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1、SVC ZDF-5227 智能型电阻电离复合真空计- 1 -一、 ZDF-5227 真空计简介ZDF-5227 智能型电阻电离复合真空计是一种宽量程真空测量仪器。该仪器由定温式电阻真空计和热阴极电离真空计复合而成，前者用于测量低真空，后者用于测量高真空。其使用范围在 1.01051.010 -1Pa1.010 -5Pa。仪器采用国内知名品牌 ZJ-52T 和 ZJ-27 抗氧化铱阴极真空规管作为传感器，稳定性好，不易损坏。仪器采用微处理机完成测量数据的采集和处理。具有自动非线性参数修正和误差补偿功能，并采用了光电隔离、数字滤波、防高电压冲击等技术,提高了测量精度及抗干扰能力， 特别对于电子束、
2、离子束以及弧放电等强干扰源都有非凡的抗干扰能力。每组真空计单元均设置有一组继电器输出接口，用来控制气体压强的定值点或区域。定值点及区域可方便自由设定。本仪器通过触摸开关输入的预置参数掉电后可永久保存，该仪器还具有自动量程切换和自动转换发射电流的功能，取消了发射电流、除气电流的调节，控制面板更人性化，操作更简便，开电源即可工作。本机线路设计合理,制作工艺考究,采用了整板设计,波峰焊接，其软件编排独特，算法先进，使仪器的测量与控制稳定可靠。生产过程从采购、设计、加工、调试、检验到售后服务都被 ISO9001：2000 质量管理体系所覆盖，从而保证仪器具有高品质，达到客户完全满意。二、 主要技术指标
3、和性能1、 测量与控制范围: 1.010 51.010 -5Pa 电阻真空计：1.010 51.010 -1Pa电离真空计：1.010 -11.010 -5Pa2、 测量误差: （P-P 0）/P 0 电阻规50% （2.510 3Pa1.010 0Pa）电离规50% （1.510 0Pa1.310 -5Pa）3、 配用规管: 电阻规 ZJ-52T电离规 ZJ-274、 电离规电参数：阳极对地电压：225V2%阴极中心对地电压：25V3%发射电流：1.010 11.010 -1Pa/0.1mA3%1.010-11.010 -5Pa/1mA3%除气方式：焦耳除气，除气功率12W规管灵敏度：0.1
4、5Pa -115%5、离子流放大器满度示值误差：3%6、采样时间:1sSVC ZDF-5227 智能型电阻电离复合真空计- 2 -7、控制继电器触点容量: 3A / AC220V7.供电:AC50Hz 220V10% / 60W8.使用环境: 温度-540 湿度95%9.面板尺寸: 48088 mm 2机箱尺寸: 435（宽）325（深）88（高）mm 3 10显示方式：5 位数字（字符）显示，其中第三位为标志位，如显示55 E 2 表示真空度为 5.510-2 Pa。三、 仪器工作原理ZDF-5227 智能复合真空计由定温式电阻真空计和热阴极电离真空计所组成，其工作原理如框图所示。报 警 加
5、速极电源 工作电源 定稳电路发射电源 电离规模拟输出电阻规 电压放大器过压保护 离子流放大器 电压放大器 控制输出 工作电源控制输出 微处理机 A/D 变换器 微处理机 A/D 变换器D/A 输出 测量显示 启动指示 启动控制 测量显示ZDF-5227 智能复合真空计原理框图定温式电阻真空计是采用气体的热传导现象来测量气体压强的,电阻规的电阻随所处环境中的气体气压变化而变化，这种变化是非线性的。当电阻规精密供电电源保证电阻规热丝温度恒定时,亦即是恒定热丝的电阻值保持不变，由于气体压强的不同, 气体分子带走的热量损失也不同,气体压强越高,带走的热量越多,取其热丝端电压 VT 或流过热丝的电流 I
6、T 值作为补偿参数。由此可得到 VT 或 IT 与气体压强 P 的函数关系。即 :VT=f(Pa) T=C 或 IT=f(Pa) T=CSVC ZDF-5227 智能型电阻电离复合真空计- 3 -气体压强大小的 VT 是通过测量其电阻规热丝的端电压来反映的，V T值经高精度放大器放大,通过 A / D 变换后送单片机系统进行数据处理, 以指数形式显示相应的测量真空度值;同时，根据需要还能输出各种控制信号、串行的通讯信号及输出与真空度相对应的 05V 模拟量的输出。当被测系统的气体压强低于预置下限定值时,继电器动作,高于预置的上限定值时,继电器复位,输出开关量信号，并设置了其输出状态的指示。热阴
7、极电离真空计是由电离规管、阳极电源、稳流发射系统、测量线路、A/D变换器及单片机系统等组成。电离规管的阴极 F 通过电流而发热，当其温度达到一定值时，产生电子发射，发射电子在向阳极 A 运动过程中与气体分子发生碰撞，使气体电离，电离形成的正离子被收集极 C 吸收，在测量范围内离子电流与被测气体压强成正比关系，即：I+=KIeP式中：I + 为离子电流，K 为规管灵敏度，I e 为发射电流，P 为气体压强。因此，在发射电流和规管灵敏度恒定的条件下，根据离子电流的大小就可以测量出气体压强。反映气体压强高低即真空度高低的离子电流经过测量电路的放大，经过 A/D 变换后送单片计算机系统进行数据处理，输
8、出各种控制信号及串行或并行通讯信号。 电离真空计的启动分为自动和手动两种启动工作方式。当处于自动工作方式时，电阻真空计测量的真空度值达到 2.0100Pa 时，仪器自动启动电离真空计工作，否则，只处于等待状态不工作。当处于手动工作方式时，不管电阻真空计的测量结果，均能启动电离真空计工作，此时两种真空计相互无任何联系而独立工作。四、 使用方法1、 开机准备将电源开关置于“关”的位置，用规管电缆将电阻规和电离规与本机对应连接好，将收集极电缆线夹子夹到电离规管收集极上，用电源线将电源插座和本机电源座连接。继电器开关量信号输出座与被控制的执行设备用电线对应连接好，输出座各有一组常开触点和常闭触点，供用
9、户自行选择使用。其中“J1” 、 “J2”和“电阻规”为电阻真空计的定值输出和电阻规插座， “J3”、 “J4”和“电离规” 、 “收集极”为电离真空计的定值输出和电离规管的插座及电离规管收集极插座。1、开机首先确认面板上的选择开关是处在“自动开电离”位置，然后接通电源，仪器显示“P”约 3 秒（预热）后进入测量状态。仪器采用以 10（用 E 表示）为底的指数，表示单位为 Pa 的气体压力值（真空度）。 “E”前两位为系数，后两位是正负指数。为了保证规管安全，请一定确认被测系统的真空度处于 1.0100Pa 以上时才使SVC ZDF-5227 智能型电阻电离复合真空计- 4 -用本机选择开关“
10、手动开电离” ，否则可能烧坏规管。尽管仪器具有自动保护功能，会自动切断电离规灯丝供电，并发出声光报警（此时应切断电源） ，但此功能只在新规管时有效，因为旧规管的测量指标已经改变，仪器无法实现自动保护功能。2、电阻真空计的零点和满度调校：请一定按照先调零点，后调满度的次序进行。a.调零点当确定真空系统的真空度在 1.010-1Pa 以上时，工作 5 分钟后，使用小改刀轻调面板上的“基准”电位器，使仪器显示“1.0E -1”（1.010 -1Pa） ，零点调校工作即告完成。b.调满度完成了调零点的工作，将被测系统放大气后，让仪器工作 5 分钟，按一下“功能”键，并保持，同时按一下“置数”键，数码显
11、示闪烁同时伴有一声鸣响，显示值由原数值变为“1.0E 5” （1.010 5Pa） ，松开两键，此时满度调校完成。注意：一旦调节好零点和满度，以后就不必再调，只有更换规管时才需要调节。在调完零点将系统放大气后，即使仪器已经显示“1.0E 5”（1.010 5Pa） ，仍然需要执行调满度的步骤。注意：本机在出厂前已经调好零点，不需调试，由于各地气压不同只要调一下满度即可，也可不调节。注意规管号与相应仪器配合使用即可。 （使用玻璃规管需要自行调整零点）4、规管除气规管使用一定时间，灯丝出现吸附层，需要除气。确认被测系统真空度在 1.010-3Pa 以上，按一下面板上的“除气”键，窗口显示除气时间“
12、0.0 F”，仪器开始除气，时间递增至 6 分钟，结束除气进入测量状态。如需要更长时间除气，可再按“除气”键。如除气时间不需 6 分钟，可按“功能”键，仪器即中断除气，自动进入测量状态。5、控制点和控制区域设置真空度用气体的压力值表示，本机使用的压力单位是帕斯卡（Pa） 。真空度越高，压力值越低。区域指真空度的区域，上限指区域真空度高的一端（也就是气压值小的一端） ，下限指区域真空度低的一端（也就是气压值大的一端） 。打开本机电源，在窗口显示“P”的 3 秒内，按一下面板上的“功能”键，进入SVC ZDF-5227 智能型电阻电离复合真空计- 5 -设置状态，窗口显示第 1 路控制的真空度区域
13、上限符号“1 -”，再按一下“功能”键，显示过去设置的真空度上限压力值，其系数的整数位闪烁，按“置数”键，在“09”中间选定要置入的上限压力值系数的整数位，再按“功能”键，使系数的小数位闪烁，再按“置数”键选定小数位，同样方法可设定压力值指数的正负号和数字位。设置完控制区域上限的压力值，再按“功能”键，显示第 1 路控制的区域下限符号：“1 -”，用与设置上限压力值相同的方法，可以设定下限的压力值。设置完成第 1 路控制的真空度区域上、下限压力值后，再按“功能”键，显示第 2 路控制的区域上限符号：“2 -”，与设置第 1 路控制区域上、下限压力值的方法相同，可设定完第 2、3、4 路控制的区
14、域上、下限压力值。如果需要设置控制点，只需将该路控制的区域上下限压力值均设为所需控制点的压力值。注意设置工作完成后，一定要关机永久保存所置入的数据，直到下一次修改。如果不关机，仪器不会从设置状态自动返回测量状态。6、控制继电器的工作方式各路控制继电器的工作方式是，当被测系统的真空度上升至该路控制区域上限时继电器吸合，当被测系统的真空度下降至该路控制区域下限时继电器释放。对应仪器输出的各路继电器控制，在面板上有 J1、 J2、J3、J4 四个指示灯，其工作状态是：当某路继电器动作时，对应的指示灯亮，复位时，指示灯灭。例：使用本机输出的第一路继电器控制，对如图示的真空度范围设置区域控制，当系统真空
15、度上升达到 5Pa 时，第一路控制继电器动作，然后在系统真空度下降到 8Pa时，继电器复位。交替使用“功能”键和“置数”键，在第一路控制的真空度上限符号“1 -”处置入“5.0E0 ”（5Pa） ，在第一路控制的下限符号 1-”处置入“8.0E0” （8Pa） 。关电源重新启动，设置完成。下限符号“1 -”8Pa上限符号“1 -”5Pa真空度区域SVC ZDF-5227 智能型电阻电离复合真空计- 6 -附:复合真空计及附件明细表序号 名 称 规 格 单位 数量1234567真空计电源电缆规管电缆规管规管使用说明书产品合格证ZDF-5227RVV 30.4 L=1.5MRVV 40.4 L=5MZJ-52T 金属封装ZJ-27 玻璃封装ZDF-52
