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1、测试压力控制系统与方法专利名称：测试压力控制系统与方法技术领域：本发明涉及一种测试压力控制系统与方法，特别是涉及一种可以在真空(或负压)与正压之间切换的测试压力控制系统与方法。背景技术：随着集成电路元件(IC)与微机电元件(MEMS)发展的日新月异，越来越多具有不同功能与种类的IC与MEMS被设计与发展出来，而所需要的测试环境与条件也越来越多样与繁复。特别是针对不同的种类的IC或MEMS所需要的测试压力也不同，有的需要在真空下进行测试，有的需要在高压下进行测试，但是一般的测试机台往往只能提供一特定的压力进行测试，例如真空、或是一特定的正压，但是并无法对真空度或正压进行分段的控制，也无法进行真空
2、与正压的切换，所以也就不能提供同一测试机台不同的测试压力(真空与正压)对待测元件进行测试，而使得传统的测试机台无法兼具真空下测试与正压下进行测试的功能。有鉴于此，目前已经发展出来可以分段控制不同的真空度或正压的测试机台，而提供不同的真空度或正压对各种IC与MEMS进行测试，但这类的测试机台往往需要价格昂贵以及构造复杂的特殊真空泵或压力控制系统，才能达到分段控制真空度或正压的效果，这些昂贵的设备对于测试成本来说是很大的负担，并且对于现今降低测试成本(costdown)的要求来说是相互违背的。其次，这类的测试机台仍然无法在同一机台上进行真空与正压之间的切换，而无法同时具有提供真空进行测试以及提供正
3、压进行测试的功能，而仅能单独对于真空度进行分段控制，或仅能对于正压进行分段控制。然而，对于很多IC或MEMS来说是需要在真空与正压下进行测试的,特别是一些压力感测器(pressure sensor)或压力感测元件等需要在数种不同的测试压力下进行测试，尤其是同时需要在真空与正压下进行测试，因此，往往需要在不同的测试机台上进行测试，这些昂贵的测试机台与在具有不同测试压力测试机台之间转换所需的时间，不但增加了测试的时间与成本，更降低了测试的产能。因此，亟需要一种可以结构与组装简单、可以在真空(或负压)与正压之间切换而同时具有提供真空进行测试以及正压进行测试的功能、以及低成本的测试压力控制系统来降低测
4、试的成本与时间，并且增加测试的产能。发明内容本发明的一目的为提供一种结构与组装简单、以及低成本的测试压力控制系统，所要解决的技术问题是，可以在真空(或负压)与正压之间切换而同时具有提供给同一测试机台真空测试以及正压测试的功能，并且可以对真空与正压进行分段控制。本发明的一目的为提供一种测试压力控制方法，所要解决的技术问题是，借由一结构与组装简单、以及低成本的测试压力控制系统而可以提供真空(或负压)与正压给同一测试机台对IC或MEMS (压力感测器或压力感测元件)进行测试，并且可以对真空与正压进行分段控制。本发明的目的与所要解决的技术问题是通过以下的技术方案实现:根据本发明的一目的，本发明提供一种
5、测试压力控制系统，包含:一真空控制机构与一测试区连接，用以控制测试区对待测元件进行测时的真空度或负压；以及一正压控制机构与测试区连接，用以控制测试区对待测元件进行测时的正压，其中，测试压力控制系统可以依照待测元件的种类以及所需测试压力(真空度与正压)，在真空控制机构与正压控制机构之间切换，以提供测试区对待测元件测试时所需的真空度(或负压)与压力(或正压)。当在真空(或负压)下进行测试时，真空控制机构会与测试区连通而提供一预设的真空度(或负压)，并且正压控制机构会关闭而不与测试区连通，以避免干扰测试区的真空度。当在正压下进行测试时，正压控制机构会与测试区连通而提供一预设的正压，并且真空控制机构会
6、关闭而不与测试区连通，以避免干扰测试区的压力。由于真空控制机构与正压控制机构皆为价格低廉的比例阀与电磁阀依照一特殊设计的配置而组装而成，所以此测试压力控制系统不但价格低廉、组装容易，且兼具提供真空(或负压)与正压进行测试的功倉泛。较佳的，前述的测试压力控制系统，其中该真空控制机构包含:一抽气泵，用以对该测试区进行抽气而提供该测试区所需的真空度；一真空比例阀与该抽气泵连接，用以控制真空度；以及一真空电磁阀介于该真空比例阀与该测试区之间，而分别与该真空比例阀和该测试区连接，用以控制是否对该测试区进行抽真空。较佳的，前述的测试压力控制系统，其中该真空控制机构更包含一真空过滤器设置于该真空电磁阀与该测
7、试区之间，用以对由该测试区抽出的气体进行过滤。较佳的，前述的测试压力控制系统，其中该正压控制机构包含:一正压供给源，用以提供气体通入该测试区而提供正压；数个正压比例阀并联而与该正压供给源连接，用以控制不同范围的正压；一第一正压电磁阀，介于上述正压比例阀与该测试区之间，而连接该正压比例阀与该测试区，用以控制该测试区是否与该正压比例阀导通；以及一第二正压电磁阀，介于该第一正压电磁阀与该测试区之间，而连接该第一正压电磁阀与该测试区，用以控制该第一正压电磁阀是否与该测试区导通。较佳的，前述的测试压力控制系统，其中该正压控制机构更包含一正压过滤器，设置于该正压供给源与上述正压比例阀之间，而分别与该正压供
8、给源以及上述正压比例阀连接，用以对由该正压供给源提供的气体进行过滤。较佳的，前述的测试压力控制系统，其中该正压控制机构更包含一调节阀设置于该正压过滤器与上述正压比例阀之间，用以调节该正压供给源提供的气体。较佳的，前述的测试压力控制系统，其中每一该正压比例阀与该第一正压电磁阀之间皆设置有一逆止阀，而分别连接该正压比例阀与该第一正压电磁阀，用以防止该测试区的气体灌入上述正压比例阀中。较佳的，前述的测试压力控制系统，其中该测试压力控制系统更包含一压力计设置于该真空控制机构、该正压控制机构、以及该测试区之间，而用以侦测该测试区的压力，该压力计为一可测量正压与负压的正负压压力计或压力感测器。较佳的，前述
9、的测试压力控制系统，其中该测试压力控制系统更包含一控制器，用以控制该真空控制机构进行真空度的控制、该正压控制机构进行正压的控制、以及该真空控制机构与该正压控制机构之间的切换。根据本发明的另一目的，本发明提供一种测试压力控制系统，步骤包含:(1)提供一测试压力系统，其中，测试压力控制系统包含一由一抽气泵、一真空比例阀、以及一真空电磁阀等价格低廉且组装简单的零件所组成的真空控制机构，与一由一正压供给源、至少一正压比例阀、一第一正压电磁阀、以及一第二正压电磁阀等价格低廉且组装简单的零件组成的正压控制机构；(2)真空控制步骤，借由抽气泵对一测试区抽气而控制测试区达到预定的真空度；(3)正压控制步骤，借
10、由正压供给源对测试区打气而控制测试区达到预定的正压；以及(4)泄压步骤，借由打开第二正压电磁阀，而使得测试区与外部大气连通，而让测试区与外部大气压力达成平衡。其中，测试压力控制系统在由步骤(2)真空控制步骤对测试区提供预设的真空或负压进行测试，转换成进行步骤(3)正压控制步骤对测试区提供预设的正压进行测试之前，需要先进行步骤(4)泄压步骤以避免由真空(或负压)转换成正压时，过度急速地打气或充气而对测试区中的待测元件造成伤害。同样的，测试压力控制系统在由步骤(3)正压控制步骤对测试区提供预设的正压进行测试，转换成进行步骤(2)真空控制步骤对测试区提供预设的真空或负压进行测试之前，需要先进行步骤(
11、4)泄压步骤以避免由正压转换成真空(或负压)时，过度急速地抽气而对测试区中的待测元件造成伤害。借由价格低廉的比例阀与电磁阀配置成的真空控制机构与正压控制机构构成一测试压力控制系统，可以让同一个测试机台(或测试区)可以在真空(负压)与正压之间自由转换，而使其兼具真空(负压)下进行测试与正压下进行测试的测试压力控制方法。较佳的，前述的控制测试压力的方法，其中该步骤(2)包含:调整该真空比例阀进行一预设真空度或负压的控制；关闭该第一正压电磁阀与该第二正压电磁阀，避免该正压控制机构、外部大气与该测试区连通；以及打开该真空电磁阀，使得该测试区与该抽气泵连通，而对该测试区进行抽气而达到预设的真空度或负压。
12、较佳的，前述的控制测试压力的方法，其中该步骤(2)更包含一发出一信号通知该真空比例阀进行一预设真空度或负压的控制的步骤。较佳的，前述的控制测试压力的方法，其中该步骤(2)更包含一检查该第一正压电磁阀及该第二正压电磁阀是否已经关闭的步骤。较佳的，前述的控制测试压力的方法，其中该步骤(3)包含:选择一正压比例阀并调整该正压比例阀进行一预设正压的控制；关闭该真空电磁阀，避免该真空控制机构与该测试区连通；打开该第一正压电磁阀，使得该第一正压电磁阀与外部大气断开；以及打开该第二正压电磁阀，使得该测试区与该正压供给源连通，而对该测试进行打气而达到预设的正压。较佳的，前述的控制测试压力的方法，其中该步骤(3
13、)更包含一发出一信号通知被选择的正压比例阀进行一预设正压的控制的步骤。较佳的，前述的控制测试压力的方法，其中该步骤(3)更包含一检查该真空电磁阀是否已经关闭的步骤。较佳的，前述的控制测试压力的方法，其中该步骤(4)包含:检查该第一正压电磁阀是否关闭，若否，则关闭该第一正压电磁阀；以及检查该第二正压电磁阀是否打开，若否，则打开该第一正压电磁阀，使得该测试区经由该第一正压电磁阀和该第二正压电磁阀而与外部大气连通，而让该测试区与外部大气达成平衡。本发明的有益效果包括:本发明提供的一种测试压力控制系统与方法，其借由一价格低廉且配置简单的比例阀与电磁阀的配置组合，提供测试机台可以在真空(负压)与正压之间
14、自由转换，并且兼具提供与控制真空(负压)进行测试以及提供与控制正压进行测试的功能，进而降低测试成本与时间，并且增加测试产率。图1为本发明的一实施例的测试压力控制系统的简单示意图。图2为本发明的一实施例的测试压力控制系统的详细配置的示意图。图3为本发明的一实施例的测试压力控制系统作动以及本发明的一实施例的测试压力控制系统方法的流程图。图4为本发明的真空(或负压)控制步骤的流程图。图5为本发明的正压控制步骤的流程图。图6为本发明的泄压步骤的流程图。主要元件符号说明100测试压力控制系统200真空控制机构202抽气泵204真空比例阀206真空电磁阀208真空过滤器300压控制机构302正压供给源30
15、4正压过滤器306调节阀308、308a、308b、308c 正压比例阀310、310a、310b、310c 逆止阀312第一正压电磁阀314第二正压电磁阀316压力计400测试区500提供一测试压力控制系统步骤600真空控制步骤602-616真空控制步骤中的各步骤700正压控制步骤702-712正压控制步骤中的各步骤800泄压步骤802-808泄压步骤中的各步骤具体实施例方式为了更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明提出的电容式触摸屏的侦测方法和电容式触摸屏的具体实施方式、步骤、结构、特征及其功效，详细说明如后。另外，当本发明的实施
16、例图示中的各元件或步骤以单一元件或步骤描述说明时，不应以此作为有限定的认知，即如下的说明未特别强调数目上的限制时本发明的精神与应用范围可推及多个元件或结构并存的结构与方法上。再者，在本说明书中，各元件的不同部分并没有完全依照尺寸绘图，某些尺度与其他相关尺度相比或有被夸张或是简化，以提供更清楚的描述以增进对本发明的理解。而本发明所沿用的现有技术，在此仅做重点式的引用，以助本发明的阐述。参照图1，其为本发明的一实施例的测试压力控制系统100的简单示意图。测试压力控制系统100借由一管路与一测试机台或一测试机台上的测试区400连接。测试压力控制系统100包含一真空控制机构200，用以提供与控制测试区400对待测元件进行测时的真空度或负压，以及一正压控制机构300，用以提供与控制测试区400对待测元件进行测时的正压。因此，测试压力控制系统100可以在真空控制机构200与正压控制机构300之间切换，而依照所需的测试真空度(或负压)与压力(正压)，而提供测试区400对待测元件测试时所需的真空度(或负压)与压力(正压)，特别是提供压力感测器或压力感
