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1、宏微定位平台动力学模型构建与仿真分析,1、课题来源及研究的目的和意义 2、国内外在该方向的研究现状及分析 3、主要研究内容 4、研究方案及进度安排，预期达到的目标 5、为完成课题已具备和所需的条件和经费 6、研究过程中可能遇到的困难和问题，以及解决的措施,1、课题来源及研究的目的和意义 2、国内外在该方向的研究现状及分析 3、主要研究内容 4、研究方案及进度安排，预期达到的目标 5、为完成课题已具备和所需的条件和经费 6、研究过程中可能遇到的困难和问题，以及解决的措施,目的：本课题为光刻机双工件台构造一维动力学模型（宏微两级驱动气浮工作台模型）并作仿真分析，以便为双工件台的控制技术做一些探索与
2、改进。 意义：本课题的完成可以为双工件台的研制提供有用的参考。,1、课题来源及研究的目的和意义 2、国内外在该方向的研究现状及分析 3、主要研究内容 4、研究方案及进度安排，预期达到的目标 5、为完成课题已具备和所需的条件和经费 6、研究过程中可能遇到的困难和问题，以及解决的措施,并行双伺服控制方法,主-从控制设计方法,解耦控制设计方法,并行控制设计方法,PQ控制设计方法,1、课题来源及研究的目的和意义 2、国内外在该方向的研究现状及分析 3、主要研究内容 4、研究方案及进度安排，预期达到的目标 5、为完成课题已具备和所需的条件和经费 6、研究过程中可能遇到的困难和问题，以及解决的措施,ADA
3、MS软件实现气浮宏微平台的一维简单建模 Simulink软件设计气浮宏微平台的控制系统，实现联合仿真,1、课题来源及研究的目的和意义 2、国内外在该方向的研究现状及分析 3、主要研究内容 4、研究方案及进度安排，预期达到的目标 5、为完成课题已具备和所需的条件和经费 6、研究过程中可能遇到的困难和问题，以及解决的措施,宏微系统动力学模型示意图,研究方案,气浮宏微定位平台的SolidWorks模型,气浮宏微定位平台的ADAMS模型,宏微定位平台的Simulink模型,宏微控制框图（采用并行双伺服）,宏动台伺服控制原理框图,微动台伺服控制原理框图,宏微系统控制框图,（1）熟练掌握ADAMS和Sim
4、ulink软件的使用方法；（2）完成宏微定位平台机电一体化模型的建立；（3）设计一套比较优良的控制系统，达到气浮宏微定位平台的要求。,预期达到的目标,2010.03.012010.03.17 根据毕业设计任务要求，开展资料搜集和基本知识学习，完成开题报告工作； 2010.03.182010.04.15 完成气浮宏微定位平台ADAMS模型的建立； 2010.04.162010.05.15 实现控制系统的设计； 2010.05.162010.05.31 得出仿真结果并分析，改进控制系统模型； 2010.06.012010.07.02 整理文档，撰写论文，准备答辩。,进度安排,1、课题来源及研究的目
5、的和意义 2、国内外在该方向的研究现状及分析 3、主要研究内容 4、研究方案及进度安排，预期达到的目标 5、为完成课题已具备和所需的条件和经费 6、研究过程中可能遇到的困难和问题，以及解决的措施,PC机（ADAMS、Simulink软件） 一台 气浮宏微定位实验平台 一台,1、课题来源及研究的目的和意义 2、国内外在该方向的研究现状及分析 3、主要研究内容 4、研究方案及进度安排，预期达到的目标 5、为完成课题已具备和所需的条件和经费 6、研究过程中可能遇到的困难和问题，以及解决的措施,困难问题： （1）本课题涉及控制系统设计方面的专业知识，以前所学明显不够； （2）实际经验不足，很难能建立出比较符合实际情况的模型； （3）本课题所用的ADAMS软件用户群较小，资料很少，不便于深入学习。 解决措施： （1）多看书，多看前人的论文，多和指导老师、师兄交流； （2）多思考、做任务有耐心。,谢谢各位老师！,
