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1、有关纳米薄膜材料的论文摘 要 ：由于自己掌握的知识有限，因此，我根据自己查找的资料主要从纳米薄膜材料的分类、特性、制备方法、应用四个方面简单的介绍一下纳米薄膜材料。纳米薄膜材料是一种新型材料，指由尺寸为纳米数量级(1100nm)的组元镶嵌于基体所形成的薄膜材料，它兼具传统复合材料和现代纳米材料二者的优越性，由于其特殊的结构特点，使其作为功能材料有广泛的应用价值。纳米薄膜可以改善一些机械零部件的表面性能，以减少振动，降低噪声，减小摩擦，延长寿命。这些薄膜在刀具、微机械、微电子领域作为耐磨、耐腐蚀涂层及其它功能涂层获得重要应用。目前，科研人员已从单一材料的纳米薄膜转向纳米复合薄膜的研究，薄膜的厚度
2、也由数微米发展到数纳米的超薄膜。同时，纳米薄膜的表面微观结构，纳米薄膜对敏化电池光电效率的影响及结晶机制与薄膜对电磁波屏蔽特性的影响都有至关重要的科学贡献。关键词：纳米薄膜 特性 制备方法 应用正文：一、纳米薄膜材料的分类（1）按结构分类 纳米薄膜是指二维的纳米固体，纳米薄膜具有纳米结构的特殊性质，目前可以分为两类：纳米粒子组成的薄膜和纳米微粒间有较多的孔隙、无序原子或其他材料的薄膜，如纳米微粒镶嵌在另一种基体材料中的颗粒膜就属于此类。（2）按功能分类 纳米薄膜是一类具有广泛应用前景的新材料，接用途可以分为两大类即纳米功能薄膜和纳米结构薄膜。前者主要是利用纳米粒子所具有的光、电、磁方面的特性，
3、通过复合使新材料具有基体所不具备的特殊功能。镶嵌有原子团的功能薄膜会在基质中呈现出调制掺杂效应，这类集成器件具有惊人的信息处理能力；纳米磁性多层膜具有典型的周期性调制结构，导致磁性材料的饱和磁化强度的减小或增强。对这些问题的系统研究具有重要的理论和应用意义。二、 纳米薄膜的光学、力学、电磁学与气敏特性 光学性能 (1)吸收光谱的“蓝移” 、宽化与“红移”由于具有小尺寸效应、量子尺寸效应以及界面效应，因而，当膜厚度减小时，大多数纳米薄膜能隙将有所增大，会出现吸收光谱的蓝移与宽化现象。如纳米 TiOESnO：纳米颗粒膜具有特殊的紫外可见光吸收光谱，其吸收光谱较块体发生了显著的“蓝移”与宽化，抗紫外
4、线性能和光学透过性良好。(2)光学非线性 弱光强的光波透过宏观介质时，介质中的电极化强度常与光波的电场强度具有近似的线性关系。但是，当纳米薄膜的厚度与激子玻尔半径相比拟或小于激子玻尔半径时，在光的照射下，薄膜的吸收谱上会出现激子吸收峰。这种激子效应将连同纳米薄膜的小尺寸效应、宏观量子尺寸效应、量子限域效应一道使得强光场中介质的极化强度与外加电磁场的关系出现附加的 2 次、3 次乃至高次项。简单地讲，就是纳米薄膜的吸收系数和光强之间出现了非线性关系，这种非线性关系可通过薄膜的厚度、膜中晶粒的尺寸大小来进行控制和调整。力学性能(I)硬度 位错塞积理论认为，材料的硬度与微结构的特征尺寸 A 之间具有
5、近似的HallPetch 关系式o-=o-o+(A,4o)式中， 为宏观材料的硬度；A 为常数。对于纳米薄膜来说，特征尺寸 A 为膜的厚度。由该关系式可以得出，特征尺寸 A很小的纳米薄膜将具有很高的硬度。此外，纳米多层膜的硬度还与薄膜的组分、组分的相对含量有关。一般来说，在纳米薄膜中添加适量的硬质相可使薄膜的硬度得到进一步的提高。(2)耐磨性 研究表明，多层纳米膜的调制波长越小，其磨损临界载荷越大，抗磨损力越强。之所以如此，可从以下几个方面来进行解释。首先，从结构上看，多层膜的晶粒很小，原子排列的晶格缺陷的可能性 较大，晶粒内的晶格点阵畸变和晶格缺陷很多，这畸变和缺陷使得晶粒内部的位错滑移阻力
6、增加；此外，多层膜相邻界面结构非常复杂，不同材料的位错能各异，这也导致界面上位错滑移阻力增大；最后，纳米薄膜晶界长度也比传统晶粒的晶界要长得多，这也使晶界上的位错滑移障碍变得显著。总之，上述的这些因素使纳米多层膜发生塑性变形的流变应力增加，且这种作用随着调制波长的减小而增强。(3)韧性 纳米薄膜，特别是纳米多层膜的增韧机制可归结为裂纹尖端钝化、裂纹分支、层片拔出以及沿界面的界面开裂等诸多因素。这种增韧机制通常可通过薄膜界面作用和单层材料的塑性来加以解释。当调制波长不是很小时，多层膜中的子层材料基本保持其本征的材料特点，即薄膜的塑性主要取决于基体本身的变形能力；但是，当调制波长减小至 nm 量级
7、，多层膜界面含量增加时，各单层膜的变形能力增加，同时裂纹扩展的分支也增多，但是，这种裂纹分支又很难从一层薄膜扩展至另一层薄膜，因此，纳米多层薄膜的韧性增大。 电磁学特性 纳米薄膜的电磁学特性包括纳米薄膜的电学特性、磁学特性与巨磁电阻特性。研究表明，纳米薄膜的电学特性不仅与纳米薄膜的厚度有关，而且还与纳米薄膜中颗粒的尺寸有关。当薄膜的厚度或者颗粒的尺寸减小至 nm 量级时，导电性会发生显著变化，甚至材料原本的电学性能丧失。纳米薄膜磁学特性主要来自纳米薄膜的磁性各向异性。一般的薄膜材料大都是平面磁化的，但是 nm级厚度的磁 性薄膜的易磁化方向却是薄膜的法向，即纳米磁性薄膜具有垂直磁化的特性。纳米薄
8、膜的巨磁电阻效应指的是纳米磁性薄膜的电阻率受材料磁化状态的变化而呈现显著改变的现象。气敏特性 纳米薄膜的气敏特性指的是一些纳米薄膜借助于其大的比表面积或大量表面微观活性中心，如不饱和键等，对特定气体进行物理吸附和化学吸附的特性，如 SnO：超微粒薄膜可吸附很多氧，而且只对醇敏感。因此，可以利用该纳米薄膜制作出相应的气敏感应器件。 三、纳米薄膜材料的制备方法 纳米薄膜有多种制备方法，主要可分为物理方法和化学方法两大类。其中经常使用的物理方法包括粒子束溅射沉积、磁控溅射沉积，以及新近出现的低能团簇束沉积法；化学方法包括化学气相沉积(MOCVD)法、电沉积法、溶胶一凝胶法等。对于溅射沉积以及化学方法
9、课本中都有了详细的介绍，下面我主要介绍一下新近出现的低能团簇束沉积法。低能团簇束沉积方法制备纳米薄膜时，先将所沉积材料激发成原子状态，然后以 Ar、He 作为载气使之成团簇，同时采用电子束使团簇离子化，利用质谱仪进行分离，从而控制一定质量、一定能量的团簇沉积而形成薄膜。在这种条件下沉积的团簇在撞击表面时并不破碎，而是近乎随机分布；当团簇的平均尺寸足够大，其扩展能力受到限制，沉积薄膜的纳米结构对团簇尺寸具有很好的记忆特性。四、纳米薄膜的应用 目前，能源短缺和环境污染已成为全世界所面临的重要问题，发展清洁能源和新型储能体系已刻不容缓。下面来简单的介绍一下纳米薄膜材料的最新研究进展。纳米光学薄膜 利
10、用纳米薄膜吸收光谱的蓝移与红移特性，人们已制造出了各种各样的紫外吸收薄膜和红外反射薄膜，并在日常生产、生活中取得应用。如在平板玻璃的两面镀制的 TiO 纳米薄膜，在紫外线作用下，该薄膜可分解沉积在玻璃上的有机污物，氧化室内有害气体，杀灭空气中的有害细菌和病毒 ；在眼镜上镀制的 TiO 纳米粒子树脂膜或 Fe O，纳米微粒聚醇酸树脂膜，可吸收阳光辐射中的紫外线，保护人的视力；在灯泡罩内壁涂敷的纳米 SiO 和纳米 TiO 微粒多层干涉膜，灯泡不仅透光率好，而且具有很强的红外线反射能力，可大大节约电能等。此外，利用 Si 纳米晶粒薄膜的紫外线光致发光特性，还可获得光致变色效应，从而产生新的防伪、识
11、别手段。纳米耐磨损膜与纳米润滑膜 在一些硬度高的耐磨涂层或薄膜中添人纳米相，可进一步提高涂层或薄膜的硬度和耐磨性能，并保持较高的韧性。此外，一些表面涂层或薄膜中加入一些纳米颗粒，如 C 印富勒烯、巴基管等还可达到减小摩擦系数的效果，形成自润滑材料，甚至获得超润滑功能。事实上，在 Ni 等基体表面上沉积纳米NiLa2o ，薄膜后，除了可以增加基体的硬度和耐磨性外，材料的耐高温、抗氧化性也显著提高。 纳米气敏薄膜 由于气敏纳米膜吸附了某种气体以后会产生物理参数的变化，因此可用于制作探测气体的传感器。目前研究最多的纳米气敏薄膜是 SnO 超微粒膜163，该膜比表面积大，且表面含有大量配位不 饱和键，
12、非常容易吸附各种气体在其表面进行反应，是制备气敏传感器的极佳功能材料。纳米滤膜 纳米滤膜是一种新型的分离膜，可分离仅在分子结构上有微小差别的多组分混合物，它常常被用来在溶液中截留某些有机分子，而让溶液中的无机盐离子自由通过。目前商业化的纳米滤膜的材 质多为聚酰胺、聚乙烯醇、醋酸纤维素等，这些纳米滤膜除了具有微筛孔外，滤膜上各基团往往还带有电荷，因此，还可以对某些多价的离子进行截留，而让其他离子通过滤膜。现在，纳米滤膜已经在石化、生化、食品、纺织以及水处理等方面得到广泛应用。纳米薄膜在许多领域内都有着广泛的应用前景。利用新的物理化学性质、新原理、新方法设计纳米结构性器件和纳米复合传统材料改性正孕
13、育着新的突破功能性的薄膜材料一直是人们研究的热点,例如 H. Matsud 等人制备的 Fe P 纳米薄膜具有优良的磁性能；纳米硅薄膜( nc Si: H)是一种新形低维人工半导体材料; Eniko TothKadar 等人用脉 冲电沉积法制备的 Ni 纳米晶薄膜,具有良好的电传导性。随着社会和科学技术的发展，我相信人们一定会研制出更加适应社会发展需求和人类需求的更加先进的纳米材料。五、参考文献1 沈海军 穆先才，纳米薄膜的分类、特性、制备方法与应用，南京航空航天大学航空宇航学院 南京 210016 2 李戈扬, 施晓蓉, 张流强 , 等. TiN AIN 纳米多层膜的 制备及力学性能. J . 上海交通大学学报, 1999, 33 ( 2) : 159 3 杨邦朝 王文生，薄膜物理与技术，电子科技大学出版社，19944 刘忆 刘卫华，纳米材料的特殊性及其应用，沈阳工业大学学报5 邱成军 曹茂盛 朱静 杨慧静 纳米薄膜材料的研究进展j.2001.76(19).46 吴锦雷 纳米光电薄膜材料 北京大学出版社 2011.10
