单晶硅材料生产工艺图

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1、为了适应公司新战略的发展,保障停车场安保新项目的正常、顺利开展,特制定安保从业人员的业务技能及个人素质的培训计划单晶硅材料生产工艺图单晶硅生产工艺流程单晶硅是一种比较活泼的非金属元素,是晶体材料的重要组成部分,处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。由于太阳能具有清洁、环保、方便等诸多优势,近三十年来,太阳能利用技术在研究开发、商业化生产、市场开拓方面都获得了长足发展,成为世界快速、稳定发展的新兴产业之一。单晶硅生产工艺流程:1、石头加工开始是石头,(石头都含硅),把石头加热,变成液态,在加热变成气态,把气体通过一个密封的大箱子,箱子里有N多的子晶加热,两

2、头用石墨夹住的,气体通过这个箱子,子晶会把气体中的一种吸符到子晶上,子晶慢慢就变粗了,因为是气体变固体,所以很慢,一个月左右,箱子里有就很多长长的原生多晶硅。2、酸洗当然,还有很多的废气啊什么的,(四氯化硅)就是生产过程中产生的吧,好像现在还不能很好处理这东西,废话不多说,原生多晶有了,就开始酸洗,氢氟酸啊硝酸啊,乙酸啊什么的把原生多晶外面的东西洗干净了,就过烘房烘干,无尘检查打包。一览英才网是基于行业垂直细分和区域横向细分的网络招聘网站平台,国内各行业各地区首选求职招聘网站平台!3、拉晶送到拉晶,拉晶就是用拉晶炉把多晶硅加热融化,在用子晶向上拉引,工人先把多晶硅放进石英锅里,(厂里为了减少成

3、本,也会用一些洗好的电池片,碎硅片一起融)关上炉子加热,石英锅的融点是1700度,硅的融点才1410度左右,融化了硅以后石英锅慢慢转起来,子晶从上面下降,点到锅的中心液面点,也慢慢反方向转,锅下面同时在电加热,液面上加冷,子晶点到液面上就会出现一个光点,慢慢旋转,向上拉引,放肩,转肩,正常拉棒,收尾,一天半左右,一个单晶棒就出来了。4、切方单晶棒有了就切方,单晶棒一般是做6英寸的,P型,电阻率0。5-6欧姆(一英寸等于2。4厘米左右)切掉棒子四边,做成有倒角的正方形,在切片,0。22毫米一片吧。一览英才网是基于行业垂直细分和区域横向细分的网络招聘网站平台,国内各行业各地区首选求职招聘网站平台!

4、单晶硅的生产过程单晶硅,生产一、单晶硅的制法通常是先制得多晶硅或无定形硅,然后用直拉法或悬浮区熔法从熔体中生长出棒状单晶硅。熔融的单质硅在凝固时硅原子以金刚石晶格排列成许多晶核,如果这些晶核长成晶面取向相同的晶粒,则这些晶粒平行结合起来便结晶成单晶硅。单晶硅棒是生产单晶硅片的原材料,随着国内和国际市场对单晶硅片需求量的快速增加,单晶硅棒的市场需求也呈快速增长的趋势。单晶硅圆片按其直径分为6英寸、8英寸、12英寸及18英寸等。直径越大的圆片,所能刻制的集成电路越多,芯片的成本也就越低。但大尺寸晶片对材料和技术的要求也越高。单晶硅按晶体生长方法的不同,分为直拉法、区熔法和外延法。直拉法、区熔法生长

5、单晶硅棒材,外延法生长单晶硅薄膜。直拉法生长的单晶硅主要用于半导体集成电路、二极管、外延片衬底、太阳能电池。目前晶体直径可控制在38英寸。区熔法单晶主要用于高压大功率可控整流器件领域,广泛用于大功率输变电、电力机车、整流、变频、机电一体化、节能灯、电视机等系列产品。目前晶体直径可控制在36英寸。外延片主要用于集成电路领域。由于成本和性能的原因,直拉法单晶硅材料应用最广。在IC工业中所用的材料主要是CZ抛光片和外延片。存储器电路通常使用CZ抛光片,因成本较低。逻辑电路一般使用价格较高的外延片,因其在IC制造中有更好的适用性并具有消除Latchup的能力。单晶硅也称硅单晶,是电子信息材料中最基础性

6、材料,属半导体材料类。单晶硅已渗透到国民经济和国防科技中各个领域,当今全球超过XX亿美元的电子通信半导体市场中95%以上的半导体器件及99%以上的集成电路用硅。二、硅片直径越大,技术要求越高,越有市场前景,价值也就越高。日本、美国和德国是主要的硅材料生产国。中国硅材料工业与日本同时起步,但总体而言,生产技术水平仍然相对较低,而且大部分为、3、4、5英寸硅锭和小直径硅片。中国消耗的大部分集成电路及其硅片仍然依赖进口。但我国科技人员正迎头赶上,于1998年成功地制造出了12英寸单晶硅,标志着我国单晶硅生产进入了新的发展时期。目前,全世界单晶硅的产能为1万吨/年,年消耗量约为6000吨7000吨。未

7、来几年中,世界单晶硅材料发展将呈现以下发展趋势。单晶硅产品向300mm过渡,大直径化趋势明显:随着半导体材料技术的发展,对硅片的规格和质量也提出更高的要求,适合微细加工的大直径硅片在市场中的需求比例将日益加大。目前,硅片主流产品是200mm,逐渐向300mm过渡,研制水平达到400mm450mm。据统计,200mm硅片的全球用量占60%左右,150mm占20%左右,其余占20%左右。根据最新的国际半导体技术指南,300mm硅片之后下一代产品的直径为450mm;450mm硅片是未来22纳米线宽64G集成电路的衬底材料,将直接影响计算机的速度、成本,并决定计算机中央处理单元的集成度。Gartner

8、发布的对硅片需求的5年预测表明,全球300mm硅片将从XX年的%增加到XX年的%。日、美、韩等国家都已经在1999年开始逐步扩大300mm硅片产量。据不完全统计,全球目前已建、在建和计划建的300mm硅器件生产线约有40余条,主要分布在美国和我国台湾等,仅我国台湾就有20多条生产线,其次是日、韩、新及欧洲。世界半导体设备及材料协会的调查显示,XX年和XX年,在所有的硅片生产设备中,投资在300mm生产线上的比例将分别为55%和62%,投资额也分别达到亿美元和亿美元,发展十分迅猛。而在1996年时,这一比重还仅仅是零2、硅材料工业发展日趋国际化,集团化,生产高度集中:研发及建厂成本的日渐增高,加

9、上现有行销与品牌的优势,使得硅材料产业形成“大者恒大”的局面,少数集约化的大型集团公司垄断材料市场。上世纪90年代末,日本、德国和韩国资本控制的8大硅片公司的销量占世界硅片销量的90%以上。根据SEMI提供的XX年世界硅材料生产商的市场份额显示,Shinetsu、SUMCO、Wacker、MEMC、Komatsu等5家公司占市场总额的比重达到89%,垄断地位已经形成。3、硅基材料成为硅材料工业发展的重要方向:随着光电子和通信产业的发展,硅基材料成为硅材料工业发展的重要方向。硅基材料是在常规硅材料上制作的,是常规硅材料的发展和延续,其器件工艺与硅工艺相容。主要的硅基材料包括SOI、GeSi和应力

10、硅。目前SOI技术已开始在世界上被广泛使用,SOI材料约占整个半导体材料市场的30%左右,预计到XX年将占到50%左右的市场。Soitec公司的XX年XX年SOI市场预测以及XX年各尺寸SOI硅片比重预测了产业的发展前景。4、硅片制造技术进一步升级:目前世界普遍采用先进的切、磨、抛和洁净封装工艺,使制片技术取得明显进展。在日本,200mm硅片已有50%采用线切割机进行切片,不但能提高硅片质量,而且可使切割损失减少10%。日本大型半导体厂家已经向300mm硅片转型,并向m以下的微细化发展。另外,最新尖端技术的导入,SOI等高功能晶片的试制开发也进入批量生产阶段。对此,硅片生产厂家也增加了对300

11、mm硅片的设备投资,针对设计规则的进一步微细化,还开发了高平坦度硅片和无缺陷硅片等,并对设备进行了改进。三、硅是地壳中赋存最高的固态元素,其含量为地壳的四分之一,但在自然界不存在单体硅,多呈氧化物或硅酸盐状态。硅的原子价主要为4价,其次为2价;在常温下它的化学性质稳定,不溶于单一的强酸,易溶于碱;在高温下化学性质活泼,能与许多元素化合。由于硅的禁带宽度和电子迁移率适中,硅器件的最高工作温度能达250,其制作的微波功率器件的工作频率可以达到C波段。在硅的表面能形成牢固致密的SiO2膜,此膜能充当电容的电介质、扩散的隔离层、器件表面的保护层,随着平面工艺与光刻技术的问世而促进了硅的超大规模集成电路

12、的发展。硅材料资源丰富,又是无毒的单质半导体材料,较易制作大直径无位错低微缺陷单晶。晶体力学性能优越,易于实现产业化,从而导致半导体硅材料成为电子材料中的第一大主体功能材料,并在今后较长时间内仍将成为半导体的主体材料。多晶硅材料是以工业硅为原料经一系列的物理化学反应提纯后达到一定纯度的电子材料,是硅产品产业链中的一个极为重要的中间产品,是制造硅抛光片、太阳能电池及高纯硅制品的主要原料,是信息产业和新能源产业最基础的原材料。多晶硅产品分类:多晶硅按纯度分类可以分为冶金级、太阳能级、电子级。1、冶金级硅:是硅的氧化物在电弧炉中被碳还原而成。一般含Si为90-95%以上,高达%以上。2、太阳级硅(S

13、G):纯度介于冶金级硅与电子级硅之间,至今未有明确界定。一般认为含Si在%。3、电子级硅:一般要求含Si%以上,超高纯达到%。其导电性介于10-41010欧厘米。多晶硅应用领域:多晶硅是半导体工业、电子信息产业、太阳能光伏电池产业的最主要、最基础的功能性材料。主要用做半导体的原料,是制做单晶硅的主要原料,可作各种晶体管、整流二极管、可控硅、太阳能电池、集成电路、电子计算机芯片以及红外探测器等。多晶硅是制备单晶硅的唯一原料和生产太阳能电池的原料。随着近几年我国单晶硅产量以年均26%的速度增长,多晶硅的需求量与日俱增,目前供应日趋紧张。我国XX年产单晶硅459吨,XX年增加到1191吨,预计XX年

14、产量将达1700吨,消耗多晶硅2720吨。从单晶硅产品结构看,太阳电池用单晶硅产量增长最快,XX年产量207吨,XX年为696吨。预计XX年将达到1000吨,约需多晶硅1590吨,而国内XX年仅生产多晶硅吨,绝大部分需要进口。我国主要的太阳能电池厂有56家,最大的无锡尚德太阳能电力有限公司XX年产量约为50MW,XX年计划生产100MW,如果完成计划,则约需多晶硅1300吨以上。仅此一家企业,就要2家千吨级多晶硅厂为其供货,才能满足生产需要。从国际市场看,国际市场多晶硅需求量在以每年1012%的速度增长,按此增长速度预测,XX年全球多晶硅需求量将达27000吨,XX年将达60000吨,缺口很大

15、。亚太地区特别是日本、台湾、新加坡、韩国等地,都是多晶硅的主要需求地。多晶硅生产技术:多晶硅生产技术主要有:改良西门子法、硅烷法和流化床法。正在研发的还有冶金法、气液沉积法、重掺硅废料法等制造低成本多晶硅的新工艺。世界上85的多晶硅是采用改良西门子法生产的,其余方法生产的多晶硅仅占15。以下仅介绍改良西门子法生产工艺。西门子法是以HCl和冶金级工业硅为原料,将粗硅粉与HCl在高温下合成为SiHCl3,然后对SiHCl3进行化学精制提纯,接着对SiHCL3进行多级精馏,使其纯度达到9个9以上,其中金属杂质总含量应降到以下,最后在还原炉中在1050的硅芯上用超高纯的氢气对SiHCL3进行还原而长成高纯多晶硅棒。多晶硅副产品:多晶硅生产过程中将有大量的废水、废液排出,如:生产1000吨多晶硅将有三氯氢硅3500吨、四氯化硅4500吨废液产生,未经处理回收的三氯氢硅和四氯化硅是一种有毒有害液体。对多晶硅副产物三氯氢硅、四氯化硅经过多级精馏提纯等化学处理,可生成白炭黑、氯化钙以及用于光纤预制棒的高纯四氯化硅。四、硅锭的拉制,目前主要有以下几种方法:*直拉法即切克老斯基法和坩埚所产生的强制对流是由离心力和向心力、最终由熔体表面张力梯度所驱动的。所生长的晶体的直径越大,对流就越强烈,会造成熔体中温度波动和晶体局部回熔

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