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1、单晶炉故障维修-有问必答！开个贴！单晶炉故障，有问必答！希望各位多多支持！问题大家讨论！;大兵 ;大兵 ;大兵 ;大兵Dante 2009-7-18 21:37支持楼主！shenmou467 2009-7-19 14:28对于经运通的路子晶转和过转最多是8比5，转数上不去怎么解决？经帮晃动和页面抖动怎么解决？（汉宏0直线导轨 2009-7-19 18:31quote原帖由 shenmou467 于 2009-7-19 14:28 发表 对于经运通的路子晶转和过转最多是8比5，转数上不去怎么解决？经帮晃动和页面抖动怎么解决？（汉宏85炉子）。谢谢 /quote 第一个问题再说的清楚点。晶棒晃动：
2、这种现象俗称 棒摆 棒摆会发生在整个拉晶的各个阶段：引晶/生长/收尾棒摆的原因有很多，不是单单一个方面引起的。曾经美国*公司花巨资专门研究这个为题。也没有得出明确结论。但主要方面有以下几点。:1.软轴（钢丝绳）2.提拉头，减速机构/旋转机构。3.热场。4.氩气（流量/气流在炉内的流动）5.炉子机构6.热场设计/分布7.真空系统（泵/管道）8.冷却系统（水流/水温）9.硅料（如拉电子级棒，不同型号的棒子。10.重锤（形状/重量/精度液面抖动原因：1.下轴机械部分：有死点/杂物/欠缺润滑/轴弯了。2.下轴传动部分，减速器故障。如蜗轮断齿。3.下轴和炉体之间有杂物。（已发生在漏硅后,没有清理干净）4
3、.检查电机驱动部分。伺服电机不会出现这种现象。直流电机经常发生。btsunny 2009-7-19 19:41学习;握手直线导轨 2009-7-19 20:22谢谢捧场！tzlijf 2009-7-19 21:50华盛天龙的85炉，现在有四只炉拉出的晶棒上有白斑,不知是何原因，attach64525/attachattach64526/attachbtsunny 2009-7-19 22:10是不是刚刚清完炉啊?tzlijf 2009-7-19 22:22不是的，连续有二炉都这样，直线导轨 2009-7-20 11:09size=7检查提拉头。/sizesize=7钢丝绳卷筒或轴承润滑油滴落！
4、/size;大兵 ;大兵 ;大兵 ;大兵SAD 2009-7-20 12:28晶体直径控制不好，头部拉速波动很大！是PID的问题？PID怎么调整？人口吧 2009-7-20 15:50有台汉虹炉子连续炉到了之间的长度时（其中一炉是），直径突然变大，前面等径时温度、拉速和直径控制都很稳定。炉子的各方面参数都和其它炉子一样，检查了提拉头的籽晶绳和连轴器都没问题请问各位，这是什么原因造成的？直线导轨 2009-7-20 18:14quote原帖由 SAD 于 2009-7-20 12:28 发表 晶体直径控制不好，头部拉速波动很大！是PID的问题？PID怎么调整？ /quote 看是什莫炉子了。国产
5、炉：PID调整厂家会给你 参数的。直线导轨 2009-7-20 18:18quote原帖由 人口吧 于 2009-7-20 15:50 发表 有台汉虹炉子连续炉到了之间的长度时（其中一炉是），直径突然变大，前面等径时温度、拉速和直径控制都很稳定。炉子的各方面参数都和其它炉子一样，检查了提拉头的籽晶绳和连轴器都没问题请问各位，这是什么原因造成的？ . /quote size=5检查一下提拉头皮带张紧力如何。负载太大张紧力不够会造成提拉速度减慢，直径变大。/sizesize=5另外，检查电机是否有发热现象。电机抗负载能力故障也会造成。/sizesize=5检查一下再说吧！/sizewangyc82
6、07 2009-7-21 09:33搞不懂，顶！人才SAD 2009-7-21 14:31创联CL90和理工大80的PID是多少？直线导轨 2009-7-21 15:03quote原帖由 SAD 于 2009-7-21 14:31 发表 创联CL90和理工大80的PID是多少？ /quote不好意思这是人家的内部参数。我也不太清楚。如果你们购买的是他们的炉子，你可以向他要呀！或者让他们派技术人员来帮你没解决。我不是生产炉子的。谢谢！恒新自控/创联科技总经理：丁积军电话：你可以联系她！ygshebeigongsi 2009-7-21 15:41我帮你顶一下;强quote原帖由 XUCK 于 20
7、09-7-22 08:35 发表 请教，怎样保证每一台单晶炉的供水压力都相同？ /quote 只要你冷却水系统设计的合理，你很容易根据每台炉子的 压力表调整但台炉子的压力。系统设计好后，因为每台炉子的内部水阻略有不同，所以会造成单台炉子之间以一定的压力不同，这是正常的。你可以根据每台炉子的压力表调整路子的进出水阀门，来调整压力。;大兵 ;大兵 ;大兵 quote原帖由 直线导轨 于 2009-7-20 18:18 发表 检查一下提拉头皮带张紧力如何。负载太大张紧力不够会造成提拉速度减慢，直径变大。另外，检查电机是否有发热现象。电机抗负载能力故障也会造成。检查一下再说吧！ . /quote 但是
8、过了一段后，直径控制好后，拉的很好，我们的棒子现在基本在左右，一般出现直径变大这种情况是在之间，我们的炉子的籽晶低速不是皮带带动的，电机只是温热直线导轨 2009-7-22 11:58quote原帖由 人口吧 于 2009-7-22 10:48 发表 但是过了一段后，直径控制好后，拉的很好，我们的棒子现在基本在左右，一般出现直径变大这种情况是在之间，我们的炉子的籽晶低速不是皮带带动的，电机只是温热 . /quote 没有皮带，检查电磁离合器。另外 还伴有什莫现象？ quote原帖由 shenmou467 于 2009-7-19 14:28 发表 对于经运通的路子晶转和过转最多是8比5，转数上不
9、去怎么解决？经帮晃动和页面抖动怎么解决？（汉宏85炉子）。谢谢 /quote 对于这个问题楼主已经说了很多原因我不再重复，不过最重要的是要找到主要原因。京运通炉子经过机械调整晶转可以到13转（再向上本人也不可能100%做到）需要调整炉子整体水平以及炉体各部分配合，炉体各配合面一定是金属面支撑不能是密封圈支撑，由炉底一级一级向上调整直到提拉头（必须保证提拉头水平抽空后不跑）。下一步调整提拉头本身，钢丝绳阻尼器是否磨损，钢丝绳是否垂直于阻尼孔，调整对中（判定下轴垂直后调整对中）。当然以上这些调整有部分是相当困难的（也是不可能调整到理想状态的）。所以我只能做到晶转13转（也因炉子情况而定本身资质好的
10、炉子经过调整可以稳定上到16转）。埚转，下轴一定要垂直水平面。石墨件问题我就不多说了，石墨件精度好的话埚转到10转没有问题（10转应该足够用了）。还要注意导流筒据页面不可过近（氩气会吹得单晶晃）当然引起晃得原因很多（楼主以说得比较全面了）以后我可以针对性解答。液面抖动楼主忘记说外界震动了，外界震动很多很难排查。对与共振更是难上加难。不过可以根据震动的细微特征来判断出来针对性解决，希望能和大家一起探讨这些问题。piy753 2009-7-22 15:42quote原帖由 tzlijf 于 2009-7-19 21:50 发表 华盛天龙的85炉，现在有四只炉拉出的晶棒上有白斑,不知是何原因， 64
11、525 64526 /quote 最常见的是阻尼器的粉末造成的，经常出现在新路子或更换钢丝绳或阻尼器后。piy753 2009-7-22 15:52quote原帖由 SAD 于 2009-7-20 12:28 发表 晶体直径控制不好，头部拉速波动很大！是PID的问题？PID怎么调整？ /quote 这是典型的工艺技术问题（首先要确定显示的拉速与实际是否相符）头部波动大很正常，因为头部拉速相对要高（6寸单晶在1.5mm/min）反而温补要下降。过早的投入温度自控就造成控制不稳。建议拉速自控温效手控 等径80mm以后再投温度自控。piy753 2009-7-22 16:00quote原帖由 人口吧
12、 于 2009-7-20 15:50 发表 有台汉虹炉子连续炉到了之间的长度时（其中一炉是），直径突然变大，前面等径时温度、拉速和直径控制都很稳定。炉子的各方面参数都和其它炉子一样，检查了提拉头的籽晶绳和连轴器都没问题请问各位，这是什么原因造成的？ . /quote 直径突然变大控制问题占得概率要大，至于前兆肯定是有的只是你没有看到。至于为什么会突然变大我不在现场（细节现象我没有看到）很难能给你明确的答复。我建议让你们的设备工程师和工艺工程师（最好是一个人，像我一样;大笑 ）一起分析一下。piy753 2009-7-22 16:05quote原帖由 XUCK 于 2009-7-22 08:35
13、 发表 请教，怎样保证每一台单晶炉的供水压力都相同？ /quote 供水压力相同？我建议你换一种问法！请教，怎样保证每一台单晶炉的供水与出水压力差都相同？让设计长房的去做吧！如果设计好了但达不到要求，就一台一台的调阀门吧（前提你的水循环系统总流量和主管道压力要够）！安徽新大 2009-7-22 16:11我们是京运通炉子等径250左右液面晃动怎样处理piy753 2009-7-22 16:31quote原帖由 安徽新大 于 2009-7-22 16:11 发表 我们是京运通炉子等径250左右液面晃动怎样处理 /quote 这个问题要从细节去分析，我问几个条件问题，你告诉我答案，我判断一下原因给
14、你提供参考方案。1 炉子用了多长时间（什么时候出厂的）？2停过水吗？3炉子下面泡过水吗（尤其是丝杠和导轨）？4多大的系统？几寸单晶？5是一直震动吗？还是250mm左右震动过后就不震了？piy753 2009-7-22 16:326 如果拉第二段也是同样振吗？直线导轨 2009-7-22 16:55piy753好样的！piy753你好！你的回答很好，谢谢前来捧场！希望我们能给大家一个较好的技术咨询平台！;握手 ;握手 ;握手 ;握手 ;握手 ;握手人口吧 2009-7-23 08:51quote原帖由 piy753 于 2009-7-22 16:00 发表 直径突然变大控制问题占得概率要大，至于前兆肯定是有的只是你没有看到。至于为什么会突然变大我不在现场（细节现象我没有看到）很难能给你明确的答复。我建议让你们的设备工程师和工艺工程师（最好是一个人，像我一样;大 . /quote 首先谢谢这位朋友的回答，因为这样的情况不是偶然发生的，是每一炉都出现这样的情况，我在没变大之前也观察过几炉，所有情况都很稳定，没出现什么异常情况，另外我们这边的炉子每一炉电脑上都有记录的，而且是每一秒记录一次对照了前面几炉的数据，都是一样的情况人口吧 2009-7-23 08:57液面抖动这个问题，我们这边也有，每次左右，而且第二段也会抖动，每一次抖都，棱线变宽，象树叶那样大，的提出的
