《太阳能电池PECVD装置设计-毕业论文》由会员分享，可在线阅读，更多相关《太阳能电池PECVD装置设计-毕业论文（32页珍藏版）》请在金锄头文库上搜索。
1、 毕 业 设 计设计题目 太阳能电池 PECVD 装置设计_学生姓名 王真 _学 号 20090761 专业班级 机械设计制造及其自动化 09-10 班 指导教师 干蜀毅 院系名称 机械与汽车工程学院 2013 年 6 月 4 日 目 录中 文摘要 .1英 文摘要 .21 绪论 .31.1 我国太阳能电池的发展现状及展望 .31.2 PECVD 技术的最新进展与应用 .42 PECVD 原理及沉积工艺参数 .42.1 PECVD 原理及沉积过程 .42.2 PECVD 沉积技术工艺参数 .53 PECVD 沉积镀膜生产线 .73.1 PECVD 沉积镀膜生产线的组成 .73.2 PECVD 技
2、术分类及优缺点比较 .84 PECVD 设备构成及各部分功能.105 PECVD 沉积镀膜真空室的设计要求与原则 .105.1 设计参数 .105.2 PECVD 沉积镀膜真空室的主要设计原则 .115.3 PECVD 沉积镀膜室对抽气系统的要求 .116 PECVD 沉积镀膜室主要部分的设计与计算 .126.1 真空室壳体的设计与计算 .126.1.1 真空室壳体的类型选择 .136.1.2 真空室壳体的计算与校核 .136.1.3 真空室的 ANSYS 分析 .146.2 抽气系统的设计与计算 .186.2.1 选泵与配泵 .186.2.2 抽气时间的计算 .196.3 布气系统的设计.2
3、16.3.1 布气系统的作用.216.3.2 布气系统的结构.226.4 机架的设计与计算 .236.4.1 PECVD 真空镀膜室总重估机架.236.4.2 机架的结构设计与校核 .24结论 .25致谢 .26参考文献 .28 0太阳能电池 PECVD 装置设计摘 要：世界能源消耗持续增加，全球范围内的能源危机形势愈发明显，缓解能源危机、开发可再生能源已势在必行，太阳能电池的应用普及已经成为一种趋势。由于温度低，效率高等一系列优点，等离子体增强化学气相沉积技术（PECVD）近年来在太阳能电池板镀膜技术中得到了广泛发展与应用。文中在对等离子体增强化学气相沉积技术（PECVD）的工作原理分析的基
4、础上，阐述了等离子体增强化学气相沉积技术（PECVD）的主要工艺流程和影响参数，并介绍了PECVD 镀膜生产线的组成及工作过程，从而对 PECVD 镀膜设备进行可行性的方案设计。文中主要对真空沉积室、真空抽气系统、布气系统、以及机架进行了设计，方案中选用了分子泵作为主泵、机械泵作为前级泵，并设计了全新的布气装置，优化了整个系统。关键词：太阳能电池，等离子体增强化学气相沉积技术，镀膜，真空，布气装 置1The design of the solar cell PECVD device technique Abstract : With the energy consumption of the
5、world continues to grow, global energy crisis situation becomes increasingly visible.Relieve the energy crisis and development of renewable energy have been imperative.It is a trend to use of solar cells all over the word .Because of low temperature , higher efficiency higher and anather series of a
6、dvantages.Plasma enhanced ehemical vapor deposition has been widely indeveloped and applied in coating technology of the solar panels. Based on the analysis of the plasma enhanced chemical vapor depositions working principle, this article illustrates the main craft processes and the influence parame
7、ters of the plasma enhanced chemical vapor deposition.It introduces the process line and the work process of the plasma enhanced chemical vapor deposition. Then a feasibility of design proposal on the plasma enhanced chemical vapor deposition equipment is carried out.The design mainly aims at vacuum
8、 deposition chamber, vacuum pumping system, cloth gas system and rack.This scenario, chooses the molecular pump as the main pump, chooses the mechanical pump as the backing pump.as well,it designs new cloth device,optimized the whole system.Keywords:The solar cell,Plasma Enhanced Chemical Vapor Depo
9、sition , coating film,vacuum,The cloth device21 绪论1.1 我国太阳能电池的发展现状及展望由于世界能源消耗持续增加，全球范围内的能源危机形势愈发明显，缓解能源危机、开发可再生能源、实现能源的可持续发展成为世界各国能源发展战略的重大举措。由于太阳能的可再生、分布广、无污染的特性，使太阳能发电成为世界可再生能源发展的重要方向。自 20 世纪 80 年代以来，光伏产业已经成为全世界增长速度最快的高新技术产业之一，目前研究的太阳能电池有“硅太阳能电池，化合物半导体太阳能电池染料敏化太阳能电池”其中晶体硅太阳能电池技术更是占据了整个光伏技术的主导地位。截至 09 年的近 10 年间全球太阳能电池产量平均年增长率为 48.5%;而最近 5 年，这一数据更是高达55.2%。 2009 年全球太阳电池产量达到 10.5GWp，比上年增长 33%。截止到2009 年年底，全球太阳能电池累计安装量已达到 24.5GWp。目前，太阳能电池市场竞争激烈，欧洲和日本领先的格局已被打破。尽管主要的销售市场在欧洲，但太阳能电池的生产重镇已经转移到亚洲，近年来崛起的大陆和台湾制造商，加起来的产能已达全球一半。中国已经成为世界太阳能
