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1、透射电子显微镜(TransmissionElectronMicroscape,简称TFM),可以看刹在兆学显征镜下无法看清的小子0.2un的绍微结构,这些结构称为显微结构或超微结构。要想看清这些结构,就必须选择波长更短的光源,以提高显微镜的分辨率。1932年Ruska发明了以电子束为光源的透射电子显微镜,电孔束的波长要比可见光和紫外光短得多,幸丁电子束的波长与发射电子束的电压平方根成反比,也就是说电压越高波长越短。目前TEM的分辨力可达0.2nm。电子与固体作用时激发的信息电子与固体作用时激发的信息投影镛照相室(底片或数字暗室由电子枪发射高能、高速电子束;粟焦后透的结构和最终激发射薄膜或成分信
2、息荧光屏显粉末样品;经过物镜示放大图中阆镜和像;投影镜的透射电子显微镜工作原理专用广片/数字暄室记录带有内部结构信息的高分辨图像;透射电子显徽镜结构医E照明砂统:田电子忻、聚光活、联光镍光阆等成.作用:产生-来亮广高、相万性好、李沈宝的电子束.物镜:直拳影响堡系统成僧质量电源控制系统中间镑:调节敬个系统皋政大信数进行吴佳报作街继&影镐:将中吾锋形或的佩进放大,并&8英光居.记录系统:申英光居秀陆标机组成真空系统真宇泵、阀门、气体随离室“透射电子显徽镜的图像衬度怀一(匹衬座是两相点间的明啶差异,娴异趣大,衬度就愈高,图像就愈明晰。二巳口A阜芬Iu、I2分别表示两相点的成像电子的强度。衬度源于样品
3、对入射电子的散射,当电子李穿透样品后,其振幅和相位均发生了变化。因此,电子显微图像的衬度可分为振幅衬度和捍筐茎萱插琶两种衬度对同一幅图像的形成均有贡献只是其中一由于试样中各处的原子种类不吟或压度、密度差异所造成的衬度.由满足布拉格衍射条件的程度不同造成的。高质厚处,即该处的原子序数或试样厚度较其他处高,由于高序数原子对电子的散射能力强于低序数的原子,成像时电子被散射出光闸的几率就大,参与成像的电子强度就低,与其他处相比,该处的图像就暗;同理,试样厚处对电子的吸收相对较多,参与成像的电子就少,导致该处的国像就暗。非明签质厚衬度成像-需要注意的是,质厚衬度取决于试样不同区域参与成像的电子强度的差异,而不是成像的电子强度,对相同试样,提高电子枪的加速电压,电子束的强度提高,试样各处参与成像的电子强度同步增加,质厚吏妻不变-仅当质厚变化时,质厚衬度才心。质厚衬度示意图
