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1、JYG-700 型箱式真空镀膜机技术协议供方：需方： 双方经协商，一致同意本技术协议为双方之间签订的设备定做合同(合同编号: )的附属协议，为上述设备定做合同的不可缺少之部分。用 处：专门为精密光学薄膜器件镀膜生产而设计，各系统单元和总体结构很好地满足了光学薄膜生产工艺的要求，适用于增透膜、带通膜和截止膜等各种膜系的镀膜。主要结构：真空室、真空系统、工件架系统、烘烤系统、蒸发源系统、充气系统、电子控制系统、膜厚控制系统等组成编号 项目 描述一、 主体1. 形式 箱式，立式前开门，蒸发室和抽气室为整体焊接式，配有门开到位限位装置；主机与电控柜之间安装金属线槽（主要连接电缆、电线、软水管和软气管均
2、放入金属线槽） ，并从主机与电控柜上方通过。水、电、气路有故障自动报警和保护系统；采用声光报警。2. 真空腔体 内腔尺寸为 700 mm（直径） 850 mm（高）；采用 0Cr18Ni9 不锈钢材料,内表面作抛光处理，外表面为直接焊不锈钢半圆水管，通冷却水冷却；箱体内衬不锈钢防污板（侧壁防污板 =1mm，室内下防污平板厚度=2mm）两套（其中一套为备用），多片式结构，安装方式上部为蝴蝶螺钉固定式（防污板与与内腔空隙 1 毫米左右，目的是隔热） ，在实体抽气口与工作室之间采用方便拆卸清洗的叶片挡板和不锈钢网。防污板 （ 2 套）为可拆卸式、便于清洗；真空室内配有照明灯一只。真空室外壁采用三组分
3、段水冷却。在真空室顶部设置起重吊环。放（充）气阀有调节流量功能。3. 真空室门 采用 0Cr18Ni9 不锈钢材料，内表面作抛光处理，外表面为直接焊不锈钢半圆水管，通冷却水冷却；真空室门上装有表面涂漆的外装饰板；真空室门上设观察窗，位置在中下部，并安装有耐高温、防辐射玻璃和可手动旋转的防强光的防护镜，内配不锈钢挡板，门开关采用上下 2 个螺旋转动可调型开关。4. 主机骨架 采用型钢(材料:Q235-A)制造；与主泵间有隔热板。骨架前面有带锁的门；开门对锁，中间没有隔柱，便于维修。 两侧有带百叶窗的可拆卸的固定侧板。5. 水冷却系统 主进、出水分配管采用不锈钢管制成，各主要冷却部位均单独供水冷却
4、。进、出水软管有标识区分；对主泵、晶控仪等加装水流保护，有断水报警，并有水流量显示。6. 控电柜 采用 19 英寸国际标准控电柜，为前后开门大板式结构。控电柜内主要电器外购件均选用通过 CE 认证或 ISO9001 认证的生产厂商的产品。二、 真空系统 正常操作条件下，不允许有返油现象1. 极限真空度 3104 Pa2. 恢复真空时间 在 250加热时大气至 4103 Pa15min3. 保真空 在温度 250及真空室达到极限真空度后，关闭高真空阀一小时后，真空室真空度910 1 Pa4. 真空系统配置 1) 主泵：TK-500 扩散泵(+氟利昂冷阱)2) 前级泵:2X-70 型机械泵。（南光
5、 2x70 泵）,罗茨泵 ZJ-300,维持泵 2X-8。3) 配备防湍流装置(可减少真空室排大气时湍流对工件的影响)；置设在实体下部电子枪上部，防止灰尘上扬；4) 真空系统管道采用 Q235-A 材料，管道软连接处采用金属波纹管；各真空阀门为气动阀门；5. 真空系统测量 1) 配成都正华公司 ZDF-LED 数字复合真空计壹套（两路低真空电阻规，一路高真空电离规）；金属规2) 高真空电离规安装在真空箱体抽气室顶部靠近工作室一侧；3) 电阻规安装在真空箱体抽气室顶部 和机械泵部 。4) 各个测量规管垂直安装，玻璃真空规管均有金属保护罩；6. 真空系统操作 有手动和程序自动两种模式,真空异常或停
6、电各阀门泵等恢复关闭状态，互锁功能要好。7.8.真空密封测试方法公转转动采用磁流体密封，其它地方采用氟橡胶等耐温长寿命橡胶圈按照 GB11164 真空镀膜机通用技术条件执行三、 工件架系统工件架 采用行星工件盘（三圆盘）形式。工件架材料 采用 0Cr18Ni9 不锈钢材料，厚度为 3mm; 开孔尺寸由用户方在合同签订时确定；工件架旋转 转速 330rpm，直流调速，上驱动方式。四、 烘烤系统烘烤方式 碘钨灯下烘烤，无上烘烤烘烤器件 下 烘烤，加热器采用 碘钨灯 配温控仪(FUJI-PXR 系列数字温控仪) ，仪表控制精度为1 ，控温方式为 PID 自动控温及显示；功率 6KW。烘烤功率 6KW
7、温度 最高 250，温度可控可调;烘烤温度均匀性2005（20 min 内） 中心和边缘五、 电阻蒸发源 1)两个水冷式电阻蒸发源，（蒸发氟化物材料和金属材料）（在一侧分布，另一侧放离子源）输出功率6KW/个；电极间距离大于 100 毫米 （ 100毫米钨舟） ，有单独的挡板控制。2)阻蒸电源：采用调功器控制方式，变压器功率 7-10KW/个（ 8V， 626A），蒸发电流可以长时间工作稳定在 350A， 3)左右电阻蒸发源交替工作，在控电柜面板上切换控制。六 其他 配一套动挡板机构，可调节旋转速度和角度及起始位置，挡板为插入式，挡板边缘有折边，挡板下有可拆卸不锈钢网。七、 石英晶体膜厚监控系
8、统配美国 MAXTEK 公司 MDC-360C(或 310C)单探头晶控系统, 可进行电阻蒸发源蒸发速率控制及挡板联动。可实现从镀膜开始到镀膜结束的全自动控制 。八、 离子轰击 直流电压 3KV、功率 1.2KW、棒状阴极（另在相对侧装一绝缘支持杆以支撑环形轰击使用）九、 电气控制系统 采用触摸屏及可编程控制器（PLC）中央控制方式及其相关电气控制单元对设备真空系统、蒸发源系统、烘烤系统、工件转动系统、膜厚监控系统等进行监测和控制。控电柜面板下方安装两个单相 220V、10A 电源插座。十、 设备颜色 色标如用户指定要求：待定十一、 工作环境要求 1)环境温度：1035 ;2)相对湿度：不大于
9、 80%；3)设备周围环境整洁，空气清洁，不应有可引起电器及其他金属表面腐蚀或引起金属间导电的尘埃或气体存在。十二、 设备动力要求 1)水源: 工业软水，水压 0.20.3Mpa ，水量50L/min，进水温度25 ；2)气源：气压 0.6MPa；3)电源：三相五线制 220V/380V，50Hz，电压波动范围：三相342418V，单相 198242V ；频率波动范围：49 51Hz；设备消耗功率：20KW ；接地电阻 4；十三、 设备使用手册 乙方提供产品说明书、电路图、维护、保养、常见故障的判断及维修手册。价格： 工厂交货价 34.8 万（含税）!十四、设备验收标准及验收程序：141 设备
10、试验、验收须按有关国家（或行业）标准和规范及卖方 JYG-700 型箱式真空镀膜机技术协议所提供的技术参数执行，买方参与有关验收试验，卖方应向买方提交试验数据和报告。设备主要零部件、原材料、原始资料和检验计录，供买方验收时审查。142 卖方供应的所有设备合同部件出厂时，应由卖方专试人员签字的产品质量证明书和出厂试验记录作为交货的质量证明文件。143 验收标准：国际通用标准或双方最终确认标准及方法，设备精度依据 ISO 标准或双方最终确认的标准（合同和技术协议） ，在用户工厂进行精度的最后验收。14 验收程序及验收内容：141 预验收在卖方工厂进行，分别进行设备本身及性能的验收，验收合格后经买方
11、签字方可发货。验收主要条款按合同和技术协议执行。142 设备终验收在买方安排的地点进行，按照合同和技术协议分别进行设备本身和各种功能的验收，在验收合格后，经双方代表签字后有效。十五、设备保修及售后服务：1、设备保修期为一年（设备自最终验收签字之日起计算为 12 个月） 。在保修期内免费更换零件及服务。2、保修期外若因乙方原因设备出现故障，所有费用由乙方全权负责。3、供方确保服务及时，在设备出现问题后，供方应在 24 小时内给予答复；如需派员应在 72 小时内到达用户现场。4、供方承诺对设备提供终身售后服务。并承诺对需方原有设备进行服务5、供方承诺对设备将来的升级换代提供服务。其它：1、碘钨灯 4 支。其它未尽事宜，双方友好协商解决。供方： 代表签字： 日期：需方： 代表签字： 日期：(本协议相关内容已经经过乙方技术部_确认。)
