《半导体刻蚀设备公司质量管理》由会员分享，可在线阅读，更多相关《半导体刻蚀设备公司质量管理（72页珍藏版）》请在金锄头文库上搜索。
1、半导体刻蚀设备公司质量管理目录一、 产业环境分析3二、 国内产线建设持续加码，积极导入国产设备推动放量4三、 必要性分析6四、 质量检验的分类7五、 质量检验的含义10六、 质量检验的组织15七、 质量检验制度19八、 审核的策划与实施22九、 审核的相关术语30十、 质量认证的相关概念31十一、 产品质量认证34十二、 公司简介42十三、 发展规划分析43十四、 法人治理51SWOT分析65（一）优势分析（S）651、工艺技术优势65公司一直注重技术进步和工艺创新，通过引入国际先进的设备，不断加大自主技术研发和工艺改进力度，形成较强的工艺技术优势。公司根据客户受托产品的品种和特点，制定相应的
2、工艺技术参数，以满足客户需求，已经积累了丰富的工艺技术。经过多年的技术改造和工艺研发，公司已经建立了丰富完整的产品生产线，配备了行业先进的设备，形成了门类齐全、品种丰富的工艺，可为客户提供一体化综合服务。65一、 产业环境分析坚持把创新摆在发展全局的核心位置，把发展基点放在创新上，推动科技、要素、产业、产品、组织、管理、品牌、业态、商业模式全面创新，破除制约创新发展的体制机制障碍，发挥创新对拉动经济增长、推进结构优化、促进动力转换的乘数效应，形成以创新为主要引领和支撑的经济体系和发展模式。（一）实施创新驱动发展战略。发挥科技创新在全面创新中的引领作用，促进经济增长由主要依靠物质资源消耗向主要依
3、靠科技进步、劳动者素质提高、管理创新转变。（二）加强创新能力建设。坚持以企业为主体、平台为支撑、市场为导向、政策为保障，完善产学研用相结合的区域创新体系。（三）拓展发展新空间。以优化空间结构、推进集中发展、增强承载能力为重点，挖掘区域发展潜能，激发区域经济活力。（四）构建产业新体系。紧扣重点领域和关键环节，推进传统产业新型化、新兴产业规模化、支柱产业多元化。（五）推进金融创新。发展银行、保险、期货、证券、基金、信托和租赁等金融业，运用多层次资本市场，提升金融对实体经济的支撑能力。（六）发展互联网经济。把握新一代信息技术创新变革的重大机遇，推动工业化与信息化深度融合，促进信息网络技术全方位应用。
4、（七）构建发展新体制。加快形成有利于经济发展的市场环境、产权制度、投融资体制、分配制度、人才培养引进使用机制。二、 国内产线建设持续加码，积极导入国产设备推动放量中国大陆成为全球最大半导体设备市场，承接半导体制造产能重心转移。根据SEMI统计数据，2020年全球半导体设备市场规模达到712亿美元，增速为24%。在2020年，中国大陆半导体设备市场占全球市场的26.3%，首次超越中国台湾和韩国成为全球最大的半导体设备市场。作为半导体设备中的核心设备，国产刻蚀设备有望随着国内半导体设备市场规模的快速增长而迎来黄金发展期。中芯国际等国内晶圆厂积极扩产，拉动国产半导体设备需求。在半导体需求高涨以及芯片
5、自制政策推动下，中芯国际、华虹集团等国内晶圆代工厂未来数年扩产计划仍相当积极。根据芯思想研究院统计，截至2021年6月我国晶圆制造扩产的Fab厂有16家，规划产能超过90万片，产能将在2021-2023年逐步释放。随着多家晶圆厂研发产线在中国大陆的投产，国内晶圆厂建设密集期到来，各个晶圆厂也会加速新一轮半导体设备的采购，将为半导体刻蚀设备的提供更加广阔的舞台。新增产能建设积极导入国产设备，国产刻蚀设备中标量进一步提升。根据国内晶圆厂主要招投标数据显示，海外龙头供应厂商占据最大份额，国内龙头公司北方华创、中微公司、屹唐股份处于加速导入过程。以长江存储设备招中标情况，截至2020年12月，长江存储
6、共累计招标348台刻蚀设备，其中美国厂商LamResearch占据超过一半的采购量，达187台；而国内厂商中微公司、北方华创、屹唐股份分别中标50台、18台、13台，国产化率高达23.85%。以华虹六厂设备招中标情况为例，截至2020年12月，华虹六厂共累计招标81台刻蚀设备，其中LamResearch依旧占据超过一半的采购量，达45台；国内厂商中微半导体、北方华创分别中标15台、1台，国产化率约为19.75%。根据亚化咨询研究数据显示，2018、2019年长江存储采购的国产刻蚀机占比迅速提升，预计2023年将突破40%，刻蚀设备国产替代未来可期。国家政策陆续出台，驱动国产刻蚀设备行业持续发力
7、。近年来国家加大对于半导体产业政策的扶持力度，多项重磅文件相继出台，主要表现在对于整个IC产业链企业的政策优待以及对于半导体设备行业的相关规划与推动。其中国家集成电路产业发展推进纲要和科技部重点支持集成电路重点专项等一系列政策推动了一批国内半导体设备公司进行了一系列重点工艺和技术的攻关，使得我国半导体设备行业涌现出了一批拥有国际竞争力的龙头企业，有效促进了我国半导体设备行业的发展。三、 必要性分析1、现有产能已无法满足公司业务发展需求作为行业的领先企业，公司已建立良好的品牌形象和较高的市场知名度，产品销售形势良好，产销率超过 100%。预计未来几年公司的销售规模仍将保持快速增长。随着业务发展，
8、公司现有厂房、设备资源已不能满足不断增长的市场需求。公司通过优化生产流程、强化管理等手段，不断挖掘产能潜力，但仍难以从根本上缓解产能不足问题。通过本次项目的建设，公司将有效克服产能不足对公司发展的制约，为公司把握市场机遇奠定基础。2、公司产品结构升级的需要随着制造业智能化、自动化产业升级，公司产品的性能也需要不断优化升级。公司只有以技术创新和市场开发为驱动，不断研发新产品，提升产品精密化程度，将产品质量水平提升到同类产品的领先水准，提高生产的灵活性和适应性，契合关键零部件国产化的需求，才能在与国外企业的竞争中获得优势，保持公司在领域的国内领先地位。四、 质量检验的分类质量检验可按其不同的检验方
9、式进行分类，也可按基本检验类型划分。综合起来主要有以下几种划分。1、按检验的数量特征划分质量检验按检验的数量特征，可划分为全数检验和抽样检验两种。（1）全数检验。全数检验就是对待检产品进行100%地逐一进行检验。全数检验适用于精度要求较高的产品和零部件；对后续工序影响较大的质量项目；质量不太稳定的工序；以及对不合格交验品进行100%重检及筛选的场合。（2）抽样检验。抽样检验是按照数理统计原理预先设计的抽样方案，从待检总体（一批产品、一个生产过程等）取得一个随机样本，对样本中每一个体逐一进行检验，获得质量特性值的样本统计值，并和相应标准比较，从而对总体质量作出判断（接收或拒受、受控或失控等）。适
10、用于全数检验不必要、不经济和无法实施的场合。2、按检验的质量特性值特征划分质量检验按检验的质量特性值特征，可划分为计数检验和计量检验。（1）计数检验适用于质量特性值为计点值或计件值的产品或过程的检验。（2）计量检验适用于质量特性值为计量值的产品或过程的检验。3、按检验方法的特征划分质量检验按其方法本身的特征，可划分为理化检验和感官检验。（1）理化检验。理化检验是应用物理或化学的方法，依靠量具、仪器及设备装置等对受检物进行检验。（2）感官检验。感官检验就是依靠人的感觉器官对质量特性或特征作出评价判断。如对产品的形状、颜色、气味、伤痕、污损、锈蚀和老化程度等，往往需要人的感觉器官来进行检查和评价。
11、4、按检验后状态划分质量检验按检验后状态，可划分为破坏性检验和非破坏性检验。（1）破坏性检验。破坏性检验是指经检验后，受检物不再具有原来的质量特性和使用功能。如炮弹等军工产品、某些产品的寿命试验、布匹或材料的强度试验，等等，都是属于破坏性检验。破坏性检验只能采用抽检方式。（2）非破坏性检验。非破坏性检验就是检验对象被检查以后仍然完整无缺，不影响其使用性能。随着科学技术的发展，无损检查的研究和应用，使非破坏性检验的范围不断扩大。5、按检验实施的位置划分质量检验按检验实施的位置，可划分为固定检验和流动检验。（1）固定检验。固定检验也叫集中检验，是指在生产单位内设立固定的检验站，各工作地的产品加工以
12、后送到检验站集中检验。（2）流动检验。流动检验就是由检验人员直接去工作地检验。流动检验的应用场合有其局限性，不受固定检验站的限制。6、按检验目的的特征划分质量检验按检验目的的特征，可划分为验收检验和监控检验。（1）验收检验。验收性质的检查目的是为了判断被检验的产品是否合格，从而决定是否接收该件或该批产品。验收检查是广泛存在的方式，如原材料、外购件、外协件的进厂检验，半成品入库前的检验，成品的出厂检验，都是属于验收性检查。（2）监控检验。监控性质的检查直接目的不是为了判定被检验的产品是否合格，从而决定是接收或拒收一批产品。而是为了控制生产过程的状态，也就是要检定生产过程是否处于稳定的状态。所以这
13、种检查也叫做过程检查，其目的是预防大批不合格品的产生。如生产过程中的巡回抽检、使用控制图时的定时抽检，都属于这类检验。其抽查的结果只是作为一个监控和反映生产过程状态的信号，以便决定是继续生产还是要对生产过程采取纠正调节的措施。7、按质量检验的基本类型按质量检验的基本类型可以分成三种类型，即进料检验（IQC）、工序检验（IPQC）和成品检验（OQC）.（1）进货/进料检验。进货与进料检验是对外购物料的质量验证，即对采购的原材料、辅料、外购件及配套件等入库前的接收检验。（2）过程检验。也称为工序检验和阶段检验，工序检验的目的是为了防止连续出现大批不合格品，避免不合格品流入下道工序继续进行加工。（3
14、）成品检验。成品检验是对完工后的产品进行全面的检查与试验。其目的是预防不合格品进入流通领域，对顾客和社会造成危害。实际上，一种检验活动往往具有多种特征，因此，可以同时属于多种检验方式。五、 质量检验的含义1、质量检验定义朱兰认为：“所谓检验，就是这样的业务活动，决定产品是否在下道工序使用时适合要求，或是在出厂检验场合，决定能否向消费者提供。”英国标准（BS）将“检验”定义为：“按使用要求来测量、检查、试验、计量或比较一个项目的一种或多种特性的过程。”国际标准质量管理体系基础和术语（ISO9000：2005）中，将检验定义为“通过观察和判断，适当时结合测量、试验所进行的符合性评价。”（1）检验就
15、是通过观察和判断，适当时结合测量、试验所进行的符合性评价。对产品而言，是指根据产品标准或检验规程对原材料、中间产品、成品进行观察，适当时进行测量或试验，并把所得到的特性值和规定值作比较，判定出各个物品或成批产品合格与不合格的技术性检查活动。（2）质量检验就是对产品的一个或多个质量特性进行观察、测量，试验，并将结果和规定的质量要求进行比较，以确定每项质量特性合格情况的技术性检查活动。质量检验是要对产品的一个或多个质量特性，通过物理的、化学的和其他科学技术手段和方法进行观察、试验、测量，取得证实产品质量的客观证据。因此，需要有适用的检测手段，包括各种计量检测器具、仪器仪表、试验设备，等等，并且对其实施有效控制，保持所需的准确度和精密度。质量检验的结果，要依据产品技术标准和相关的产品图样、过程（工艺）文件或检验规程的规定进行对比，确定每项质量特性是否合格，从而对单件产品、成批产品质量或过程质量状态进行判定。2、质量检验过程从质量检验的定义可以看出，质量检验的整个过程如下。（1）检验的准备。熟悉规定要求，选择检验方法，制定检验规范。首先要熟悉检验标准和技术文件规定的质量特性和具体内容，确定测量的项目和量值。为此，有时需要将质量特性转化为可直接测量的物理量；有时则要采取间接测量方法，经换算后才能得到检验需要的量值。有时则需要有标准实物样品（样板）作为比较测量的依据。要确定检验方法，选择精
