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1、 合肥京东方半导体有限公司TFT-LCD六代线玻璃减薄配套建设项目一、 前 言合肥京东方半导体有限公司成立于2009年7月，是北京京东方半导体有限公司下属全资子公司，公司位于合肥市新站综合开发试验区，占地面积38483，公司主要为合肥京东方光电科技有限公司配套生产TFT用精密电子金属零件。合肥京东方半导体有限公司利用多年的TFT-LCD行业内客户资源、管理经验及技术优势，在合肥市新站综合开发试验区，在已征地范围内建设TFT-LCD六代玻璃减薄配套项目，建成可达到年减薄第六代TFT-LCD玻璃面板7.2万张（1500mm*1850mm）的生产能力。合肥京东方半导体有限公司TFT-LCD六代玻璃减
2、薄配套项目选址合肥市新站综合开发试验区，该项目已于2013年5月13日经合肥市新站综合开发试验区经贸发展局批准备案。项目规划设计纲领为年减薄第六代TFT-LCD玻璃面板7.2万张。合肥市环境监测中心站组织人员于2017年04月26日至27日对该项目进行了项目竣工环境保护验收监测，收集了有关资料，并编制验收监测报告。二、验收监测依据1.合肥市环保局，环建审（新）【2013】115号文：关于合肥京东方半导体有限公司TFT-LCD六代玻璃减薄配套项目环境影响评价执行标准的确认函，2013.07。2.合肥市环境保护局，环建审第【2014】15号，关于合肥京东方半导体有限公司TFT-LCD六代玻璃减薄配
3、套项目环境影响报告书的批复”。2014.013. 合肥市环境监测站，合同编号【2016】04号关于合肥京东方半导体有限公司TFT-LCD六代玻璃减薄配套项目环境监测评价合同书,2016.03三、建设项目工程概况3.1项目基本情况3.1.1项目名称：合肥京东方半导体有限公司TFT-LCD六代玻璃减薄配套项目3.1.2项目性质：改扩建3.1.3项目地址：合肥新站综合开发试验区，铜陵北路与天水路交叉口东北，合肥京东方半导体有限公司厂址内（具体位置见附图1 ）3.1.4工程投资投资总额：总投资4176万元。其中环保投资531万元。3.1.5企业组织与劳动定员3.1.5.1企业组织公司组织机构健全，在董
4、事会领导下，规章制度严谨，管理有序。3.1.5.2 全厂定员及工作制度合肥京东方半导体有限公司拥有一整套完整的工厂体制和组织机构。现有员工人数约为110人，新增206人，全年工作300天，各生产车间采用三班两轮工作制，每班工作8小时。3.2生产规模及产品 TFT-LCD六代玻璃减薄配套项目的主要建设内容包括新建厂房及配套设施，现有工程年产TFT-LCD金属零件配套1040万套、边框1040万片及背板1040万片；新增项目可年减薄第六代TFT-LCD玻璃基板（1500mm*1850mm）7.2万张。（本次验收项目为新增的TFT-LCD六代玻璃减薄配套项目）3.3项目建设起止日期合肥京东方半导体有
5、限公司TFT-LCD六代玻璃减薄配套项目，建设性质为改扩建，工程于2014年2月施工，2014年8月建成试生产。 3.4 生产工艺及产污流程简介3.4.1 TFT-LCD六代玻璃减薄配套项目生产工艺及产污流程图3-1TFT-LCD六代玻璃减薄配套项目生产工艺流程及排污节点图3.4.2辅助工序及产污情况图3-2 TFT-LCD六代玻璃减薄配套项目辅助工序及产污情况图3.5水平衡合肥京东方半导体有限公司TFT-LCD六代玻璃减薄配套项目产生的废水主要来自于生产废水（W1清洗废水、W2高浓度含氟废水、W3低浓度含氟废水、W4悬浮物废水、W5酸性废气洗涤塔排水、W6纯水制备废水、W7冷却塔循环水排水）
6、和W8生活污水等。水量平衡图见图3-3。图3-2 TFT-LCD六代玻璃减薄配套项目水平衡图4.1废气4.1.1污染源合肥京东方半导体有限公司TFT-LCD六代玻璃减薄配套项目的主要废气污染源是固化工序、清洁工序及蚀刻减薄工序，产生的主要废气是G1有机废气和G2酸性废气，其中酸性废气主要污染物为氟化物、氯化氢、硫酸雾等。4.1.2治理措施项目酸性废气在酸性废气处理系统（由酸性废气吸收塔、排风机、喷淋装置、吸收液供给装置和排风管组成）经碱液喷淋吸收处理，达标后20m高空排放；4.2废水4.2.1污染源4.2.1.1生产废水（1）、W1清洗废水：来源于前清洗、抛光后清洗工序，废水中含有清洗剂，主要
7、污染物为pH、COD、BOD5、SS、LAS等。（2）、W2高浓度含氟废水：自蚀刻槽定期倒槽，废水中含有氢氟酸、硫酸、盐酸等物质，主要污染物为pH、COD、BOD5、F-、Cl-、SS等。（3）、W3低浓度含氟废水：主要源自蚀刻减薄线的清洗工序，废水中含有氢氟酸、硫酸、盐酸等物质，主要污染物为pH、COD、BOD5、F-、Cl-、SS等。（4）、W4悬浮物废水：来源于抛光工序，废水中含有少量抛光粉（主要成分为氧化铈），主要污染物为SS。（5）、W5酸性废气洗涤塔排水：主要来源于蚀刻减薄线产生的的酸性废气通过洗涤塔处理后的排水。主要污染物为pH、COD、BOD5、F-、Cl-、SS等。（6）、W
8、6纯水制备排水：产生RO浓缩水（主要含原自来水中的离子）和反洗废水（主要含原自来水中的离子和SS）。（7）、W7冷却塔循环水排水：主要成份为原自来水中浓缩的盐类、SS。4.2.1.2生活污水项目产生的W8生活污水主要为卫生间盥洗污水，4.2.2治理措施4.2.2.1废水排放及处理措施本项目废水排放及处理措施见下表 4.1表4 .1 废水排放及处理措施统计表废水类别废水排放量（m3/d）处理措施及排放去向一、生产废水 合计982.2厂区生产废水处理系统废水总排放口(1) W2高浓度含氟废水4.2排入含氟废水预处理系统含氟废水处理系统最终中和处理系统(2) W3低浓度含氟废水500排入含氟废水处理
9、系统废水总排放口最终中和处理系统(3) W5废气洗涤塔排水15(4) W4悬浮物废水32排入悬浮物废水处理系统最终中和处理系统废水总排放口(5) W1一般清洗废水250最终中和处理系统废水总排放口(6) W6反冲洗废水56(7) W7冷却塔循环水排水40(8) W6 RO浓水85二、W8生活污水 合计8.5生活污水化粪池现有工程废水处理站废水总排放口三、外排废水 总计990.7废水总排放口市政污水管网小仓房污水处理厂南淝河4.2.2.2废水处理工艺（1）、含氟废水预处理系统/含氟废水处理系统本项目新建含氟废水预处理系统和含氟废水处理系统各1套；其中含氟废水预处理系统设计处理能力为25m3/d，
10、含氟废水处理系统设计处理能力为600m3/d。项目产生的高浓度含氟废水主要污染物为pH、COD、BOD5、F-、Cl-、SS，首先经含氟废水预处理系统处理，采用投加Ca(OH)2进行絮凝沉淀处理。预处理后的高浓度含氟废水与低浓度含氟废水一同排入含氟废水处理系统处理。系统拟采用絮凝沉淀法，在pH值12左右，向废水中投加过量Ca(OH)2与废水中F生成CaF2沉淀（加入适量絮凝剂以使废水中的氟化钙形成便于分离的矾花），当絮凝反应完成后，进行泥水分离，池底污泥由污泥泵抽到污泥浓缩池。浓缩后的污泥经压滤机压成含固量30%的泥饼，上清液进入中和池，出水监测合格后排放，水质不合格时将返回缓冲池进行二次处理
11、。处理后出水溢流至最终中和系统处理后排放。（2）、悬浮物废水处理系统项目抛光工序产生的悬浮物废水主要污染物为SS。本项目新建悬浮物废水处理系统1套，设计处理能力为40m3/d，采用絮凝和沉淀的方法进行处理。处理后进入最终中和处理系统进一步处理后外排。（3）、最终中和处理系统项目清洗工序产生的一般清洗废水，纯水制备工序产生的反冲洗废水和冷却塔排水，水质均较清洁，均直接排入最终中和系统处理，本项目新建最终中和处理系统1套，设计处理能力为1100m3/d。最终中和处理系统采用中和法对废水进行处理。在此期间，根据废水水质情况自动投入酸或碱液，在强力搅拌下进行混合、反应，废水经处理达到排放标准后排放。如
12、果水质达不到排放标准，再返回各处理系统进行二次处理。4.3噪声合肥京东方半导体有限公司TFT-LCD六代玻璃减薄配套项目，生产设备位于密闭厂房内，厂房有较好的隔声作用。因此，项目噪声源主要为动力设备噪声, 新增的产噪设备主要为风机、空压机、冷却塔、水泵等动力设备。所有噪声设备均设置了减振基座，部分设备安装了隔声罩4.4固体废物本项目生产过程中产生的固体废物分为危险废物和一般固体废物两类。危险废物主要包括：S1不合格玻璃、S2废弃无尘布（含乙醇）、S3蚀刻槽渣、S4废UV胶、S7沾染化学试剂容器、S8含氟污泥。一般废物主要包括：S5废靶材、S6废包装材料、S8办公生活垃圾、S10悬浮物废水处理系
13、统污泥等。项目产生的固体废弃物最终处置具体如表4.2。表4.2 项目固体废弃物产生情况序号废物种类性质产生量(t/a)处理处置去向1S1不合格玻璃HW49其他废物5交由客户厂商回收2S4废UV胶HW13有机树脂类废物1合肥市吴山固体废物处置有限公司3S2废弃无尘布（含乙醇）HW42废有机溶剂0.94S7沾染化学试剂容器1.55S3蚀刻渣HW32无机氟化物废物123.5 6S8含氟污泥17686.4 小计17815.3 7S5废靶材一般废物0.04生产厂商回收8S6废包装材料12废品回收站9S9办公生活垃圾16.5环卫部门统一清运10S10悬浮物废水处理系统污泥15小计43.54 合计17848
14、.8 五、验收监测评价标准及总量控制指标5.1废气验收监测评价标准5.1.1废气排放标准废气排放执行大气污染物综合排放标准（GB 162971996）二级标准。废气验收监测评价标准见表5.1。表5.1 废气验收监测评价标准名称污染物排放高度(m)浓度限值(mg/m3)排放速率(kg/h)厂界浓度限值(mg/m3)执行标准工艺废气氯化氢151000.260.2大气污染物综合排放标准（GB 16297-1996）二级标准氟化物1590.10.02硫酸雾15451.51.2非甲烷总烃/4.05.2废水验收监测评价标准标准限值见表5.2。 表5.2 废水验收监测评价标准 单位：mg/L（pH除外）项目pHCODBODSSNH3-NTP氟化物氯化物污水综合排放标准中三级标准69500300400/2020小仓房污水处理厂设计进水水质/380180200304/污水排入城镇下水
