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1、特殊氣體管路暨高潔淨度管路,施 工 規 範,2,目 錄,1、無塵室作業安全規範P 3 2、piping installation 管路架設P 8 3、彎管作業規範P 17 4、熔接規範P 24 5、測試規範P 28 6、工安規範P 36 7、監工人員工地監工準則P 39,3,無 塵 室 作 業 安 全 規 範,1、一般清潔區工作條件(廠務機房) （1）進入工作區前，鞋子必須清理乾淨。 （2）最好每天擦拭有類似金屬碎屑等東西的地方。 （3）有規則的存放材料。 （4）禁止於工作區內吸煙、吃東西、喝飲料。 （5）所有工作區必須有垃圾筒，收集廢料等東西。 （6）材料人員進出必須清潔一次。 （7）所有人
2、員及設備每週必須清潔一次。 （8）產生污染的工作必須個隔離。(噴漆、磨砂輪機等) 2、非常乾淨區工作條件(潔淨室地下回風區) （1）必須換穿專用的鞋子或鞋套。 （2）使用真空吸塵器清除髒東西。 （3）有規則的存放材料。,4,（4）禁止於工作區內吸煙、吃東西、喝飲料。 （5）所有使用過的材料、殘餘剩料等必須每日清除。 （6）所有工作區內必須有密封式垃圾筒，收集廢料等東西。 （7）材料人員進出必須管制。 （8）所有人員及設備每週必須清潔一次。 （9）產生污染的工作必須隔離(如噴漆、磨砂輪機等)。 （10）進出工作區內的全部材料必須清理乾淨，才可進入。 （11）所有工作區必須換穿乾淨工作服。 （12
3、）工作區的管線設備禁止勾攀、踐踏、吊掛東西。 3、絕對乾淨區工作條件(潔淨室生產區) （1）必須換穿無塵專用的鞋子或鞋套。 （2）使用中央系統真空或特別過濾裝置的手提真空吸塵器清除作業時產生的 金屬等粉屑。 （3）有規則的存放使用材料。 （4）禁止於工作區內吸煙、吃東西、喝飲料。 （5）所有使用過的材料、殘餘剩料等必須每日清除。,5,（6）所工作區內須有密封式垃圾筒，收集廢料東西。 （7）材料人員進出必須管制。 （8）所有工作人員及業主人員每日必須清潔乾淨。 （9）產生污染的工作必須於進入無塵室前完成。 （10）進入工作區內的全部材料和工具必須用水清洗乾淨，才可進入。 （11）除入無塵室應換穿
4、無塵依及尼龍手套外，餘均應穿著乾淨之工作服。 （12）禁止木質或瓦愣紙材料所做的紙箱進入無塵室。 （13）禁止觸碰任何液體和你不知道的任何器物。 （14）含有油品的工具禁止攜入。 4、清淨室施工安全規則 （1）指定專人辦理安全事宜。 （2）勿雇用童工。 （3）工作區域內禁止抽煙。 （4）必須準備安全眼鏡。 （5）在清潔室須戴安全帽，特別是有震動時。 （6）任何時間內，均不得堵塞通道及出入口。,6,（7）在工作區域工作，必須保持乾淨；如有產生垃圾，必須隨時準備垃圾 袋，於每日收工時攜出清淨室。 （8）如有意外發生，須立刻告知監工。 （9）特殊危險工作區，須有安全圍籬及警告標誌。 （10）地板開口
5、處，須有安全圍籬及警告標誌，以防止人員掉入。 （11）須備有滅火器以防火災。 （12）滅火器僅可使用泡沫滅火器，不可使用乾粉滅火器。 （13）工作架在超出地面2M以上時，須使用鷹架，人員須繫安全帶(索)。 （14）鷹架、樓梯及工具，須保持良好狀況。 （15）在超出地面2M以上時，工具須放置工具袋(箱)內。 （16）同時有兩組人員在不同高度工作時，須有良好之連繫。 （17）在工作區域工作，必須保持乾淨；如有產生垃圾，必須隨時準備垃圾 袋，於每日收工時攜出清淨室。 （18）如有意外發生，須立刻告知監工。 （19）特殊危險工作區，須有安全圍籬及警告標誌。 （20）地板開口處，須有安全圍籬及警告標誌，
6、以防止人員掉入。,7,（21）須備有滅火器以防火災。 （22）滅火器僅可使用泡沫滅火器，不可使用乾粉滅火器。 （23）工作架在超出地面2M以上時，須使用鷹架，人員須繫安全帶(索)。 （24）鷹架、樓梯及工具，須保持良好狀況。 （25）在超出地面2M以上時，工具須放置工具袋(箱)內。 （26）同時有兩組人員在不同高度工作時，須有良好之連繫。 （27）易燃物品如無人照料，不可置放於工作區域內。 （28）化學物品如有洩漏，必須馬上處理。 （29）易燃物品須放置於有蓋容器內。 （30）任何閥、開關插座、電源插座，不可隨意開、關、拔除(機台管線)。 （31）任何配管配線、材料，非經過監工人員同意，不可擅
7、自任意更改。,8,Piping installation管路架設,在無塵室或簡易潔淨室執行高潔淨度配管工作時，必須遵循下列的規定。 1、現場工作規定 攜入 材料必須置於特定的貯藏間，在工地現場或在材料間要提供暫時性的簡易潔淨室，所有材料要存放整齊。在存放材料時，有電子拋光的管件必須和未經電子拋光的管件分開。在尚未使用管件之前都不要將塑膠封套打開直到現埸要使用時方可打開，並且不要將材料直接放在地上。 切管 切管時，使用的自動切割機或手動切管器必須是專門為半導體廠工作所設計的。切管器的刀片與管件成垂直方向，當使用自動切割機時，放刀片的深度要能使管壁尚有薄薄的一層未切斷，藉以防止切割時的碎屑進入管內
8、。,9, 倒角 原則上，在使用倒角機(TUBE SIZE用)或銼刀(PIPE SIZE用)時，小心地 移開切割面。如果切割面歪斜未成垂直，焊口鬆或管子彎曲等狀況發生時， 這種管路是不合規定，必須重新切割及配置。當倒角時，在管的另一端 必須用高潔淨度的氮氣沖吹(氮氣要經0.02um的過濾器過濾)。 N2沖吹 將管內的微粒沖吹出來。 工作後的清潔 檢視切割機的潔淨度，保持機具不受油污，如果仍然看得見有油污或切割的 碎屑殘餘，按照下列的方法清潔之。 用GN2沖吹 使用的N2必須經-80或更低的露點，經0.02um的過濾器乾燥。 預製工作(在簡易潔淨室clean booth) 在現場的焊接工作降至最低
9、量是必需的。配管區必須在有潔淨氣的地方， 在工作時維持風扇正常運轉，於早、中、晚用CO2檢視器檢查CO2的濃度。,10, 點焊 點焊使用TIG焊接，點焊的點數按照下列規定。 (CAJON的焊機必需保証管子確實牢固，從完成的觀點來看，最好不要使用 手動的TIG焊接，因此點焊被省略)。 3/4” 到15A到80A：34點。 沖吹氣體(Back seal gas) 使用氬氣，露點-80或更低，氧含量在0.1ppm以下，微粒(0.1um以上)含量 為零。 沖吹用管套 連接沖吹氣體管路與架設管路，使用(Back seal jig) 如圖(一)所示,圖(一) (參考用),11, 架設程序(圖二) 將工作管
10、路兩端套上管套，連接沖吹氣體及閥 。,圖(二),12, 裝封(在Clean booth內進行) 完成焊接之後，在管內充滿Ar氣，而且用無塵的塑膠紙在末端包裹兩層。 如果末端的閥已經連接好了，把閥也用塑膠紙裹起來。 2、現場施工 現埸焊接的人員必須有受過高潔淨度配管技術檢定通過。 焊接工作,13, 原封至現埸。 先拆卸一端封套，並連接Back seal gas。 拆卸要焊接端封套，並沖吹乾淨。 連接後將一端之Back seal gas拆掉使成出氣端，並開始 焊接。 管路維持條件 即使焊接結束，也要維持小量的N2或Ar在管內沖吹以防止空氣流入管內。 無論如何也要想辦法把管內的空氣及微粒弄出來，如果
11、無法繼續沖吹。 焊機電源 供給電源的電壓的變動，對於管路焊接的品質影響甚巨。使用自動焊接機的電源必需使用特定的整流器。容許的電壓波動AC 100V10%，AC 200V10%，在焊接進行時電壓警報器一直監視著電壓，如果電壓超過可容許的範圍時，警報器就會發出聲音。 3、其他注意事項 下述的工作是在架設高潔淨度的管路時必需要執行的。,14, 控制氬氣沖吹 用壓力計或液位計察看尚餘有多少氬氣。 看流量計的刻度檢查沖吹氣體的容量。 使用採樣品閥從鋼瓶或氣體來源收集氬氣，測量氬氣純度確定露點是在 -80以下，殘餘氧氣低於0.1ppm，微粒含量為0 (0.1um以上的微粒)。 在工作處測量架設管路末端的氬
12、氣純度，確定露點在-70以下殘餘氧氣 低於2ppm，測量地點必須在監工及焊接都同意的地方。 前4項規定的工作前在每天開始工作由監工或工作人員執行以控制品質符 合要求。 若氣體容量未達標準，通知監工，暫停工作，但是沖吹必須持續進行， 或使用預留的LN2，當要使用預留LN2時，必定要做分析供給氣體純度的 工作。 簡易潔淨室(Clean booth)的潔淨度的控制 在Clean booth內測量焊接處的微粒數量(0.1um以上)不能超過100個/c.f， class 10000是用作貯藏用，class 1000是組裝用。 在正常使用中測量微粒的工作一天至少進行1次。,15, 潔淨衣物的管制 在Cle
13、an booth內使用的潔淨衣、潔淨鞋、潔淨手套及其他設備必需在使 用前檢查其潔淨度。 使用的潔淨衣物等，必需一個星期清洗一次，不論有否弄髒。 潔淨室 依據潔淨室人員管制規定的管制細則，所有的工作人員皆需致力於工作在一個高潔淨空氣環境中。 焊接狀況的檢查(由個人或監工) 當自動焊接機的工作條件改變時，必須確定焊接數據與工作條件一致。 鎢棒的保養及管制 要時時注意鎢棒是否變形。 磨鎢棒的工作必須是由監工認可之專業人員使用特定的設備來執行。 樣品製作及焊接條件的檢查(焊接者或監工) 每日早上在上工前要製作數個同樣大小的樣品。 監工切開樣品，檢查管內部焊接情況，用目視確定焊接的地方沒有不規 則的孔、
14、裂縫、氣孔或沒有完全焊透等缺點存在。,16, 若有焊接缺陷發現時，檢查焊接條件、更換鎢棒、檢查沖吹氣體純度、 品質及沖吹的方法，直到結果令人滿意，方可進行配管工作。 樣品及焊接數據必須同時保存。 4、要求 機器攜入及架設 從側邊帶入機器要在事先申請同意路線，並且使用的拖車放在特定的地 方。 在水泥地板上使用鐵錨類之固定機器。 經縱、橫的方向確定無誤後，固定機器。 機器必須在地板的防塵油漆塗上之前裝上。 管路標記 至少每5M要有標簽貼在管路上，標明 氣體名稱 流向 號碼 開/關顯示 除了球閥外，所有的閥都要有開/關的標示。,17,彎 管 作 業 規 範,1、說明 本項說明Gas System作成
15、時，如何使用手工具PIPE BENDER來進行彎曲作業。 主要對象 SUS 316 BA管，外徑1/4” (6.53)使用工具R1 NO.394 LEVER型TUBEBENDER 。 2、.配管圖看法與管長之決定 配管圖尺寸是表示配管中心之尺寸或中心配管末端之長之謂。,18,通常在配管分岐點實施熔接很多，茲以下圖表示之。,至中心點之長度約 +3 mm (1/4” OD)(則3.15 mm -3mm)約 +5 mm (3/8” OD),19,使用TUBE BENDER 來加以彎曲之中心點大約彎曲15R與直角彎曲比較，配管全長變短，亦即圖面上所配尺寸相加長度比實際配管長度長。,20,180度彎曲(R彎曲),每一彎曲，其SET BACK為14.6 mm 其計算如下：,管長=(50+30+90+120)-14.6-6.4=269 mm 1/4” OD 又3/8”時R彎曲Set Back為23.6 mm 依上圖原理可得 (50+30+90+120)-23.6-10.5=255.9 mm 3/8” OD,21,075度範圍角度彎苗，其Set Back為0 例如:,其管長=(50+53.94+40)-6.4=137.5 其長度差即所謂Set Back ，在1/4” OD配管，每一彎曲可短小6.4 mm (6.35mm)下面有1/4” 、3/8” 各種埸合之Set Back之表
