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电镀与蚀刻工序培训教材ppt课件

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电镀与蚀刻工序培训教材ppt课件_第1页
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2024/9/171非工程技术人员培训教材图形电镀与蚀刻工序培训教材 ※ 制程目的制程目的※加厚线路及孔内铜厚,使产品到达客加厚线路及孔内铜厚,使产品到达客户要求 2024/9/172非工程技术人员培训教材※工艺流程工艺流程※上板上板→除油除油→水洗水洗→微蚀微蚀→水洗水洗→酸酸浸浸→镀镀Cu→水洗水洗→酸浸酸浸→镀镀Sn→水洗水洗→下板下板→炸棍炸棍→水洗水洗→上板上板图形电镀工艺制程图形电镀工艺制程 2024/9/173非工程技术人员培训教材流程流程主要药水成份主要药水成份工艺参数工艺参数作用作用除油PC清洁剂温度:40±5℃、时间:3~4minSG:1.025~1.035清洗板面微蚀NPS(过硫酸钠)+H2SO4温度:30 ~ 45℃、时间:1~1.5min、浓度:50~70g/l粗化底铜酸浸H2SO4时间:1~1.5 min、浓度:8~10%除去氧化层及平衡药水浓度镀CuCuSO4.5H2O、HCL、光剂、H2SO4电流密度:5~25ASF时间:60~70min(背板:210min ~280min)加厚铜、镀SnSnSO4、 H2SO4光剂电流密度:12~18ASF时间:8~10min维护Cu面〔蚀刻时〕炸棍HNO3时间: 5~8min 、浓度:30~60%夹仔上残铜的清洗主要物料及特性主要物料及特性 2024/9/174非工程技术人员培训教材图形电镀设备图形电镀设备龙门式自动电镀线,采用消费方式为垂直浸镀方式。

2024/9/175非工程技术人员培训教材※ 产能:141.5万尺※ 制程才干:※深镀才干(孔内铜厚度/板面铜厚度〕:≥80%※最大消费板尺寸:24 ″×40 ″※铜厚范围:0.5~2.5 mil※均镀才干:分布系数Cov≤8%图形电镀制程才干图形电镀制程才干 2024/9/176非工程技术人员培训教材图形电镀常见缺陷图形电镀常见缺陷缺陷称号缺陷称号描画描画产生缘由产生缘由铜薄铜薄孔内或外表铜厚没有到达客户要求1.夹仔与飞巴接触不良2.火牛偏向3.阳极铜球缺乏夹菲林夹菲林镀Cu偏厚,密线处菲林被Cu夹住,褪不掉1.火牛偏向2.菲林设计不合理烧板烧板部分电流密度过大,镀Cu结晶不好,粗糙、光亮性差1.夹具上电流分布不均匀2.打气不均匀3.光剂含量偏高或偏低擦花擦花人为或机器缘由,撞伤线路人为操作不当、机器缺点 2024/9/177非工程技术人员培训教材图形电镀主要物料及特性〔用途〕图形电镀主要物料及特性〔用途〕物料称号物料称号规格规格用途用途图示图示铜粒铜粒Φ33mm磷铜球阳极、补充耗费的铜锡条锡条纯Sn条:长度24″或36 ″阳极、补充耗费的锡H2SO4AR级导电剂阳极袋阳极袋耐酸碱丙纶编织袋过滤阳极泥滤芯滤芯5um×10 " 、1um ×10 " 、 5um×20 " 过滤药水 2024/9/178非工程技术人员培训教材物料称号物料称号作用对比作用对比CP光剂光剂适用纵横比较小、电流密度范围8-25ASF,消费普通板EP光剂光剂适用纵横比较大、电流密度范围5-25ASF,消费背板及普通板。

棉芯棉芯过滤固体杂质,用于净化药水碳芯碳芯可过滤固体杂质及有机杂质,用于药水的碳处置图形电镀主要物料对比图形电镀主要物料对比 2024/9/179非工程技术人员培训教材蚀刻工序蚀刻工序※制程目的:制程目的:※蚀掉非线路底铜,获得废品线路图形,蚀掉非线路底铜,获得废品线路图形,使产品到达导通的根本功能使产品到达导通的根本功能 2024/9/1710非工程技术人员培训教材蚀刻工艺流程蚀刻工艺流程※工艺流程:工艺流程:※ 褪膜水洗蚀刻药水洗清水洗褪锡水洗磨板 2024/9/1711非工程技术人员培训教材蚀刻工序主要工艺参数蚀刻工序主要工艺参数工序工序主要药水成份主要药水成份主要工艺参数主要工艺参数作用作用褪膜NaOH浓度:2.5~4.5 kg/l温度:50±3℃速度:2.0~4.0 m/min压力:2.0±0.5 bar除去阻镀干膜,显露底铜蚀刻NH4CLNH3.H2O温度:50±2℃速度:2.0~5.0m/min压力:3.0 ± 0.8 bar (上) 1.5 ± 0.5 bar (下) SG:1.165~1.185蚀掉非线路底铜褪锡HNO3温度:25~40 ℃时间:2.0~4.0m/ min压力:2.0 ± 0.5bar总酸度:3.4~4.4N除去铜面维护Sn层 2024/9/1712非工程技术人员培训教材物料称号物料称号规格规格外观特性外观特性作用作用片碱NaOH含量≥96% 25kg/包片状白色晶体,,强腐蚀性,易溶于水褪膜NH3.H2O含量≥20%20kg/桶无色透明或带微黄色液体,有腐蚀性,气味刺激性蚀刻补充药水蚀板盐〔NH4CL〕25kg/包白色粉状,不易溶于水蚀刻补充药水褪锡水190L/桶黄色液体,有腐蚀性,刺激性气味褪掉Sn面维护层蚀刻工序主要物料及特性蚀刻工序主要物料及特性 2024/9/1713非工程技术人员培训教材程度蚀刻线〔喷淋式〕程度蚀刻线〔喷淋式〕 2024/9/1714非工程技术人员培训教材蚀刻工序制造才干蚀刻工序制造才干※工序制造才干工序制造才干※产能:产能:129.8万平方尺万平方尺※消费才干:消费才干:※最小线宽最小线宽/线隙:线隙:3/1.6 mil〔〔1/4OZ底铜底铜〕〕※最大板厚:最大板厚:270 mil※最大尺寸:最大尺寸:24 ″×40 ″ 2024/9/1715非工程技术人员培训教材蚀刻工序常见缺陷及产生缘由蚀刻工序常见缺陷及产生缘由缺陷称号缺陷称号描画描画产生缘由产生缘由图示图示线幼线宽偏小,不能满足客户要求1.蚀刻速度偏小;2.蚀刻压力过大。

线隙缺乏线隙过小,不能满足客户要求1.蚀刻速度过快;2.蚀刻压力过小;3.喷咀堵塞;4.药水失调 2024/9/1716非工程技术人员培训教材蚀刻工序物料对比蚀刻工序物料对比称号称号作用对比作用对比金华大2402褪锡水褪纯锡〔电镀Sn板,沉Sn板〕363褪锡水褪铅锡〔喷Sn板〕片碱褪1.5mil干膜,速度慢时有熔锡景象,易产生锡薄褪膜水属有机碱类,不易发生锡薄,褪膜速度快 2024/9/1717非工程技术人员培训教材电镀开展趋势电镀开展趋势§程度电镀§脉冲电镀 2024/9/1718非工程技术人员培训教材 2024/9/1719非工程技术人员培训教材铜球铜球 2024/9/1720非工程技术人员培训教材锡条锡条 2024/9/1721非工程技术人员培训教材过滤棉芯过滤棉芯 2024/9/1722非工程技术人员培训教材终了 谢谢观看 。

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