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1、气体的洁净度要求安徽人和净化称，气体洁净度（均一性）是用是否含有他种杂质气体表示的，因为这类 杂质气体会改变化学反应过程，根据气体用途的不同，气体的洁净度可从 99.99 至 99.999999%。下面安徽人和净化就为大家详细的介绍一下气体的洁净度有什么严格要求， 希望会帮助你。气体的洁净度有哪些要求：水蒸汽也是气体的污染物，硅与水产坐氧化反应，破坏微电路的结构，为了消除这种现 象，便对工艺气体的水蒸汽极限浓度提出了要求-由3ppm至5ppm （百万分之几）。金属粒子和离子也是危险的污染物，可采用0.2 微米的过滤器，过滤气体消除粒子。金 属离子浓度不得超过lppm甚至更少。气体的配送系统（管
2、道、阀门、计量仪表）均应密闭并不得发散污染物（气体）“一般 采用不锈钢的管道及附件，并加聚合物内衬等，在重要的场合，要对内表面进行电抛光和钝 化处理，以免金属散发气体，对管道的焊接也应特别注意。空气温度在净化车间中生产微电路应保持20 aC 的室温，光刻工序的要求最为严格，它 要求温度稳定在土 ioc，因为此项工序对微气候参数的变化最为敏感。化学处理过程也要求保持精确的温度，因为温度影响着化学反应的速度。必须为工作人员提供舒适的工作条件（第6 章），工作人员穿着全套工作服在高级别洁 净度的净化车间内工作，实际上把身体完全包裹起来，形成强隔热层（连衫裤、兜帽、鞋套、 手套、面罩）。失去舒适条件就会汗流浃背，污染环境，结果就是不舒适致使工作人员不能 集中注意力。文章有安徽人和净化提供
