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6.1.1 干涉测长的基本原理,6.1.2 激光干涉测长系统的组成,1. 除了迈克尔逊干涉仪以外，激光干涉测长系统还包括激光光源，可移动平台，光电显微镜，光电计数器和显示记录装置。,2.迈克尔逊干涉仪是激光干涉测长系统的核心部分，其分光器件、反射器件和总体布局有若干可能的选择。,6.1.2 激光干涉测长系统的组成,7.干涉条纹计数时，通过移相获得两路相差/2的干涉条纹的光强信号，该信号经放大，整形，倒向及微分等处理,可以获得四个相位依次相差/2的脉冲信号（图6-5）。,图6-5 判向计数原理框图,6.1.3 激光干涉测长的其它方法,1. 第三反射镜系统的激光干涉测长仪,图6-6 第三反射镜系统仪的激光干涉,2.利用两个激光器输出的两束激光的干涉来测量非常微小的移动的测量装置。,图6-7 利用两束激光的干涉测量微小移动,
