微电子参观实习报告

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1、微电子参观实习报告微电子参观实习报告 篇一：微电子学-实习报告 实习报告 一、实习目的、要求： 1、实习目的： 培养应用型人才基地，要培养德才兼备的大学生，不 仅需要通识教育和专业教育，更要理论和实践相结合的正 规化培训。实习是大学生必须参与的一项实践教学环节。 是学生熟悉多晶硅、单晶硅生产和半导体封装测试等生产 过程的一种正规化的培训，以充实理论教学中不能学到的 知识和技能。同时，把在理论教学中学到的知识和具体实 际工作贯穿起来，做到学以致用，使学生成为既有理论知 识，又有实际动手能力的人才，提高学生的综合素质。 2、实习要求： （1） 、在实习期间坚决服从指导老师的安排，遵纪守 规，并且注

2、意个人安全。 （2） 、严格遵守公司的各项规章制度，且注重感受企 业文化。 （3） 、熟悉多晶硅、单晶硅生产和半导体封装测试等 生产过程。认真学习，积极思考提问。 (4)、认真按时完成实习报告。 二、实习主要内容： 本次实习内容为参观乐山菲尼克斯半导体有限公司和 东方电气集团峨眉半导体材料有限公司及峨眉半导体材料 研究所，熟悉多晶硅、单晶硅生产和半导体封装测试等生 产过程。 1、3 月 17 日在乐山菲尼克斯半导体有限公司参观芯片 测试封装过程 菲尼克斯半导体有限公司是由安森美半导体、乐山无 线电股份有限公司和摩托罗拉公司合资兴办的。公司目前 主要产品为表面封装的分立半导体元器件，主要应用于电

3、 子及电气设备、汽车行业、通讯系统、宽带数据技术、电 脑和家用电器等。这次主要参观芯片的封装测试过程，主 要内容如下： 在在公司员工带领下我们参观了生产车间走廊，第一 印象是车间非常干净且生产流程线清晰可见，还有比较少 的员工，据了解原因是大多数生产过程都是靠机械手完成， 员工主要辅助操作和监控机械运转。 参观了水处理车间、回温室、切片、后端标签塑封等 18 条生产流线。了解到所有车间都有严格低尘埃和静电要 求，以防止尘埃和静电导致器件因瞬间击穿等毁坏和影响 其质量、性能，提高器件产品成品率。通过参观了解到菲 尼克斯公司封装测试过程主要是：首先是切片，根据客户 需求进行切片，且芯片尺寸有普通的

4、切割机和激光切割， 他们用的是镭射切割；然后需要成形机，将芯片改成需要 的具体形状；接着将切割好的晶片固定到引线框架上，再 利用金丝连接引线，作用是把内部的接线引出来以便连接 其他设备；最后标签，用塑料外壳加以封装保护，即塑封。 其实之后还有一系列操作，如后电镀、打印、成品测试和 包装出货等程序。其中成品后包括准备验收和存放期间， 都要将芯片放置在充满氮气的环境中以防止氧化。 2、3 月 18 日上午在峨眉半导体材料有限公司参观单 晶硅生产 东方电气集团峨眉半导体材料有限公司为中国东方电 气集团旗下的东汽投资发展有限公司。主要从事直拉、区 熔单晶科研生产太阳能方面的单晶片。在“十一五”末， 单

5、晶硅年生产 能力达到 1000 吨。这次主要了解直拉法生产单晶的流 程和后续加工过程，主要内容如下： 主要参观的是直拉单 晶硅的车间，该厂根据单晶硅尺寸不一样分为许多生产线， 但多数生产线是 8 寸的。通过参观了解到该厂直拉单晶硅 的过程主要是：首先在坩埚中放入原材料多晶硅，安放子 晶，设置生长条件；然后在原料熔化后开始旋转子晶进入 生长过程，其中过程中保护气体、温度、压强及子晶旋转 速度都是由仪器控制，员工负责监控生长和仪器运转；最 后待达到预定尺寸后断开子晶取出单晶放置冷却。此外还 了解到 8 寸的单晶硅拉制周期大概在 48 小时，而且尺寸越 小的拉制速度越快。 还参观了单晶后续加工过程，

6、主要过程：首先是晶棒 检测间，主要测试单晶硅物理特性如直径（一般高于需要 尺寸一定尺寸以便后面平磨等工序消耗） 、缺陷等和性能参 数如电学性质（方块电阻、电子寿命和纵向以及断面的电 阻率等）其中电阻率式采用较先进的涡流式电容耦合方法 测试。然后将不合格产品返回拉单晶的车间重新熔化拉制， 合格的进入切断间，切割机有 Meyer Burger 公司生产的是 空气轴承环切，还有 GF1046 带锯切断；之后是线切割，他 们用的是线开方机即利用加入 SiC 粉末的悬浮液粘在线上， 再由线来回摩擦切割将圆柱形的单晶硅切成准方片形的晶 棒（其他还有电火花方式） ；接着是金刚切，解理面在对角 线(100)的

7、晶面适合做 CMOS 芯片；最后是检测、全自动清 洗（水声波清洗，粘合固定是用环氧塑脂合胶，其中粘接 温度、时间和风冷时间都是要确定记录的） 。 3、3 月 18 日下午在峨眉半导体材料研究所参观多晶 硅生产 东汽峨半厂所是 1964 年 10 月以原冶金部有色金属研 究院 338 室和沈阳冶炼厂高纯金属车间为主组建的我国第 一家集半导体材料科研、试制、生产相结合的大型厂(所) 一体的企业，是有色工业重点骨干企业。在“十一五”末， 多晶硅年生产能力达到 5200 吨，此外还生产硅片、高纯金 属等。 我们主要参观的是三氯氢硅还原生产多晶硅和气体废 水处理的流程。了解到他们生产多晶硅的过程主要是：

8、首 先是对原料三氯氢硅氢提纯；然后利用目前国内广泛应用 的还原法，以氢 气为还原剂，在 1100还原炉内进行反应 （SiHCl3+H2=Si+3HCl） ，最淀积在载体上形成多晶硅棒。 通过工作人员介绍，知道该厂生产设备包括脱盐水存储、 锅炉房、储存罐区、储存泵、储存装卸料区、泡沫消防区、 原料区、冷冻组（-60 C）制氢组、粗馏提存、废气处理、 还原楼、循环水站等。尾气处理的目的是减少环境污染、 促进能源循环（其中 80%被循环） 。废气处理阶段，由于废 气中含有 SiCl4、H2、HCl、SiH2Cl2、SiHCl3 等，需要经 过吸收塔、蒸馏塔等回收三氯氢硅烷。其中废气处理设备 还包括活

9、性炭吸附柱、脱吸塔等。在三氯氢硅烷还原淀积 过程了解到，一个还原炉一次能生产 1.5 吨，且一个周期 为 6-7 天，每次生产 24 根。生产得到的多晶硅也需要测试， 测试重要指标 C、O 含量，电阻率，电子寿命。 三、实习总结： 在此次实习中，我学习了解到利用氢气还原三氯硅烷 的方法生产多晶硅及检测产品质量过程，直拉法生产单晶 硅过程和其后续工序：检测、切割、线切、平磨、滚圆、 切片、清洗测试等，还有封装测试流程：划片、成形、引 线、塑封、电镀、标签、外观检查、成品测试、包装出货 等。还了解了一些课本上没有的知识，比如先进生产工艺 设备，包括直拉单晶炉、空气浮动轴承和金刚切割硅棒仪 器和涡流

10、式电容耦合法测电阻率仪器，的使用和原理。了 解到先进仪器能减少消耗和工序时间，是生产和利润的源 泉，因而要领先半导体行业就要掌握先进的工艺、拥有先 进的生产设备。这次除了巩固到一些专业知识，还将知识 联系到了应用，加深了对专业的认知，更加明确了学习目 标对以后的学习工作有很好的指导作用。 此外还了解了以后半导体行业的工作环境和工作职责。 在我们即将步入社会开始工作 时，这次实习给我们上了一堂关于工作责任和职业生 涯规划一课。通过与带领参观的工作人员交流，我意识到 掌握扎实理论知识和踏实工作、注重掌握先进技术才能在 一个企业发挥好的作用。也更加明确了职业规划。 还有就是感谢学校能提供这次有意义的

11、实习机会和参 观公司的员工细心的讲解，让我们受益匪浅。但是通过这 次实习我也发现了自己一些缺点，比如能较好掌握课本知 识，但是不会与实际生产联系思考，此外还欠缺通过认真 思考剖析问题原因以得到解决问题的办法。还有就是缺乏 与人交流的能力。这些是提高自身综合能力的关键。 篇二：参观福顺微电子实践心得 参观福顺微电子感想 电科 1101 胡志涛 3110209107 我们很荣幸能够到福州 的一家有名的半导体企业-福顺微电子进行参观。我们带 着喜悦的心情，和对这家半导体企业的好奇走进了这家公 司。参观的流程是在接待大厅里。由企业指派的工作人员 给我们讲解企业的总体概况。企业的文化和企业的历史， 生产

12、规模，等等。 福建福顺微电子有限公司，是一家中外合资企业,成立 于 1996 年 3 月（中方：福建福日电子股份有限公司占 30%；外方：台湾友顺科技有限公司占 70%） 。公司的前身是 “福建半导体器件厂”引进的 4 英寸集成电路前工序生产 线。公司成立后采用租赁的经营模式于 1996 年 5 月份开工 投产，到 1997 年年底达到了原生产线设计生产能力即月 产 5000 片 4 英寸晶园片（年产 6 万片） 。从 1998 年起，公 司逐年不间断地增资和进行技术改造，生产规模不断扩大， 产品、产量逐年增加， XX 年 4 英寸集成电路产量达 36 万 片，XX 年 4 英寸集成电路产量达

13、 44 万片，每年经济效益增 长率达 22.22%，位居国内同类企业前列。XX 年 6 英寸集成 电路生产线投入运营，计划年产量达 10 万片，XX 年底开始 对 5 号楼原“4 英寸 IC 前工序生产线”进行改造，建设成 “6 英寸芯片二厂” ，XX 年底完成技改建设。目前，我司的 6 英寸集成电路芯片生产能力达到全国最大。 1998 年被福建省科委（今科技厅）授予“高新技术企 业” ，并一直保持；同年被福州海关评为 “信誉良好企业” ； 1999 年通过 ISO 9001 国际质量标准和英国国家质量标准 （UKAS）认证，并一直保持；XX 年承担信息产业部“电子 信息产业发展基金”技改项目

14、，圆满通过验收，得到总结 会表扬；XX 年被福建省外贸厅授予“外商投资先进技术企 业” ；XX 年被福州市税务局评为“纳税信用 A 级企业” ；XX 年被福州市政府评为“技术创新先进企业” ；XX 年被福州市 政府评为“纳税工作先进企业” ；XX 年初被福建省科技厅认 定为“两个密集型企业” ；同年我司与中芯国际（上海） 、 台积电（上海） 、上海华虹等公司一起被中国半导体行业协 会评为“XX 年度中国最具成长性半导体企业” ，同年我司的 6 英寸芯片生产线项目被福建省经贸委评为“十五技改造优 秀项目” ；XX 年被国家发改委、信产部、海关总署、税务总 局联合发文认定为“第一批国家鼓励的集成电

15、路企业” （发 改高技XX1879 号文件） ；同年通过 ISO14001 国际环境标准认证和 GB/T28001 国标职业健康安全标 准认证；同年被福州市政府评为“科技工作先进企业” ；XX 年被福州市政府确认为“第一批重点鼓励发展的高新技术 企业” ；等等多项荣誉。XX 年实现产值 23877 万元、净利润 3385 万元，双双创下历史新高。随着该项目的立项并成功 实施，公司的产值、利润必将有一个实质性的巨大跨跃。 工作人员给我们讲解完企业的总体概况后。由公司的 技术人员给我讲解了，整个芯片的生产过程，还有生产过 程中的视频，讲解完后他也很耐心的一一作答同学们的问 题。我们学生试穿了工作时

16、用的防尘服。通过视频我们观 看了生产实际的环境。工厂有着严格的管理条例。是属于 现代化的管理模式。每个工种都是与之相对应的考核标准， 月月都有竞赛。评岗位能手，并且上榜公示，工人的工作 环境是在无尘的环境。所以对环境要求比较高，企业的文 化环境也不错，各种各样的娱乐设施都很建全，作息时间 是作二休二，能够给职工提供很好的福利待遇，包括四金， 劳动强度也不会很大，因为自动化的程度非常高，但是却 需要员工非常细心。 短短的几小时参观学习，却让我的大脑思索了几天。 也许有人会说：他们资金雄厚，硬件建设投入大，这固然 是一方面，标准化建设、一流创建离不开资金作后盾，但 资金不是天上掉下来的，支撑他们的是一种精神， “争创一 流”的精神，把这种精神溶化在企业文化建设、安全生产 管理、经营管理、设备维护管理等各个方面，要靠科学管 理来实现，他们的经验和做法很值得我们去研究和学习。 只有振奋精神，凝聚员工的力量，虚心学习和借鉴先进管 理经验，才能在这个竞争激烈的社会立于不败之地，才能 创造企业的美好明天。 社会实践是大学生全面素质提高的重要环节，是学生 将所学知识应用于社会的重要过程