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1、1,ESD管制方案行政要求,ESD管制方案行政要求,2,此方案的主要目標是提供連續的ESD防護。 應把人員安全列入主要考量。 應包含行政要求(7)及技術要求(8)。 應依方案對所要處理的物件“最敏感程度”予以文件化。 組織應建立文件化實施維持查證此方案的符 合性。 組織應指派一位ESD管制方案經理或協調員。 若S20.20有不適用條文，通過評估後，可增加修改 刪除不適用處於方案內（並說明理由）,說明,3,1.ESD管制方案：ESD CONTROL PROGRAM 2.ESD防護不能違反或取代人員安全的任何要求 3.只要人員會與電源相接觸的地方，應採用接地斷 線器（GFCI）和其他安全保護措施,
2、有效建立ESD管制方案的原則,4,一、指派ESD經理(協調員)與建立ESD團隊。 二、評鑑組織、設施、流程及損失。 三、建立和寫下ESD管制方案計畫。 四、訂出排除理由並獲高階管理階層支持。 五、訂出訓練計畫。 六、發展並落實符合性查證計劃。,說明,5,1.指派ESD經理(協調員)與建立ESD團隊 ESD經理(協調員)的職當為發展預算管制管理ESD管 制方案 ESD團隊包含各部門功能或供應商 2.評鑑組織，設施，流程及損失 了解在ESD上，工作環境及其衝擊 由損失及敏感性資料來評估ESD設施 寫下流程，觀察人物動線及地區 進行完整的設施調查或稽核 量測人設備物料，鑑別靜電場 決定ESD造成損失
3、的程序並紀錄DOA/RMA/FQC失效的 實際與潛在ESD損失 由外部資源或PILOT RUN獲得資料 預估實施ESD方案節省成本 鑑別ESDS,說明,6,3.建立和寫下ESD管制方案計畫 包含方案的範圍，作業活動流程程序 準備與分發所寫的程序與規範 4.訂出排除理由並獲高階管理階層支持 承諾與ESD政策 定期重新確認 5.訂出訓練計畫 訓練與再訓練 6.發展並落實符合性查證計畫(持續地審查/稽核/分析/回饋及改善) 有效確保ESD管制方案的成功-稽核 持續鑑別從方案調查後的回收資料 技術提升可以改善及修改ESD方案 回饋給相關人員及高階主管 強化管理承諾並向管理階層報告 定期評估方案並稽核,
4、ESD管制方案計劃(REF.S20.20 7.1),7,包含對S20.20所有要求都列出。 與組織的ISO 9001 QMS結合成為其中之一部分。 要隨技術工藝流程的進展改變此計畫。 發展“計畫”的步驟 1)決定零組件/設備/流程的敏感度 2)導入ESD管制方案衝擊流程/組織的初步評鑑 3)文件化ESD管制方案並界定其範圍 4)建立之後，確保計畫內的ESD管制物料/流程/程序符 合現況，並確保組織及ESDS物料供應廠商已落實方案,說明,8,所謂在ESD管制方案計畫中包含對S20.20所有要 求都列出，這些要求包括： 1)訓練 2)符合性查證 3)技術要求(接地/等電位接線系統，人員接地， EP
5、A要求，包裝系統，標示),說明,9,描述“ESD管制方案計畫”要有： a)方案範圍 b)保護ESD敏感件所需的工作/作業/程序 c)鑑別組織中對保護ESD敏感件所需的工作/作業的責任 d)列出方案所用到的指導或參考文件 e)特定形式的ESD保護材料及設備 f)零組件/設備ESD敏感度的評鑑 但其他項目也可以列入，如： g) ESD敏感度的零組件/設備 h)組織職掌 i)組織與供應商/委外加工廠的角色與責任 j) ESD方案的有效性 k)運用方案資料與文件的方式 l)核可的ESD管制產品及物料名冊 m)失效分析流程 n)監視產品良率及流程的策略，用以決定ESD管制措施的有效性 O)處置靜電失效元
6、件方式 ,說明,10,1.方案等文件與紀錄管制-4.2.3/4.2.4 ESD稽核-8.2.2 ESD審查-5.6 靜電壓表，表面阻抗計監視與量測裝置管制-7.6 ESD設施維護與作業環境-6.3/6.4 SMT/治工具ESD檢測確認-6.3/6.4 IC倉管理-7.5.5 ESD採購與查證-7.4 因ESD造成的不良品-8.3 ESD資料分析-8.4 ESD訓練-6.2 ESD改善與目標提昇-5.4/8.5,訓練計畫(REF.S20.20 7.2),11,訓練應包含：初訓及複訓 科目應包含：ESD認知及預防訓練 對象應包含：處理或接觸任何ESDS件的所有人員 人員接觸處理ESDS物件前應接受
7、過初訓 應訂出訓練頻率及形式 應規定人員訓練紀錄的存放場所並維持該紀錄 組織自訂使用的訓練方法，但對其訓練的評估應客觀,符合性查證計畫(REF.S20.20 7.3),12,建立此計畫以滿足ESD管制方案計畫的技術要求 應依此計畫規定頻率與量測規格界限進行流程監控（量測） 計畫應寫下流程監控（量測）所用方法及設備 若方法與ESD S20.20所列參考標準不同，應於計畫內說明 維持查證紀錄 所選定的測試設備應有足夠能力進行計畫內的查證作業,說明,13,1.依據此計畫進行正式稽核或查證，可以有 A)方案管理稽核 B)作業流程/活動每日點檢 C)工作場所定期檢測 D)新購ESD物品檢測 2.一旦訂好
8、技術要求，為了ESD稽核的一致性，稽 核查檢表亦要建立 3.建立定性或定量歷史資料，以利於趨勢分析，並 可作為建立稽核頻率及矯正措施計畫如：程序修 正，人員再次訓練，現有設施修改；必要時對 ESDS硬體的潛在衝擊採取預防措施,說明,14,4.稽核後，落實稽核不符合的矯正措施（可以ISO 9001 8.2.2/8.5.2內部稽核整合） 5.有必要於組織內指派一組人員，負責符合性查證計畫，這些 有，如： a)新流程/新產品正式於生產線啟用前，首次ESD驗證 b)依據ESD方案計畫的技術要求，建立欲被稽核之項目 c)對每一個技術要求決定稽核檢查頻率 d)執行流程稽核 e)記錄下ESD方案不符合事項/
9、矯正措施報告(CAR)及後續查證 f)準備稽核報告並分送相關單位 g)分析稽核結果(趨勢分析)，與目標比較展現改善方案績效 6.ESD查證的環境溫溼度範圍以工作環境涵蓋為主，依照ESD相 關標準，溫度為233，溼度123%RH及505%RH，並於檢 測前放置一段時間（EX.靜電椅約48小時(see ESD STM 12.1）,有效的ESD稽核/驗證要素,15,文件化且已經界定好的SOP，CHECKLIST， PLAN 資源及特定檢測設備備妥，如：表面電阻計，靜 電壓計，高阻計 範圍：所有地區人流程物料程序（見 ESD方案） 稽核頻率 維持稽核結果的趨勢分析圖表CAR報告 有效落實CAR,說明,16,1.建議最少進行1次年 ESD稽核/查證，依據不同的稽核 查證活動訂出其頻率。 2.查證活動的頻率規定如：（REF. JESD 625A SECTION 6.1） 每日：靜電防護手環，ESD保護鞋，個人ESD防護衣物 （目視檢查) 每週：ESD防護工作站，靜電地板，ESD接地（目視檢查） 每月：EPA區工作站靜電壓量測（1000 VOLT/12“） 每季：工作桌面，靜電地板，手環檢視器，ESD連續監視 器 量測 半年：離子風扇 一年：ESD系統稽核,
