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1、武汉高德红外股份有限公司红外焦平面探测器产业化项目环境影响报告书简本 武汉高德红外股份有限公司红外焦平面探测器产业化项目环境影响报告书简本湖北君邦环境技术有限责任公司二一四年六月7目 录1建设项目概况11.1项目建设背景11.2工程组成11.3生产工艺22项目周边环境现状32.1环境质量现状32.2主要环境保护目标43环境影响分析53.1环境空气影响分析53.2地表水环境影响分析53.3运营期声环境影响分析53.4固体废物影响分析63.5环境风险影响分析64清洁生产65产业政策及城市总体规划符合性65.1产业政策分析65.2规划相符性分析66结论67联系方式71 建设项目概况1.1 项目建设背
2、景武汉高德红外股份有限公司（简称“高德红外”）位于武汉市东湖新技术开发区黄龙山南路6号，是规模化专业从事红外热成像系统研发、生产、销售的高新技术企业。自成立以来，公司立足自主创新，积极开展红外光学、成像电路、图像处理、人工智能、机械结构及系统工程等方面的设计与研究，开发出数十款拥有完全知识产权的红外热像系统及高科技光电系统，各项技术居国内领先、国际先进水平。红外热成像技术在我国起步较晚，国内仅有极少数单位涉足红外探测器的研发工作，而且技术起点和项目定位较低，与技术先进国家相比仍有较大差距。近年来，在国家科技及产业发展政策的引导和鼓励下，我国红外热像产业发展迅速，以“高德红外”为代表的高科技企业
3、日益壮大，其红外热像产品产量、性能及质量都有了较大的提升，国际市场也逐渐被打开。但由于红外探测器等核心器件的研制和产业化进展缓慢，关键技术受制于国外企业，我国红外热像产品的生产成本居高不下，产品在民用市场普及程度不高，也严重制约了国内红外热像产业的进一步发展。为此，国家中长期科学和技术发展规划纲要 (20062020年)将发展高分辨率观测系统放在科技发展重中之重的位置上，说明我国对包括红外热成像在内的观测系统技术进步的紧迫需求。为解决红外探测器长期以来依赖于境外采购的现状，尽早实现红外探测器国产化的目标，“高德红外”充分发挥自身在技术研发、专业团队、产品化、市场化以及项目管理等方面的优势，借助
4、湖北省的科教优势、中部地区区位优势等外部资源，着力开展高性能的红外探测器的研制和产业化，及时提出“红外焦平面探测器产业化项目”，应用MEMS（微机电系统）技术，规模化生产高性能电子元器件。项目建设内容包括：1栋芯片车间以及配套的供配电、给排水、消防、环保等设施。建成后，形成年加工非制冷型红外探测器6万余只的生产能力。项目大部分设备现已安装完成，目前正在进行设备调试，已具备模拟生产能力。1.2 工程组成项目基本构成如下表：表1 拟建项目基本构成一览表项目名称规模与在建工程的依托关系主体工程1芯片车间（2#楼）位于2#楼芯片车间一楼，设有一条非制冷生产线，包括光刻机、显影机、微波射频电离装置、离子
5、镀膜机、多晶硅腐蚀雕刻机、金属腐蚀雕刻机、熔炉、湿式雕刻机、真空共晶炉等生产设备共计38台套，辅助检测设备9台。新建车间公辅工程1供电系统拟建工程新增用电容量为983kVA。场区内变配电房变压器容量2000kVA，可以满足项目供电需要。新增设备2给水系统由当地自来水厂提供。在2号芯片生产车间1F设一座纯水制备站，制水能力为30t/h.在2号芯片生产车间屋顶设置一套960t/h循环水塔用于空调机机组、空压机等设备夹套使用单独设置纯水供应以及循环冷却水系统3排水系统厂区排水采用雨水和污水分流制排放，污水经过处理后排入汤逊湖污水处理厂进入长江。新建4制冷系统设有水冷式螺杆机组3套，单台制冷量为246
6、1kw/h新建5供气系统氮、氢、氧气系统：在一楼辅房内设置集中供气系统一套。压缩空气系统：在2#厂房西侧设有一座空压机房，内设2台螺杆式空气压缩机，小时供气量共计340m3。新建6储罐设两只35m3液氮储罐新建7通风系统芯片生产车间洁净区进行设计，洁净度按照10000级设计新建环保工程1生产废水处理系统在2#车间一楼设有一座生产废水处理站，采用化学中和沉淀（含含氟废水预处理单元）+接触氧化处理工艺，处理能力为8吨/小时新建2主要废气处置系统设两套酸碱废气处理系统以及一套有机废气处理系统，酸碱废气处理系统采用碱液湿式喷淋处理工艺，有机废气处理系统活性炭吸附处理工艺，处理后的废气分别通过3根30m
7、高排气筒外排新建办公生活设施员工办公以及住宿、就餐等依托现有工程依托现有工程1.3 生产工艺本次评价的内容主要为红外非制冷型芯片前段加工工艺，及MEMS加工。首先是在代工厂加工好读出电路晶圆和MEMS 掩模板，然后对读出电路晶圆进行光刻、刻蚀、镀膜、测试和清洗等工艺加工出红外MEMS敏感结构，最后进行封装测试。读出电路晶圆的加工MEMS掩模板的加工涂胶、光刻测试ETCH（金属或非金属、光刻胶或牺牲层）是否牺牲层刻蚀清 洗镀膜（金属或非金属）去封装阴影部分由外协工厂负责加工图1 项目总体工艺流程图（1）镀膜。包括一台物理气象沉积以及2台化学气相沉积。物理气相沉积是在硅片上沉积Al和Ti等金属薄膜
8、，气相沉积过程中使用Ar气作为辅助气。化学气相沉积技术在硅片上沉积SiO2、Si、Si3N4等半导体薄膜。（2）涂胶。通过涂胶机在硅片表面涂覆一层光刻胶（PR，主要成分为聚酰亚胺等有机聚合物）。（3）光刻。通过光刻机，利用掩膜版对硅片表面的光刻胶进行选择性曝光。（4）显影。利用显影液(TMAH)将曝光过的光刻胶清洗掉。（5）干法刻蚀。通过等离子体刻蚀机的物理和化学反应，将没有光刻胶遮挡金属薄膜或者半导体薄膜进行干法刻蚀，使得薄膜材料形成特定的图形结构。金属薄膜的刻蚀会用到Cl2，HBr，CHF3，BCl3，Ar，He 等气体。半导体薄膜的刻蚀会用到CF4，CHF3，Ar，He 等气体。（6）湿
9、法刻蚀。利用湿法刻蚀技术，通过化学溶剂对薄膜进行腐蚀，以形成特定的图形结构。工艺过程会使用到HNO3，H3PO4，CH3COOH，H2O2，NH4OH，H2SO4，HCl，C2H6O2等化学试剂。以上各种工艺设备的机械零件定期维护清洗过程中会使用到IPA（异丙醇），CH3COCH3（丙酮）等化学试剂。各车间主要产排污节点汇总如下表：表2 拟建工程各车间主要污染物产生情况及防治措施一览表污染物类型来源污染源名称主要污染物现状采取的防治措施废气化学气相沉积PECVDPH3、SIH4、B2H6、NH3等通过POU废气处理（燃烧）处理后进入两套酸性废气洗涤塔处理后通过30m高排气筒排放（1#、2#）蚀
10、刻蚀刻废气HBr、BCl3、Cl2等涂胶及其烘干涂胶废气VOCs设置一套活性炭吸附装置处理后，通过一根30m高排气筒有组织排放废水酸碱废水清洗pH、氨氮、磷酸盐、氟化物化学中和沉淀后进入接触氧化池有机废水COD、pH接触氧化处理后排放噪声各空压机、风机、设备运行等连续等效A声级隔声、减震等固体废物活性炭吸附装置活性炭HW49委托具有资质的单位安全处置。显影、设备维护废有机溶剂HW42涂胶废胶HW13刻蚀废酸HW34蚀刻废碱HW352 项目周边环境现状2.1 环境质量现状2.1.1 环境空气根据2013年武汉市东湖新技术开发区环境状况公报，2013年东湖开发区全年154天空气质量状况为优良，占全
11、年天数的42.2%，首要污染物为细颗粒物。可吸入颗粒物、二氧化氮、细颗粒物均超过环境空气质量标准（GB3095-2012）年平均浓度二级标准；二氧化硫满足环境空气质量标准（GB3095-2012）年平均浓度二级标准。现场实测数据，项目所在区域氟化物小时值满足环境空气质量标准（GB3095-2012）附录A表A.1标准要求；硫酸雾、氯化氢、氨、氯均能满足工业企业设计卫生标准（TJ36-79）表1“居住区大气中有害物质的最高容许浓度”。2.1.2 地表水采用武汉市环境监测站2012年对长江武汉段杨泗港、白浒山两个监测断面例行监测数据进行分析，统计数据表明，两个监测断面2012年各项水质监测指标均能
12、够满足地表水环境质量标准（GB3838-2002）类水质标准，长江武汉段水质情况良好。2.1.3 环境噪声根据现场监测，厂址周边昼间及夜间均能满足声环境质量标准（GB3096-2008）4a、3类标准要求。2.1.4 地下水根据现场实测，项目所在区域地下水环境质量各项指标中均能满足地下水质量标准（GB/T14848-93）中“类标准”。2.2 主要环境保护目标项目建于武汉东湖新技术开发区东二产业园内。地块东侧为在建的园区支路，路宽约30m，隔路对面为湖北科益药业股份有限公司；南侧隔50m绿化带为三环线，绿化带间建有一座加油站，道路路宽约40m，隔路对面为武汉工程大学流芳校区；西侧紧邻金成家具生
13、产基地；北侧紧邻黄龙山南路，道路路宽约15m，道路对面由西向东依次为中冶连铸技术工程公司、科锐电气公司和武汉通达轻钢结构公司。项目所在地图2 项目周边环境现状以及大气环境影响评价范围示意图3 环境影响分析3.1 环境空气影响分析采用SCREEN 3模式预测，正常工况条件下，氟化物小时值落地浓度叠加背景值后能够满足环境空气质量标准（GB3095-2012）附录A表A.1标准要求；硫酸雾、氯化氢、氨、氯等叠加背景值后，均能满足工业企业设计卫生标准（TJ36-79）表1“居住区大气中有害物质的最高容许浓度”。项目设有POU废气处理（燃烧）一旦发生故障，生产设备将自动关闭，对周边环境无影响。3.2 地
14、表水环境影响分析生产废水主要包括包括酸碱废水、含氟废水以及有机废水，项目在车间一楼设有生产废水处理装置，设有含氟废水处理单元，采用化学沉淀法处理，废水经处理后与其他废水一同进入生产废水处理站进行处理，污水处理站采用接触氧化法处理达到污水综合排放标准（GB8978-1996）表4三级标准后与厂区其他生活污水一同纳入城市污水管网。最终汇入汤逊湖污水处理厂二级处理后排入长江。3.3 运营期声环境影响分析根据实测，厂界贡献值满足工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）3类标准的要求。3.4 固体废物影响分析项目新增危险废物交由具有资质的单位安全处置，一般废物交由物资部门回收利用，生活垃圾由当地市政环卫部门清运填埋。只要严格管理，并进行安全处置，本项目产生的固体废物将不会对生态环境和人体健康产生危害。3.5 环境风险影响分析经重大危险源辨识及加权计算，本项目涉及的化学品不构成重大危险源。本工程诸多易燃、易爆物质中氯气、硅烷、磷烷、氢气等属重点考虑和防范对象，风险类型主要为火灾爆炸以及泄露。在采取防护措施后，其环境风险可控。当出现事故时，要采取紧急的工程应急措施，
