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1、1PQA Monitor组工作手册离子风机测试操作指南MS Wang 10/05/2004PQA Monitor/PQA /MPIE/DGN22一、工作概述离子风机和BAR 是生产过程中消除静电的重要工具和设备之一.但由于离子风机本身结构设计上的局限,DC 和AC 类型的离子风机和BAR存在离子发射针氧化的问题,导致正负离子数量不等,从而在其覆盖区域内产生了静电荷的积累,对产品优率产生不利影响.为了保证所有的离子风机和BAR正常运行,就需要借助监控仪器CPM(Charged Plate Monitor)来测试它的性能.目前,我们主要测试它的两个性能参数: 平衡电压和衰减时间即B-V(Balan
2、ce Voltage) ,D-T(Decay Time).二、测试仪器设备及使用方法 1.仪器设备名称：CPM-156A /1572. 仪器设备配件：CPM 机身、电荷平板、接地导线、配套电线、充电器等.3. 测试仪器设备介绍(以CPM-156A为例)：3.1仪器简介The Trek Model 156A Charged-Plate 测试系统可在任何环境中提供定量准确的离子测试结果。它使用一种新的charged-plate测试设计，利用一个高电阻和高电压跟随器来检测离子收集板的平板电压。这种方法使测试容量独立于外部平板的外形尺寸，离子收集板的测试容量及尺寸都可根据测试的实际需要来设置。3.2仪
3、器面板3.2.1仪器前面板1) FULL CHARGE 显示灯：充电指示灯。 当电池充满后，该指示灯将点亮。充电完全的电池可以供仪器工作8小时。2) MODE Switch: 工作模式转换开关。仪器提供三种模式。 正延迟模式、负延迟模式和漂移模式。该转换开关与TEST/RESET 一起可以对仪器的起动电压和停止电压进行调节。33) LOW BATTERY 指示灯：电池低压报警指示灯当电池电量可供工作时间小于30min时，该指示灯将显亮。4) POWER Switch:电源开关。5) PLATE VOLTAGE Display: 平板电压显示屏将粒子收集器上的电压以数字的形式显示。6) DECA
4、Y TIME Display: 延迟时间显示屏显示粒子收集器电压从起动电压下降到停止电压的延迟时间。7) TEST/RESET Switch: 测试/设置按钮。当仪器工作模式处于正延迟或负延迟模式时，该按钮设置的平板电压比起动电压高。当仪器工作模式处于漂移模式时，平板电压为0V。3.2.2仪器后面板1) OFFSET ADJUST：偏移调节。出厂已调好，用户不能自行调节。2) CHARGER/SUPPLY Receptacle: 充电接口。3) GROUND Jack: 接地点4) OUTPUT MONITOR Connector: 带缓冲器的外部接口，它提供离子收集板的一个模拟的 低电压场。
5、这个模拟电场电压为平板电压的1/200。例如：如果平板电压为500V，那么OUTPUT MONITOR接口处的模拟电压为：500V*1/200V=2.5V5) ION COLLECTING PLATE Receptacle: 粒子收集器接口处。3.3仪器调节与操作3.3.1漂移模块操作在FLOAT横式时，156A监测平板上空气粒子之间的非平衡电压1、将粒子平板收集器放置于测试区。2、将仪器工作模式置于FLOAT模式下3、将按下TEST/RESET开关，平板电压为“0”。将TEST/RESET转换开头放开后，平板电压将产生漂移，直到等于空气粒子非平衡电压。3.3.2延迟模块操作在处于(+)或(-
6、)延迟模块时，156A显示粒子收集器从起动电压到程序设置的停止电压的放电延迟时间。1、将粒子平板收集器放置于测试区中2、将仪器测试模式置于(-)或(+)延迟模块下 当处于(+)延迟模块时，平板电压为+， 当处于(-)延迟模块时，平板电压为-。3、按下TSET/RESET 开关。粒子平板收集器上的电压将大于程序设置的起动电压。当平板电压达到程序所设起动电压，延时器开始工作。当平板电压达到程序所设停止电压时，延时器停止工作。3.3.3设置操作156A可工作在三种模式下：正延迟模式、负延迟模式和漂移模式。3.3.3.1起动电压设置：1、关掉仪器电源2、将MODE置于FLOAT模式下。3、按下并保持T
7、EST/RESET按钮。打开仪器电源。4、此时在PLATE VOLTAGE显示屏上将显示字符“S”(表示起动电压START)5、放开TEST/RESET按钮，在DECAY TIME显示屏上将显示此时的起动电压。6、将MODE置于正延迟模式下。起动电压将以每次1V的速度开始跳增。当MODE置于钠延迟模式下时，起动电压将以每次1V的速度开始跳降。当电压达到我们所需要的测试要求时，将MODE置于FLOAT模式下。4注意：起动电压不能超过1000V，也不能低于停止电压。3.3.3.2停止电压的设置：1、当起动电压设置好之后，按下TEST/RESET按钮，此时在PLATE VOLTAGE显示屏上将显示字
8、符“E”(表示停止电压END)2、松开TEST/RESET按钮，在DECAY TIME显示屏上将显示此时的停止电压。3、将MODE置于正延迟模式下。停止电压将以每次1V的速度开始跳增。当MODE置于钠延迟模式下时，停止电压将以每次1V的速度开始跳降。当电压达到我们所需要的测试要求时，将MODE置于FLOAT模式下。4、按下TEST/RESET按钮，在PLATE VOLTAGE显示屏上将显示字符“P”释放TEST/RESET按钮时，新设置的起动/停止电压将生效并被存贮在156A的内存模块中。3.4安全与维护3.4.1常见安全1) 严禁移去仪器顶盖，操作仪器。2) 本仪器仅适用于室内使用。3) 为
9、了避免电器损伤，严禁在潮湿的环境下使用本仪器。4) 不要在易燃易爆环境下使用本机，否则可能会引发爆炸5) 为了避免仪器过热，应保证仪器通风，严禁覆盖。6) 在电源开关打开或充电过程中，可能出现高压，严禁触摸测试平板和外部监视接口。7) 严禁使用非充电电池。3.3.2日常检查与维护1) 外部检查-指定专门的人员-进行仪器的外部检测如：凹痕，刻痕，划伤，破损等。 外部损伤可能会导致其它比较严重的对仪器本身的损害。-检查仪器联接口，如：有无松动-进行仪器检测时，请关掉电源开关。2) 电池循环充电维护156A提供一个可充电电池组。定期的冲放电(满充满放)对于延长可充电电池使用时间是必要的。-将充电插头
10、插入156A充电接口处-对156A进行充电，直至156A的“FULL CHARGE”显示灯点亮为止。-拔下充电器-打开156A电源，并保持至少12小时。-将充电插头插入156A充电接口处-直对156A的“FULL CHARGE”显示灯点亮为止。三、离子风机和BAR测试程序1.记录拉号,工序名称,离子风机和BAR的ID#以及型号2.关闭同一位置的其它离子风机和BAR,防止互相干扰.3.移走待测位置的货物,正确放置电荷平板.4.CPM地线接地.5.测试.6.如果测试数据超SPEC,仅对于DC类型5810的边测试边调整,直到B-V达标为止.然后重新测试,并记录调试好后的数据.7.测试完毕,重新正确启
11、动关闭的离子风机和BAR,并将货物归位.8.分别备注离子风机或BAR的以下几种状态:A. 调不OK.B. 不能调.5C. 亮红灯.9.对于B-V超过20V的挂上PQA专用的标识牌.四、离子风机&BAR的控制SPEC和测试频率(摘自EI-339)1.B-V 05V03V(alpha)2.D-T 3.0S6.0S(60cm)12.S(Ionizer BAR at 60cm)3.测试频率 DC为WeeklyAC和alpha为Monthly五、DATA处理1. 必须正确记录拉号,ID#.2. 原始数据必须真实有效。3. 输入电脑时要按照统一的格式。4. 数据输入电脑时，异常情况要正确标识。5. 数据输入要及时,不能超过一天。6. 超过SPEC的离子风机和BAR要同时输入文件,并及时反馈给相关部门.六、注意事项1 每天进工场测试前要先检查仪器是否完好.2 每天测试完毕要及时充电,给下一班次做好准备.3 测试时移开货物要小心,不要直接用手碰到产品.4 测试平板要尽量置于工作台面,并正对离子风机的窗口.5 测试时平板上部分不能碰到任何东西.6 当用CPM-157测试数据超SPEC时,选择BALANCE TEST 档,记录平均值.
