传感器技术及应用 教学课件 ppt 作者 陈文涛 第七章 霍尔传感器课件

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1、,第7章 霍尔传感器,7.1 霍尔传感器工作原理 7.1.1 霍尔效应 7.1.2 基本原理 7.1.3 霍尔元件的基本结构及特性参数 7.1.4 基本误差及其补偿 7.2 霍尔元件的结构和基本电路 7.2.1 开关型霍尔集成电路 7.2.2 线性型霍尔集成电路 7.3 霍尔式传感器的应用,下一页,7.1 霍尔传感器工作原理,半导体薄片置于磁场中,当它的电流方向与磁场方向不一致时,半导体薄片上平行于电流和磁场方向的两个面之间产生电动势,这种现象称霍尔效应。 产生的电动势称霍尔电势 半导体薄片称霍尔元件,上一页,下一页,返 回,7.1.1 霍尔效应,上一页,下一页,返 回,7.1.2 工作原理,

2、上一页,下一页,返 回,载流子受洛仑兹力,载流子受电场力,平衡状态,又因为,得,霍尔电势,电子运动平均速度,霍尔常数,霍尔常数,最佳的霍尔传感器的材料只有半导体材料 金属导体的载流子迁移率很大,但其电阻率低 绝缘体的电阻率很高,但其载流子迁移率低 霍尔电势与导体厚度d成反比: 为了提高霍尔电势值, 霍尔元件制成薄片形状。,霍尔元件灵敏度(灵敏系数),半导体中电子迁移率(电子定向运动平均速度)比空穴迁移率高, 因此N型半导体较适合于制造灵敏度高的霍尔元件,,上一页,下一页,返 回,得,7.1.3 霍尔元件的结构和特性参数,霍尔元件,上一页,下一页,返 回,(a) 外形 (b) 结构 (c) 符号

3、,它由霍尔片、四根引线和壳体组成 霍尔片是矩形半导体单晶薄片 在元件的长度方向的两个端面上焊有a、b两根控制电流端引线,通常用红色导线,其焊接处称为控制电流极(或称激励电极); 在元件的另两侧端面的中间以点的形式对称的焊接c、d两根霍尔端输出引线,通常用绿色导线,其焊接处称为霍尔电极 霍尔元件的壳体采用非导磁金属、陶瓷或环氧树脂封装。,当磁场和环境温度一定时: 霍尔电势与控制电流I成正比 当控制电流和环境温度一定时: 霍尔电势与磁场的磁感应强度B成正比 当环境温度一定时: 输出的霍尔电势与I和B的乘积成正比 测量以上电阻时,应在没有外磁场和室温变化的条件下进行。,上一页,下一页,返 回,霍尔元

4、件的主要特性参数:,(1) 输入电阻和输出电阻 输入电阻:控制电极间的电阻 输出电阻:霍尔电极之间的电阻 (2) 额定控制电流和最大允许控制电流 额定控制电流:当霍尔元件有控制电流使其本身在 空气中产生10温升时,对应的控制电流值 最大允许控制电流:以元件允许的最大温升限制所对 应的控制电流值,上一页,下一页,返 回,(3) 不等位电势Uo和不等位电阻ro,不等位电势:当霍尔元件的控制电流为额定值时,若元件所处位置的磁感应强度为零,测得的空载霍尔电势。 不等位电势是由霍尔电极2和之间的电阻决定的, r 0称不等位电阻,上一页,下一页,返 回,(4)灵敏度 元件在单位磁感应强度和单位控制电流下所

5、得到的开路霍尔电压,又称霍尔乘积灵敏度。 (5)霍尔电势温度系数 在一定的磁感应强度和控制电流的条件下,环境温度每变化1时,霍尔电势变化的百分率 (6)电阻温度系数 温度每变化1时霍尔元件材料的电阻变化的百分率。,上一页,下一页,返 回,7.1.4 霍尔元件误差及补偿,1. 不等位电势误差的补偿 2. 温度误差及其补偿,上一页,下一页,返 回,1. 不等位电势误差的补偿,可以把霍尔元件视为一个四臂电阻电桥,不等位电势就相当于电桥的初始不平衡输出电压。,上一页,下一页,返 回,电势的补偿电路,(a)图是不对称补偿电路 结构简单易调整,但工作温度变化后原补偿关系遭到破坏 (b)(c)(d)图是对称

6、电路 在温度变化时补偿的稳定性要好些,但这种电路减小了霍尔元件的输入电阻,增大了输入功率,降低了霍尔电势的输出,上一页,下一页,返 回,(a) (b) (c) (d),2. 温度误差及其补偿,温度误差产生原因: 霍尔元件的基片是半导体材料,因而对温度的变化很敏感。其载流子浓度和载流子迁移率、电阻率和霍尔系数都是温度的函数。 当温度变化时,霍尔元件的一些特性参数,如霍尔电势、输入电阻和输出电阻等都要发生变化,从而使霍尔式传感器产生温度误差。,上一页,下一页,返 回,减小霍尔元件的温度误差,采用恒流源提供控制电流 采用热敏元件 合理选择负载电阻 采用桥路温度补偿电路,上一页,下一页,返 回,采用恒

7、流源提供控制电流,霍尔元件的灵敏系数也是温度的函数,它随温度的变化引起霍尔电势的变化,霍尔元件的灵敏系数及输入电阻与温度的关系,为温度T0时的KH值; 为霍尔电势的温度系数。 为霍尔元件输入电阻的温度系数,上一页,下一页,返 回,温度为T0时 温度为T时 要使霍尔电势不随温度变化 得,所以,采用热敏元件,上一页,下一页,返 回,在输入回路进行补偿,在输出回路进行补偿,上一页,下一页,返 回,此法适用于温度系数较大的半导体材料制成的霍尔元件( 如锑化铟),是热敏元件,在安装测量电路时,热敏元件最好和霍尔元件封装在一起或尽量靠近,以使二者的温度变化一致,合理选择负载电阻,负载上的电压,要使负载上电

8、压不随温度变化,则应满足,上一页,下一页,返 回,得到,只要使负载电阻满足上式,就可在输出回路实现对温度误差的补偿了,采用桥路温度补偿电路,7.2 霍尔集成电路,7.2.1 开关型霍尔集成电路 7.2.2 线性型霍尔集成电路,7.2.1 开关型霍尔集成电路,霍尔元件的输出经过处理后输出一个高电平或低电平的数字信号 将霍尔元件、稳压电路、差分放大器、施密特触发器(具有回差特性)、OC门(集电极开路输出门)等电路做在同一个芯片上,输出只有低电平和高电平两种状态,开关型霍尔集成电路的工作特性曲线,双稳态型霍尔集成电路的工作特性曲线,7.2.2 线性型霍尔集成电路,电路通常由霍尔元件、差分放大、射极跟

9、随输出及稳压电路四部分组成 当外加磁场时,霍尔元件产生与磁场成线性比例变化的霍尔电压,再经放大器放大后输出 线性型霍尔集成电路有单端输出和双端输出(差动输出)两种,7.3 霍尔式传感器的应用,优点: 结构简单,体积小,重量轻,频带宽,动态特性好和寿命长 应用: 电磁测量:测量恒定的或交变的磁感应强度、有功功率、无功功率、相位、电能等参数; 自动检测系统:多用于位移、压力的测量。,上一页,下一页,返 回,7.3.1 霍尔式位移传感器,测量原理: 霍尔电势与磁感应强度成正比,若磁感应强度是位置的函数,则霍尔电势的大小就可以用来反映霍尔元件的位置。,上一页,下一页,返 回,上一页,下一页,返 回,霍

10、尔电压与位移量x成线性关系,其输出电压的极性反映了元件位移的方向,磁场梯度越大,灵敏度越高,磁场梯度越均匀,输出线性度就越好,7.3.2 霍尔式电流传感器,电流母线通电后,磁力线就集中通过铁心中的霍尔片,霍尔片就输出与被测电流成正比的输出电压或电流。,电流母线 磁铁 霍尔片,7.3.3 霍尔式压力传感器,上一页,下一页,返 回,7.3.4 霍尔式转速传感器,上一页,下一页,返 回,1磁铁 2霍尔元件 3齿盘,1输入轴 2转盘 3小磁铁 4霍尔传感器,几种霍尔式转速传感器的结构,7.3.4 霍尔式功率传感器,负载所取电流流过铁芯线圈以产生交变磁感应强度,电源电压经过降压电阻得到的交流电流流过霍尔器件,则霍尔器件输出电压便与电功率成正比,

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