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1、菲林碎产生原因分析及对策,干菲林专项培训 2008年3月6日,一、干膜的结构及特性,1、干膜的结构：干膜由盖膜层（cover sheet)、感光阻剂层(photopolymer resist)及隔膜层(separator sheet)三层不同材料夹心而成。真正最后贴在板子铜面上进行电镀蚀刻的只有中间的光阻层。其中盖膜层为聚酯类薄膜 polyester，简称PET，商品名为MYLAR，此层在显影前撕掉；感光阻剂层由粘结剂（成膜树脂）将感光启始剂、光敏剂、光聚合单体、塑化剂、附着力促进剂、染料多种成分粘结成的膜。隔膜层为聚乙烯类polyethyleve，在贴膜前撕掉。,干膜结构示意图：,隔膜层,感
2、光阻剂层,盖膜层,2、干膜的曝光原理：在紫外光照射下，光引发剂吸收了光能分解成游离基，游离基再引发光聚合单体进行聚合交联反应，反应后形成不溶于稀碱溶液的立体型大分子结构。,、干膜的性质一： 曝光前干膜的分子结构为链状结构，可容易1%的碳酸纳溶液(即显影液)。,、干膜的性质二： 曝光后干膜分子结构为立体网状结构，不溶于1%碳酸纳溶液。,3、显影的原理：感光膜中未曝光部分的活性基团与稀碱溶液反应生成可溶性物质而溶解下来，从而把未曝光的部分溶解下来，而曝光部分的干膜不被溶解,在板面上起到抗电镀或抗蚀作用。,二、菲林碎造成开路,1、 已曝光菲林碎的产生（开路）： 、贴膜时板面有多余干膜，曝光后有菲林碎
3、； 对策：1、贴膜时尽量使用合适尺寸的 干膜，防止干膜贴到板外； 2、曝光时注意用红色遮光胶纸 封住板边。,、贴膜时板边工艺孔被盖半边孔，显影时易冲破掉菲林碎。 对策：1、贴膜时减少盖半边孔情况； 2、曝光时用遮光胶纸封住菲 。 林上该孔透光处； 3、在制作A/W时将板边工艺 孔做挡光PAD。,、板面有小点字符透光、黑菲林设计时有小于4mil非功能间隙，附着力差，易掉落。 对策：1、首板员注意检查板菲林上是 否有小点透光字符，有则用 红胶纸封住； 2、G 组在接收黑菲林时检 查是否有非功能间隙未填 实，有则退回QATooling 组重付。,、显影时冲穿孔，封孔干膜掉落形成菲林碎。 对策：1、拍
4、板时注意撕G手势， 减少干膜保护膜被扯起； 2、对板厚24mil、有SLOT孔、 圆孔孔径较大的板，调整显 显影、水洗压力到1.2- 1.5kg/cm2。 3、调整贴膜压力至2.5bar- 3.5bar，贴膜温度调整至 75-95度。,、返洗板未洗干净，板面残留菲林碎。 对策：1、在蚀刻拉退膜时速度开至 1.5-2.5m/cm2； 2、退膜后过沉铜幼磨； 3、执漏对返洗板进行全检， 板面有膜碎的过退膜机。,、显影时甩菲林（甩膜）掉落的菲林碎。 对策：1、将磨板的酸洗、水膜试验、磨痕 控制在MEI要求范围内；另检查 磨板机高压泵是否漏油。 2、提高贴膜压力到4.0bar，温度 110度，贴膜速度
5、控制在 3.0mmin以下。 3、提高曝光能量至8/8格露铜。 4、检查显影机行辘是否擦松干膜。,、贴膜机割膜刀片、行辘上干膜碎未清洁，粘到待贴膜板铜面上。 对策：1、每四小时用酒精擦洗行辘、压辘； 2、按 MEI要求每班清洁割膜刀片，每月更换割膜刀 片，若发现有缺口、破损立即更换.,2、未曝光菲林碎的产生（开路）： 、拍板时保护膜被扯起，将孔上干膜扯起，显影时有两层干膜导致显影不净： 1、贴膜时尽量减少盖半边孔； 2、拍板时注意撕G手势，减少保护膜被扯 起。,、贴膜时介边板保护膜扯起，干膜碎粘附到板面干膜上，显影时只能显影掉一层干膜。 对策：1、需熟手进行削边，削边时使 用锋利的刀片。 2、削边后仔细检查板面是否 残留有干膜碎。 3、尽量使用合适尺寸干膜， 减少削边板,三、菲林碎造成短路,1、贴膜时未使用合适尺寸的干膜，削边时干膜碎末掉板面，曝光时形成曝光垃圾。 对策：1、需熟手进行削边，削边时使 用锋利的刀片。 2、削边后仔细检查板面是否 残留有干膜碎。 3、尽量使用合适尺寸干膜， 减少削边板。,
