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1、高速0201组装工艺和特性化摘要本文论述了超小印脚、表面组装分立元件的高速组装，特别是0201无源元件的组装。发展趋势说明每年贴装的无源元件的数量快速上升，而元件尺寸却在稳定地下降。为此，急需一种特性化的组装和超小无源元件的装联工艺。为开发研制高速0201组装的初始工艺特征，尤其是工艺的局限性和变量，在这项工作中对每一工艺步骤都进行了详尽的研究。开发的工艺步骤有模板印刷、元件贴装和再流焊接。还对工艺参数进行了研究，如象；脱膏速度、模板清理频率、基准类型和再流参数。绪言显然，在过去的几年中，随着人们使用的便携式电话、寻呼机和个人辅助用品数量的急剧上升，使得消费类电子工业火爆发展。在更小、更快、成
2、本更低需求的推动下，对小型化技术研究的必要性也成为无止境的需求。多数移动式电话制造厂家现在已将0201无源元件用于其所有的最新设计中，而且在不远的将来，其它工业领域也将采用这种技术。汽车制造工业的无线通讯产品也在将0201技术应用于GPS系统、传感器和通讯设备中。医疗行业也利用0201尺寸小的优点，将其应用于医疗器械中，如象；助听器和心脏起博器。许多公司将0201技术用于多芯片模块（MCM）中，以降低总的封装尺寸。使用这种MCM器件，通过直接用裸芯片进行封装，用于2级板组装上的封装体模压，使得0201技术距半导体工业更近了。还需要做更多的研究来认证焊盘设计、印刷、贴装和再流工艺窗口，以便使02
3、01无源元件在全面的推广应用之前，能够实现较高的一次合格率及高产量。实验规划主要采用了三套实验方案。这三套方法主要是相对于焊膏印刷、元件贴装和元件再流。为了了解每种工艺步骤对0201组装工艺的影响，分别对每种组装工艺进行了检验。对于工艺顺序，只对研究中的工艺变量进行了更改，而对其它工艺参数没有作任何更改。测试载体设计的载体应能给出下列数据：10201-0201间距效果。焊盘边缘到焊盘边缘的变化取决于4、5、6、8、10和12mil这几个间距尺寸。在某些领域的应用中，芯片边缘到芯片边缘密度比4mil焊盘边缘到焊盘边缘的间距还高。可将其用于确定芯片间距和焊盘间距的可接收性。2焊盘尺寸的作用。标称的
4、焊盘尺寸是一个1213mil的长方形焊盘，中心到中心的间距为22mil。标称尺寸将会有10%、20%和30%的变化。在整个板子上，焊盘尺寸将随着元件到元件间距变化而变化。3芯片定向：在A、B、C和D单元中，对0和90的芯片方向进行研究。在单元E和F可使你观察到5角对0201组装工艺的影响。41-6单元研究的是各种无源元件尺寸（0402、0603、0805、1206）到0201之间的相互作用。用这些组件来确定0201元件对其它较大无源元件的大至影响，即在印刷、贴装和再流（散热）方面的影响。本文中叙述的间距是边缘到边缘的间距在4、5、6、8、10和12mil范围内的变化。此外，0201焊盘尺寸在这
5、6个单元上的变化，说明了随着焊盘尺寸变化的相互作用。图1所示是测试载体，其中有6552个0201元件、420个 0402元件、 252个 0603元件和252个1206元件，总计7728个无源元件。基板是标准的FR4环氧树脂板，厚度为1.57mm。印迹是由铜、化学镀镍和浸金的金属化工艺制成的。 图1 略 图1 测试载体设备规划所有的测试板都是使用同一台组装设备组装的。使用MPM Ultraprint 3000印刷机实施了模板印刷。所有的元件都是用西门子的HS-50贴装机进行贴装的。使用BTU International Paragon 98N再流焊接设备进行再流焊接。通过主模板印刷审查DOE的
6、实验规划为了体现0201无源元件的印刷特性，而开发了一种实验设计（DOE）以便观察印刷工艺中的几个系数。在丝网印刷DOE中需要检验的变量有焊膏目、刮刀类型、模板分离速度和焊膏在几次印刷之间在模板上的滞留时间。这种DOE是为确定这些系数是否会影响到0201无源元件的印刷工艺而设计的。每个系数的变化在表1中列出。最初，是在丝网印刷中对基准类型进行检查。然而，由于印刷机不可能精确地视查到掩膜规定的基准座标，所以，这个变量就被删除了，只使用了金属规定的基准座标。焊料掩膜上的十字形的基准座标在模板上看似一个极大的圆形，其相对于焊料掩膜底部开口的金属。在这个大圆与较小的十字形对齐过程中，导致了模板和板子之
7、间出现了对齐偏移。 表1 丝网印刷DOE的变量系数变量#1变量#2焊膏类型类型类型刮刀类型金属聚合物分离速度0.05cm/sec0.13cm/sec焊膏滞留时间30秒10秒本项研究中使用的四个变量是在需要8组不同实验的DOE中确定的。对于印刷缺陷的数量和测量的高度数据使用的是公制度量单位。测试结果是基于95%及以上的可靠区间 来确定统计的有效系数。印刷缺陷被定义为在印刷后没有涂上焊膏及焊膏桥接这样的键合焊盘。表2中列出的系数是在检验印刷的实验中保持不变的常数。选用125micro（5mil）的模板，100%的孔径比作为第二次、更进一步研究中所需的值范围的两个中心值。根据印刷机制造厂家推荐使用的
8、参数设置模板印刷机的参数，并使用其推荐值的中间值范围。 表2 在丝网印刷DOE过程中保持不变的常数因素参数设置模板厚度125m孔径比100%模板制造方法激光切割和电抛光焊膏化学成分免清洗刮板长度30.48cm印刷力度5.4kg印刷速度5.08cm/sec清理频率每次印刷后刮板抬起高度2.54cm审查主要印刷DOE的结果表3所列是根据实验设计（DOE）实施的一系列实验。这些实验只是为检验主要效果而设计的。每种实验都使用了10种复制品实施的。在数据搜集中没有使用前5种复制品，不过，前5种复制品对使焊膏起到充分的作用和确保印刷工艺的稳定起到了一定的作用。 表3 检验模板印刷的DOE 测试#焊膏类型刮
9、刀类型焊膏停滞时间脱膏速度1类型金属30秒0.05cm/sec2类型金属10分0.13cm/sec3类型聚合物30秒0.05cm/sec4类型聚合物10分钟0.13cm/sec5类型金属10分钟0.05cm/sec6类型金属30秒0.13cm/sec7类型聚合物30秒0.05cm/sec8类型聚合物10分钟0.13cm/sec在评估每种实验条件时使用了三种公制单位。第一种公制度量单位是平均焊膏印刷高度。使用一台用每个象限的四个测量值的激光轮廓测定器测得的每块板的四个象限的16测量值。这样在每次实验中就产生80个高度值。可测得板子两个边缘及板子中心的值。焊膏高度的标准偏差作为第二个公制单位。第三
10、个公制单位是缺陷的总数量。在8次实验中获得的平均高度和高度标准偏差数据见图2所示。 图2 略 图2 模板丝网印刷DOE的印刷高度结果，单位为micro使用的第三个公制单位是缺陷的总数量。对选择的1-6电极和A-D中的区域实施光学检验，并将缺陷的总数记录下来。对有桥接的焊盘和漏涂焊膏的焊盘也应视为缺陷。图3所示是缺陷数据的汇总。 图3 略 图3 模板丝网印刷缺陷结果，缺陷数量/DOE根据这些公制单位及使用95%的可靠区间，统计的唯一主要有效影响是刮刀类型。主要影响曲线见图4所示。焊膏类型、分离速度和焊膏滞留时间的可靠区间在85%以下。 图4 略 图4 丝网DOE的主要影响曲线分离速度和清理频率的
11、分析为检查分离速度和清理频率的影响而实施了第二个小型实验。因为模板清洗对产量有影响，所以模板清理频率是一个重要的参数。由于模板的清洗明显地增加了模板印刷机的循环时间，所以，在生产中如果有可能的话，应取消这一工艺步骤。进行这一实验是为了确定模板清洗是否是0201工艺获得良好印刷必不可少的一步。在这一实验中还对分离速度进行了研究，因为在第一步的DOE中已将其取消，没有使用这个有效系数，其它方面的论证已获得了满意的效果。采用的分离速度分别为0.05cm/sec和0.13cm/sec。对于这两个分离速度的实验，都是使用类型焊膏，使用的刮板是金属刮板，没有停滞时间。在每个实验中都使用了5种复制品，在第一
12、次印刷中，是将焊膏施加到5块模拟板。两次实验获得的结果列在表4和表5中，正象第9和10次实验那样。从第一个DOE获得的第5和6次实验也是使用类型焊膏和金属刮板，并与第9和10次实验进行了对比。 表4 焊膏高度数据，以micro为单位实验#分离高度清洗频率平均值标准偏差50.05cm/sec每次印刷后149.9713.4560.13cm/sec每次印刷后149.3620.2090.05cm/sec不清洗145.7715.41100.13cm/sec不清洗136.4515.19 表5 每次实验的缺陷数量实验#缺陷数量515643923610238根据上述结果，唯一的主要影响是模板清洗频率。主要影响
13、曲线见图5所示。 图5 略 图5模板清洗频率和分离速度实验的主要影响曲线为了将电成型模板与激光切割模板进行比较，还做了另一项实验。如表6所列，在这项实验中使用了相同的印刷机参数、相同的焊膏和孔开口。使用的两个公制单位是焊膏的平均高度和焊膏高度的标准偏差。实验结果归纳在表7中。 表6 用于模板制造方法测试中的参数设置系数设置的参数模板厚度125m孔径比100%焊膏成分免清洗焊膏目类型焊膏停滞时间30秒分离速度0.13cm/sec刮板类型金属 表7 焊膏高度数据，单位：micro模板类型平均焊膏高度标准偏差激光切割149.3620.20电铸成型124.1412.67 实验结果说明使用电铸成型的模板，印刷的焊膏更为均匀，而且印刷的焊膏高度接近于模板的厚度。通过贴装审查DOE的实验规划为确定基准座标的数量、基准形状和基准定义方法是否影响到元件的贴装而进行了两个实验。第一个实验只检查用于贴装工序中的球形基准座标的数量。第二实验是丝网DOE检查基准定义方法和基准形状。每个系数的变化列在表8中。最初，应在审查中对贴装力度进行检验。然而，当初次进行检测时，由于贴装精度的基准座标数量和基准定义的作用，所以，不能够确定贴装力度的作用。由于这个原因，贴装力度常数保持不变，应在其它实验中对贴装力度进行检验。 表8 贴装丝网DOE的变量系数变量#1变量#2基准座标数量23基准形状圆形十字形基准定义方法掩
