3.4 管理部：负责公司所有员工的培训管理工作。3.5 各部门：各部门的负责人为 ESD本区域第一责任人，协助对本系统的ESD规范实施、ESD培训、宣传、稽查工作，对本区域内ESD防护措施的落实负责。3.6 架构图：4、名词解释ESD:静电释放EPA:静电敏感区域；ESSD :静电敏感元件;xxxx有限公司电子分厂编 号：DRE/WM0305 版
3、本号：A1页次：2/8页数：8ESD控制管理办法更改日期：2015-05-2055.1 我司的防静电工作区：分为一级 EPA、二级EPA以及非防静电区域：一级EPA区域：SMT,烧录房,敏感元件仓；二级EPA区域：成型组、老化房、AI、MI生产线内的返修区及、修工位等所有区域。库房和在线库。实验室、样板房。IQC、FQC。非防静电区域：办公室、电工房等不接触静电敏感器件及产品的区域；5.2 公司的静电敏感器件：MOS器件、可控硅及集成电路（ IC）、稳压块、光耦、各种半导体开关元件、石英、晶振体等器件、以上元器 件组装的 PCBA板（具体的防静电等级见附表）。5.3 不同区域的标识：5.3.1
4、 静电敏感区的区域界限应该用黄黑相间的斜条纹来标识,线条宽度为510CM这两种斜条纹是专门用来标识静电敏感区的区域界限的,不可作为其它标识用。GJB1649的规定。5.3.2 从静电敏感区域的入口处开始,在明显处应贴上静电敏感区的警示标志，该标志应符合 如示例图A,具体的标示，见附件。5.3.3 防静电台面、器材上应有防静电标志,标志应置于明显且不易受到磨损的地方。如示例图B:6、EPA基本的ESD控制措施6.1 基本要求：EPA内的环境、作业、设施均需要按照ESD防护要求设计，ESD设计需能重复保护元件及产品免受 ESD损伤6.2 EPA环境温湿度控制要求：1） 一级 EPA环境要求：温度：
5、2030 C;相对湿度 （RH）: 4075%2）二级 EPA环境要求：温度：1033 C；相对湿度 （RH）: 3075%3）产品物料对环境温湿度有特殊要求时，应根据物料的特性需求和实际条件采取相应的局部环境保证措施。4） EPA内应配备温度计和湿度计，弁按照环境温湿度控制要求，填写记录表。要求每班次上班之前作一次记 录。当相对湿度超出规定的范围时，必须通知相关人员采取适当的加湿或抽湿措施，如往地面喷洒适量水（符合xxxx有限公司电子分厂编 号：DRE/WM0305 版本号：A1页次：3/8页数：8ESD控制管理办法更改日期：2015-05-20安全要求）、使用加湿器或抽湿机等。6.3防静电
6、接地系统：6.3.1 接地是静电泻放的关键措施，EPA内必须有独立可靠的防静电接地系统，工作中产生的的静电才能安全有效地泻放， 避免静电的累积。防静电接地必须有一个安全可靠的防静电接地母线（防静电地线），所有人体、 工作台、台垫、工具等以弁联的方式接入防静电接地母线。6.3.2 防静电地线的设置：防静电地线专供静电工程器具和人体泄漏静电电荷使用，它不得接在电源零线上，也不得与防雷地线共用。防静电地线有两种敷设方法：方法1:优选方式。 在远离防雷地线和建筑物20m以上的潮湿地面上，埋设间距5m以上、深约2M的三根铁管2或角铁，再用3mm厚、约25mm宽的铜排将三点焊接在一起，用 3mm厚、约25
7、mm宽的铜排或用截面不小于6mm的铜芯软线单独引入室内做为母线。然后根据需要建立公共接地点，防静电区域内的台面、设备、仪器、工具及相关人员的防静电接地从公共接地点引入（如图1）迨装1防静电专用地线f5防静电接地极备用（可选）公共接地点防静电岗位. 工作台面防静电工作区图1 采用ESD防静电接地示意图1）防静电区域可以设置单点或多点的公共接地点，公共接地点之间为弁联结构，公共接地点到末端接地点采2用黄绿色，导线直径不得低于2.5mm ;2）落地的专用设备、测试仪器在使用电气保护接地后没有必要进行防静电接地，电气保护地与设备、仪器外壳必须进行可靠连接。3）严禁使用防静电接地线作为设备保护接地线。方
8、法2:备选方案（电气保护地）。采用三相五线制供电系统中的电气保护地线为防静电地线，引入电源零线的同时，单独引出大地地线作防静电接地线，工程上称为“一点引出电阻隔离o电源主变电箱引出的电气保护地线通过接地地桩与大地连接，电气保护地线到大地的保护接地电阻应小于4Q。在防静电地不具备的、或特殊场合公共接地点的接地方式可以采用设备保护地，参考图2。1）采用电气保护地与公共接地点连接时，公共接地点与电气保护地（控制箱中）之间的阻抗小于1.0 Q；2）人体腕带、台垫、防静电器具等串连1MQ的电阻接入公共接地点（软接地），设备、仪器、AC工具等直接接入电气保护地线（硬接地）。3）电气保护地线应该按照动力配电
9、安全管理制度定期进行检测维护，每半年至少检测一次地线配置系统电阻值，要求电气保护地线到大地的接地电阻小于4。oNPE6523413113 5xxxx有限公司电子分厂ESD控制管理办法更改日期：2015-05-20编 号：DRE/WM0305 版本号：A1页 次：4/8 页数：8L防静电岗位工作台面备用（可选）NPE电源接地极公共将地点防静电工作区图2 采用ESD防静电接地示意图6.3.3 EPA 内硬件设施的接地要求:1） EPA内所有仪器、 AC工具、金属体及等必须连接到公共接地点上，人体腕带、防静电台垫、防静电地垫、接地线连接点应该采用螺钉、焊接、双线交绕的紧固连接方式，保证连接点连接可靠
10、、接触电阻小图3典型的EPA接地系统图导体和静电耗散的材料防静电器具等需要串接1M Q电阻（或等效串接 1MQ的电阻）后连接到公共接地配置系统上交流配电箱L电器装置外露导体PE14621112B1010公共接地点专用防静电线131310接地线或等效串接1M欧姆电阻1工作台2防静电台垫3台垫接地扣4腕带插孔5防静电器具LN67811防静电地板12落地设备/仪器13防静电地（建筑厂房外）14电气保护接地（建筑厂房外）A、B、C、D、E为串接设备/仪器/工具防静电地垫地垫接地扣9防静电工作椅B窜A A、J公共接地点工1010E Exxxx有限公司电子分厂编 号：DRE/WM0305 版本号：A1页次
11、：5/8页数：8ESD控制管理办法更改日期：2015-05-202）防静电工作台的接地米用公共接地点方式，工作台上及其周边的仪器、测试架、工具（如电批、烙铁）静电器具、台垫、台面、地垫、腕带插口等都连接到公共接地点。工作台的公共接地点应方便连接，工作台的移动时保证接地系统变化最小。防静电工作区应在合适的位置提供接地端子或香蕉插孔，以便于操作者腕带的接地。3）静电耗散型工作表面到公共接地线的接地电阻应该保持在1X 106QW R 1.0 X 109Q （不依赖于相对湿度）。4）防静电工作区第一次安装和移位后，接地电阻应该重新测试，弁保证在规格之内。5）为了防止静电敏感器件与工作区内的设备接地导体
12、外壳或大面积的金属（如工作台边缘）偶然接触，这些位 置必须覆盖静电耗散材料或通过其他方法隔离。6）所有静电敏感器件、单板在加电测试之前都必须保证接地良好，禁止在产品测试过程中带电插拔单板和器件。腕带的接地线应该直接接香蕉插孔，而不应该通过任何其他设施，如工衣，工作表面等接地。7）串联接地是不可接受的一种接地方法。8）由于安全原因，EPA内裸露的大面积金属平面、导体部件都必须直接接地（硬接地）。6.4 设备接地要求所有连接电源主线的设备、仪器、工具等，都必须可靠连接电源系统安全地线。单相电源插头插座必须使用具 有接地芯的三芯插头插座，保证仪器工具、设备的外壳都要可靠接地。6.5 EPA内人员的静
13、电防护要求：6.5.1 防静电手腕的使用：一级 EPA和二级EPA内人员作业时，固定位置工作人员必须佩带有绳防静电手腕；6.5.3 禁止使用无绳防静电手腕，工作需要高频率移动的人员，可以使用防静电手套和指套代替有绳防静电手环；6.5.4 防静电衣、帽、鞋的使用；一级EPA区域内人员，必须穿着防静电衣、帽、鞋方可进入；二级EPA区域内的人员，可不穿防静电衣、鞋，但需佩带防静电帽，穿公司统一配发的厂衣和防尘拖鞋；6.6 防静电材料的使用6.6.1 包装材料的使用：6.6.1.1 静电敏感器件、组件、产品在生产制造、存放和运输中所使用的直接包装层必须是防静电的。直接包装层指和器件直接接触的材料，例如
14、IC包装管、芯片托盘、卷带、防静电泡沫、防静电胶袋、屏蔽袋、吸塑盒等；防静电包装材料可以有效利用供应商的器件来料的防静电包装材料（如IC管、IC托盘等），这些防静电包装材料都可以用于静电敏感器件、组件的直接包装或间接包装。6.6.1.2 防静电包装材料的防静电性能要求EPA内所使用的直接包装材料应该是静电耗散材料，要求其防静电性能指标满足：表面电阻 Rs： 1.0 X 105 Q Rs 1.0 X 109 Q ； 59摩擦静电压 Vf : Vf 100V 或在2秒内下降到100V以下；屏蔽袋的屏蔽泄漏电压：小于30V o6.6.1.3 防静电包装材料必须符合以下一般要求：1） 包装及周转用的防静电箱统一使用黑色防静电材料。2） 防静电PE薄膜袋、泡罩袋、EPE板、海绵、泡罩带的材料颜色应采用防静电的通用警示颜色，即粉红色或黑色。6.6.2 周转材料的使用：6.6.2.1 用于EPA内、EPA和EPA之间周转运输的工具必须是防静电的。具防静电性能应满足：59体积电阻 Rv： 1.0 x 105 Q Rv v 1.0 X 109 Q ;xxxx有限公司电子分厂编 号：DRE/WM0305 版本号：A1页次：6/8页 数：8ESD控制管理办法更改日期：201
