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1、第七章 静电放电损伤及防护7.1 静电的产生 静电-指物体所带电荷处于静止或缓慢变化的相对稳定状态。由同性电荷的积累而产生的，其特点是高电位及小电量。 产生静电的两种方式： 磨擦生电：两绝缘体直接接触后形成 感应生电：无直接接触的带电体和导体之间形成 影响因素：环境湿度和空气中的离子浓度有关 静电的产生：7.1.1 磨擦生电 两不同电子化学势或费米能级的材料(绝缘体绝缘体)接触时，电子将从化学势高处向低处转移，两者分离时，一部分电子来不及返回出处，使化学势低材料带负电，化学势高者带正电 所带电荷数与分离速度有关7.1.2 感应生电 导体靠近带电体时，近端产生异种电茶，远端产生同种电荷，出现局部
2、带电区域磨擦生电顺序7.2 静电源静电源7.2.1 人体静电与人体电容、湿度、电阻有关7.2.2 尘埃静电 对IC制造工艺的影响：光刻、外延、氧化7.3 静电放电模型1.当器件通过带电人体或物体对地放电时，引起器件失效，可用HBM(Human Body Model)来描述放电： HBM模型：2. 带电器件放电模型(CDM) 带电器件通过引脚对地放电引起失效时，可用此模型(引脚间电势差也损伤)8.4 半导体器件对静电放电的敏感度(2005B版-GJB548)由器件结构、输入端静电保护电路的形式、版图设计和制造工艺所决定。ESDS分级静电敏感元器件的标志符号 外壳或包装上：1级： 2级： 3级：无
3、 仓储柜等： (a) 标志1 7.5 静电放电损伤的特点、失效模式和机理7.5.1 特点 隐蔽性 复杂性 潜在性 随机性7.5.2 失效模式和机理 两类： 突发性完全失效： 电压相关：介质击穿，PN结反向漏电流增大，铝条损伤等 电流(功率)相关：铝条熔断，多晶电阻熔断，硅片局部区域熔化 潜在性缓慢失效：参数退化不明显 ESD7.6 静电防护 设计、制造、测试、试验、传递、包装、运输和使用各个环节中采取措施7.6.1 设计与生产中 设计：加保护网络或保护器件 生产：防静电车间、防静电包装承制方：制订、执行、提供ESD控制大纲 也应用于转承制方及其他有关机构 ESD控制大纲要求要素防静电器材基本配置 7.7 静电损伤失效例子(孔学东等)例1：频谱分析电路的静电损伤(参数异常)损伤裂纹与过电烧毁
