微电子器件b-4-3-2015mosfet-的直流电流电压方程

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1、5.3 MOSFET 的直流电流电压方程,本节将以 N 沟道 MOSFET 为例,推导 MOSFET 的 ID VD 方程。,ID,VD,推导时采用如下假设:, 沟道电流只由漂移电流构成,忽略扩散电流以及产生复合电流;, 采用缓变沟道近似,即:,这表示沟道厚度沿 y 方向的变化很小,沟道电子电荷全部由 感应出来而与 无关;,附:泊松方程,VD,5.3.1 非饱和区直流电流电压方程, 沟道内的载流子(电子)迁移率为常数;氧化层是绝缘体,栅极漏电流为零;, 采用强反型近似,即认为当表面少子浓度达到体内平衡多子浓度(也即 S = S,inv )时沟道开始导电;, QOX 为常数,与能带的弯曲程度无关

2、。,当在漏极上加 VD VS 后,产生漂移电流,,式中, 代表沟道内的电子电荷面密度。,1、漏极电流的一般表达式,(5-36),(5-37),(5-36),当 VG VT 后,沟道中产生的大量电子对来自栅电极的纵向电场起到屏蔽作用,所以能带的弯曲程度几乎不再随 VG 增大 ,表面势 S 也几乎维持 S,inv 不变。于是,,2、沟道电子电荷面密度 Qn,QA,QM,Qn,当外加 VD ( VS ) 后,沟道中将产生电势 V ( y ) ,V (y) 随 y 而增加,从源极处的 V (0) = VS 增加到漏极处的 V (L) = VD 。这样 S,inv 、xd 与 QA 都成为 y 的函数,

3、分别为:,将上面的 S,inv 和 QA 代入沟道电子电荷面密度 Qn 后,可知 Qn 也成为 y 的函数,即:,将 Qn 代入式(5-37),下面对上式进行简化。,3、漏极电流的精确表达式,并经积分后得:,将 Qn 中的 在 V = 0 处用泰勒级数展开,,当只取一项时,,当 VS = 0 ,VB = 0 时,可将 VD 写作 VDS ,将 VG 写作 VGS ,则 Qn 成为:,4、漏极电流的近似表达式,将此 Qn 代入式(5-37)的 ID 中,并经积分后得:,(5-50),再将 写作 ,称为 MOSFET 的 增益因子,则,式(5-51)表明,ID 与 VDS 成 抛物线关系,即:,式

4、(5-51)只在抛物线的左半段有物理意义。,IDsat,ID,VDS,VDsat,0,(5-51),此时所对应的漏极电流称为 饱和漏极电流 IDsat ,,这一点正好是抛物线的顶点。所以 VDsat 也可由令 而解出。,由 Qn 的表达式可知,在 y = L 的漏极处,,可见 | Qn(L) | 是随 VDS 增大而减小的。当 VDS 增大到被称为 饱和漏源电压 的 VDsat 时,Qn ( L ) = 0 ,沟道被夹断。显然,,(5-52),(5-53),当 VDS VD sat 后,简单的处理方法是从抛物线顶点以水平方向朝右延伸出去。,以不同的 VGS 作为参变量,可得到一组 ID VDS

5、 曲线,这就是 MOSFET 的输出特性曲线。,对于 P 沟道 MOSFET,可得类似的结果,,式中,,以上公式虽然是近似的,但因计算简单,在许多场合得到了广泛的应用。,课堂习题1:,考虑一理想N沟MOSFET, L为1.25 , 为650cm2/V.s, Cox=6.9 10-8F/cm, VT=0.65 V, 假设在VGS=5V时IDsat=4 mA ,试求沟道宽度Z,课堂习题2:,考虑一N沟MOSFET, L为2 ,Z=15 ,Cox=6.9 10-8F/cm, VT=0.65 V, 假设工作在非饱和区,VDS=0.1 V,在VGS=1.5V,ID=35微安,而在VGS=5V时IDsat

6、=4 毫安 ,试求反型层载流子迁移率,课堂习题3:,已知一N沟MOSFET,衬底杂质浓度NA=1 1015/cm3,工作温度300K,栅氧化层厚度Tox=100 nm。其中相对介电常数为:Si 为11.8,SiO2为3.9,真空介电常数为8.854 10-14F/cm,本征载流子浓度ni=1010/cm3。在外加栅压VGS-VFB=5 V时,计算漏源饱和电压VDsat。若Tox=200 nm, VDsat又为多少?将结果比较并讨论。,5、沟道中的电势和电场分布,将 代入式(5-36),得:,(5-56),令上式与式(5-51),将上式沿沟道积分,可解得沟道中沿 y 方向的电势分布 V(y) 为

7、,相等,得到一个微分方程:,式中,,对 V(y) 求导数可得到沟道中沿 y 方向的电场分布 Ey(y) 为,当 VDS = VDsat 时, = 0,yeff = L ,沟道电势分布和沟道电场分布分别成为,(5-59),(5-60),6、漏极电流的一级近似表达式,当在 级数展开式中取前两项时,得:,经类似的计算后可得:,式中,,以上公式与不对 做简化的精确公式已极为接近。,实测表明,当 VDS VDsat 后,ID 随 VDS 的增大而略有增大,也即 MOSFET 的增量输出电阻 不是无穷大而是一个有限的值。,5.3.2 饱和区的特性,通常采用两个模型来解释 ID 的增大。,当 VDS VDs

8、at 后,沟道中满足 V = VDsat 和 Qn = 0 的位置向左移动 L,即:,1、有效沟道长度调制效应,已知当 VDS = VDsat 时,V (L) = VDsat ,Qn (L) = 0 。,这意味着有效沟道长度缩短了。,L,0,y,VDsat,V(y),L,图中,曲线 代表 VDS VDsat 而 V ( L - L ) = VDsat 。,当 VDS VDsat 后,可以将 VDS 分为两部分,其中的 VDsat 降在有效沟道长度 ( L - L ) 上,超过 VDsat 的部分 ( VDS - VDsat ) 则降落在长度为 L 的耗尽区上。根据耗尽区宽度公式可计算出 L 为:,由于 ,当 L 缩短时,ID 会增加。,若用 IDsat 表示当 VDS VDsat 后的漏极电流,可得:,当 L 较长或 NA 较大时, 较小,电流的增加不明显, rds 较大 ;反之,则电流的增加较明显,rds 较小。,对于L 较短及 NA 较小的 MOSFET,当 VDS VD sat 后,耗尽区宽度接近于有效沟道长度,这时从漏区发出的电力线有一部分终止于沟道上,使沟道电子的数量增多,从而导致电流增大。可以把此看作是在漏区与沟道之间存在一个电容 CdCT ,当 VDS 增加 VDS 时,沟道区的电子电荷面密度的增量为,2、漏区静电场对沟道的反馈作用,

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