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1、光力科技股份有限公司光力科技股份有限公司年产年产 100 万片半导体划片刀项目万片半导体划片刀项目环境影响报告书(送审稿送审稿)建设单位：光力科技股份有限公司建设单位：光力科技股份有限公司编制单位：河南汇能阜力科技有限公司编制单位：河南汇能阜力科技有限公司编制日期：编制日期：2022 年年 6 月月光力科技股份有限公司年产 100 万片半导体划片刀项目环境影响报告书（送审稿）I目录目录.I概述.1一、项目由来.1二、评价对象.2三、建设项目及环境特点.3四、评价专题设置及工作程序.5五、关注的主要环境问题.7六、环境影响报告书结论.8第 1 章总论.91.1 编制依据.91.2 评价指导思想及
2、总体思路.131.3 评价因子识别与筛选.141.4 评价标准.151.5 评价等级.201.6 评价范围及环境保护目标.251.7 环境功能区划.321.8 相关规划相符性分析.321.9 相关政策相符性分析.44第 2 章工程分析.682.1 原有项目回顾分析.692.2 本项目工程分析.782.3 非正常工况分析.1462.4 工程污染物排放情况汇总.1462.5 清洁生产分析.148光力科技股份有限公司年产 100 万片半导体划片刀项目环境影响报告书（送审稿）II第 3 章环境现状调查与评价.1573.1 自然环境概况.1573.2 环境空气质量现状监测与评价.1623.3 地表水质量
3、现状监测与评价.1673.4 地下水质量现状监测与评价.1693.5 声环境质量现状监测与评价.1753.6 土壤环境质量现状监测与评价.1763.7 环境质量现状小结.1853.8 区域污染源调查.186第 4 章环境影响预测与评价.1904.1 运营期大气环境影响预测与评价.1904.2 运营期地表水环境影响预测与评价.2004.3 运营期地下水环境影响预测与评价.2054.4 运营期声环境影响预测与评价.2194.5 运营期固体废物环境影响预测与评价.2234.6 运营期土壤环境影响预测与评价.224第 5 章环境保护措施及可行性论证.2335.1 施工期污染防治措施分析.2335.2
4、运营期污染防治措施分析.2335.3 项目环保投资估算.2655.4 项目环保措施及“三同时”验收清单.266第 6 章环境风险评价.2686.1 评价依据.2686.2 环境敏感目标概况.2706.3 环境风险识别.270光力科技股份有限公司年产 100 万片半导体划片刀项目环境影响报告书（送审稿）III6.4 环境风险分析.2756.5 风险防范措施.2766.6 风环境风险防范、应急设施及投资估算.2826.7 环境风险评价结论.283第 7 章环境影响经济损益分析.2847.1 项目的社会效益分析.2847.2 项目的经济效益分析.2847.3 项目的环境效益分析.285第 8 章环境
5、管理与监测计划.2878.1 环境管理.2878.2 污染物排放清单.2938.3 环境监测计划.296第 9 章厂址可行性及总量控制分析.2989.1 厂址可行性分析.2989.2 总量控制分析.299第 10 章评价结论与建议.30110.1 环评结论.30110.2 评价总结论.30810.3 评价建议.308光力科技股份有限公司年产 100 万片半导体划片刀项目环境影响报告书（送审稿）IV附图：附图 1 项目厂址周边环境实景照片附图 2 项目地理位置图附图 3 项目与郑州高新技术产业集聚区用地规划位置关系图附图 4 项目与郑州高新技术产业集聚区产业布局规划位置关系图附图 5 项目与郑州
6、高新技术产业集聚区排水管网规划位置关系图附图 6-1 项目厂址周边环境四邻示意图附图 6-2 项目厂址周边环境敏感点分布示意图附图 7 项目与区域收水范围位置关系图附图 8 项目厂区平面布置图附图 9 项目厂区分区防渗图附图 10 项目环境质量监测点位示意图附件：附件 1 委托书附件 2 备案证明附件 3 营业执照及法人身份证附件 4 用地相关证明附件 5 原有工程环保手续附件 6 集聚区规划环评跟踪评价审核意见附件 7 执行标准附件 8 监测报告附表：附表 1 建设项目环评审批基础信息表附表 2 大气环境影响评价自查表附表 3 地表水环境影响评价自查表附表 4 土壤环境影响评价自查表附表 5
7、 声环境影响评价自查表光力科技股份有限公司年产 100 万片半导体划片刀项目环境影响报告书（送审稿）1概述一、项目由来半导体芯片是电子产品的核心器件。芯片产业是电子信息产业的核心与基石，是关乎国民经济和国家安全的基础性、战略性和先导性产业。我国芯片制造技术长期受国外技术封锁，国家信息安全受到严重威胁，已成为制约我国电子信息产业发展的“芯病”。芯片制造包括晶圆制图-减薄-抛光-晶圆划片-封装-封装体切割等精密制程，其中，划切（划片、切割）位于芯片总体制程中后段，是实现分立器件、集成电路晶圆、半导体芯片单体化的关键工序。当前，我国半导体芯片高效精密划切用划片刀及装备绝大多数仍依赖进口，是我国半导体
8、封装产业链上缺失的一环，成为“中国芯”制造的“卡脖子”问题之一。以色列ADT公司是从美国库力索法公司分离出来的全球第三大半导体划片机装备制造商，已有 40 多年的划片机研发、制造历史，其产品遍布全球各大半导体封测企业，尤其在美国市场占有优势。光力科技股份有限公司（以下简称光力科技）于2019 年联合河南省投资集团、兴港投资集团及中科院微电子所旗下两只基金并购了以色列 ADT 公司，经过两年的整合后，光力科技现已控股以色列 ADT 公司 94.9%的股份。光力科技现在正致力于将 ADT 的划片机设备在郑州转产，本项目致力于在我国建设划片刀生产基地，将 ADT 的划片刀生产线转移到国内，实现系列划
9、片刀的国产化，充分满足我国集成电路、分立器件、LED 等晶圆及封装产业对划片刀的迫切需求。光力科技股份有限公司组建于 1994 年，前身为郑州光利科技股份有限公司，厂址位于郑州市高新技术开发区长椿路 10 号（长椿路与梧桐街交汇处北 200m 路西，具体见附图 1、2），先后于 2007 年、2012 年及 2015 年投资建设年产 3000 套 CJZ70瓦斯抽放综合参数测定仪项目（2007 年，已验收投产）；瓦斯与粉尘监控设备与系统改扩建项目（2012 年，未实施）；年产 8000 支分布式激光气体传感器研发光力科技股份有限公司年产 100 万片半导体划片刀项目环境影响报告书（送审稿）2与
10、产业化项目（2015 年，已验收投产）；年产 80 套基于物联网火灾预测预报监控系统项目（2015 年，已验收投产）。2022 年 3 月，光力科技股份有限公司拟投资 6000 万元，在郑州高新技术产业集聚区长椿路 10 号光力科技现有厂区内，对现有项目生产线进行整体搬迁改建，利用其现有厂区及厂房建设年产 100 万片半导体划片刀项目，不涉及新增用地，其中硬刀 50 万片，采用电铸工艺；软刀 50 万片，采用热压工艺，其中电铸是利用金属离子阴极电沉积原理，在导电原模（芯模）上沉积金属、合金或复合材料，并将其与原模分离以制取制品的过程。电铸与电镀工艺原理相同，区别在于电镀时要求得到与基体结合牢固
11、的金属镀层，以达到防护、装饰等目的，而电铸层要和芯模分离，其厚度也远大于电镀层。根据中华人民共和国环境影响评价法、建设项目环境保护管理条例、河南省建设项目环境保护条例等法律、法规的规定及要求，该项目须进行环境影响评价。根据建设项目环境影响评价分类管理名录（2021 年版），本项目产品属于“第三十项、金属制品业中 33”类别中“金属工具制造 332 中有电镀工艺的”，应编制环境影响报告书。受光力科技股份有限公司委托，河南汇能阜力科技有限公司承担了本项目的环境影响评价工作（委托书见附件 1）。接受委托后，我公司立即组成项目环评小组，对项目区进行现场踏勘、调查、收集资料等工作，结合现场踏勘的实际情况
12、，在对项目有关资料研读的基础上，遵循相关法律、法规、环评技术导则和规范，本着“客观、公正、科学、规范”的精神，编制完成了光力科技股份有限公司年产 100 万片半导体划片刀项目环境影响报告书，现提请审查。二、评价对象本次评价工作的评价对象为“光力科技股份有限公司年产 100 万片半导体划片刀项目”，其中现有工程生产线全部搬迁，其搬迁生产线项目环评由建设单位另行委托评价。光力科技股份有限公司年产 100 万片半导体划片刀项目环境影响报告书（送审稿）3三、建设项目及环境特点（1）项目特点项目产品为半导体划片刀，属于金属制品。经查阅国家产业结构调整指导目录（2019 本），本项目产品为鼓励类第十四条第
13、 1 款“高档数控机床及配套数控系统：五轴及以上联动数控机床，数控系统，高精密、高性能的切削刀具高精密、高性能的切削刀具、量具量仪和磨料”，符合国家产业政策的要求，已经郑州高新技术产业开发区管委会创新发展局备案，备案号：2203-410172-04-02-409897，备案确认书见附件 2。本项目属于“第三十项、金属制品业中 33”类别中“金属工具制造 332 中有电镀工艺的”，根据河南省生态环境厅关于加强“两高”项目生态环境源头防控的实施意见（豫环文2021100 号）中相关内容，本项目不属钢铁、铁合金、氧化铝、电解铝、铝用碳素、铜铅锌硅冶炼（含原生和再生冶炼）、水泥、石灰、建筑陶瓷、砖瓦（
14、有烧结工序的）、耐火材料（有烧结工序的）、刚玉、平板玻璃、煤电、炼化、焦化、甲醇、氮肥、醋酸、氯碱、电石、沥青防水材料等 22 个行业投资项目中年综合能耗 1 万吨标准煤以上项目，本项目不属于“两高”项目。根据河南省生态环境厅郑州高新技术产业集聚区发展规划（2010-2020）环境影响跟踪评价报告书的审核意见（豫环函【2019】243 号）相关内容，园区“禁止煤炭、燃煤火电、黑色金属、有色金属、非金属矿采选及制品制造、化工石化、医药、轻工、纺织化纤、铅蓄电池等三类工业项目入驻三类工业项目入驻；禁止煤化工、化学合成药及生物发酵制药、制浆造纸、制革及毛坯鞣制、印染等行业单纯新建和单纯扩大产能的项目
15、；禁止新建独立电镀项目禁止新建独立电镀项目，禁止设立电镀专业园区和化工园区”，具体见附件 6。本项目产品硬刀 50 万片，采用电铸工艺；软刀 50 万片，采用热压工艺，其中电铸是利用金属离子阴极电沉积原理，在导电原模（芯模）上沉积金属、合金或复合材料，并将其与原模分离以制取制品的过程，电铸与电镀工艺原理相同。本项目属于“第三十项、金属制品业中 33”类别中“金属工具制造 332 中有电镀工艺的”，光力科技股份有限公司年产 100 万片半导体划片刀项目环境影响报告书（送审稿）4不属于独立电镀项目和三类行业项目，不属于集聚区禁止入住项目类别。根据郑州高新技术产业集聚区发展规划（2010-2020）
16、环境影响跟踪评价报告书负面清单相关内容：重点发展电子信息产业、新能源与节能环保产业、超硬材料和文化创意产业等主导产业及与主要产业紧密相关的配套产业，对于和主导产业关联不大的其他产业（除基础设施、民生工程和重大产业布局项目外），原则上限制入驻。严格禁止三类工业入区。三类行业包括“煤炭、电力、黑色金属、有色金属、非金属矿采选及制品制造、化工化石、医药、轻工、纺织化纤、铅蓄电池等重污染行业”。禁止新建独立电镀项目，禁止设立电镀专业园区。本项目不属于独立电镀项目，不属于三类行业项目，产品主要用于电子信息产业中半导体生产加工，应属于与主导产业相关联项目，符合集聚区准入要求。项目位于郑州市高新技术开发区，根据郑州市“三线一单”生态环境准入清单（试行）中 ZH41010220002 管控单元要求，该区域属于重点管控单元，不属于“禁止引入煤炭、电力、黑色金属、有色金属、非金属矿采选及制品制造、化工化石、医药、轻工、纺织化纤、铅蓄电池等高污染、高耗能、高排放企业”项目类别。根据 2022 年 3 月踏勘情况，项目拟建厂区内现有 4 个项目（年产 3000 套CJZ70 瓦斯抽放综合参数测定仪项目【200
