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1、本公司业代理美国 honeywell 霍尼韦尔空气质量流量传感器空气质量流量传感器有一个由加热器与温度敏感元件组成的薄膜，隔热的电桥式结构。该电桥式结构对流过芯片的空气或其他气体流量有灵敏和快速的反应。电源电压：8Vdc 至15Vdc工作温度：-25摄氏度至85 摄氏度(-13F-185F)介质相容性：仅限于干燥气体AWM2000系列微桥型空气质量流量传感器是一个无源器件，由2个惠斯通电桥组成，并具有双向传感的能力，按照技术要求，工作时需要一个加热器控制电路，和一个传感电桥馈电电路。传感器中没有这两个电路，需用户自己设计。差动放大器是传感电桥一个有用的接口。它可用来对传感器输出引入增益和电压补
2、偿。信号调节：非放大型（输出-44,5mVdc 至44,5mVdc)压力孔型式：直通型传感器电阻：5K 欧流量/压力范围 参考型号+_200 sccm AWM2100V+-4.0英寸水柱 (10 mBar) AWM2200V+-1000 sccm(1 SLPM)(每分钟1标准升) AWM2300VAWM3000系列如同2000 系列，是由双惠斯顿电桥控制空气流量的测量，该 AWM3000系列为放大型，所以，它可用来对传感器输出提高增益和引入电压补偿。加热器控制电路和传感电桥馈电电路都集成在传感器中。信号调节：放大型（输出1 Vdc 至5 Vdc）压力孔型式：直通型流量/压力范围 参考型号+_2
3、00 sccm AWM3100V+_2.0英寸水柱(5 mBar) AWM3200V+_0.5英寸水柱 AWM3201CR+_1000 sccm(1 SLPM) AWM3300V+_1000 sccm(1 SLPM)双向 AWM3303VAWM40000系列微桥型空气质量流量传感器根据传热原理工作。空气质量流量横穿过传感器元件的表面。输出电压根据通过传感器进出口的空气质量流量或其他气体质量流量成比例地变化。特殊设计的外壳精确地引导和控制空气流量横穿过微结构传感元件。组件的机械设计使它能容易地安装在印刷电路板上。微桥型空气质量流量传感器内含有先进的微结构技术独特的硅芯片。它含有一个由加热器和温度
4、敏感元件组成的薄膜，隔热的电桥结构。该电桥结构对流过芯片的空气或其它气体的流量有灵敏快速的反应。定位在中央加热元件两侧的双传感元件会批示流向以及流率（量） 。微光微调的厚膜和薄膜电阻器使一台器件与下一台器件之彰有相容的互换性。AWM40000系列集中安装多路测量设计，高的共模压力（陶瓷管型）及宽工作温度范围（125度对于非放大型）扩展了应用范围。压力孔型式：歧管信号调节 流量范围 参考型号非放大型(8.5 mV) +_25 sccm AWM42150VH非放大型(54.7 mV) +_1000 sccm(1 SLPM) AWM42300V放大型(1 Vdc 至5 Vdc) +_1000 scc
5、m(1 SLPM) AWM43300V放大型(1 Vdc 至5 Vdc) +_6 SLPM AWM43600VAWM5000系列-高流量AWM5000系列微电桥型空气质量流量传感器具有一个提供文丘里型流动方式的外壳。这类传感器测量的流量高达每分钟20标准升（SLPM） ，同时只产生一个最大 2.25英寸水柱的微压降。微电桥芯片是与气流直接接触的。从而大大降低了因孔板或旁路通道堵塞而带来（测量）的误差的可能性。坚实的塑性组件设计能承受高达50 psi 的共模压力，而且小型传感元件允许有100 q 的冲击力而不会影响其性能。所包括的“AMP”兼容的连接器在要求高的应用中能提供可靠的连接。每台 AW
6、M5000型传感器都含有放大、线性化、温度补偿和气体校准的电路。一个1至5 Vdc 的线性输出可用于所有列于表内的传感器，与流量范围（5,10,15或20 SLPM)或校准用气（氨气、二氧化碳、氧化亚氨或氩气）无关。所有的校准为激光校准，大大增强了器件的一致性。信号调理：放大型（1 Vdc 至5 Vdc)压力孔形式：螺纹连接，1/4度 NPT输出接头:引脚1+电源电压引脚2接地引脚3未连接引脚4输出电压外壳底部的箭头流向流量/压力范围 参考型号0 SLPM 至5 SLPM（N2校准） AWM5101VN0 SLPM 至10 SLPM（N2校准） AWM5102VN0 SLPM 至20 SLPM（CO2 校准）AWM5104VC0 SLPM 至20 SLPM（N2校准） AWM5104VNAWM700系列-高流量旁路设计AWM700系列微电桥型空气质量流量传感器配有一个专门设计的旁路流通外壳，可提供在线流量测量。该传感器能测量高达每分钟200标准升（SLPM）的流量，在这同时，一般会产生1英寸水柱的压降。AWM700型组件小巧且具有测量高流量范围的性能。信号调理：放大型（1 Vdc 至5 Vdc)压力孔形式：锥形，22mm流量/压力范围 参考型号+200 SLPM(单向） AWM720P1
