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1、DONG XU JITUAN CO., LTD. 1 / 12 TCO 镀膜玻璃品质控制标准1. 范围本标准规定了 TCO 镀膜玻璃的性能检验方法、要求、操作方法、检验规则、包装、标志、运输和贮存。本规定适用于非晶硅薄膜太阳能电池用TCO 镀膜玻璃，其产品的镀膜方式采用磁控溅射 AZO（铝掺杂氧化锌）的模式。2. 术语和定义原片玻璃基板： 此标准中所使用基板玻璃规定为超白浮法玻璃，玻璃的透射率要求为9192，尺寸根据客户需求而定，厚度3.2mm/4mm 。可见光透反射比： 为了能够充分的利用太阳光，TCO 镀膜玻璃一定要保持相对较高的透射率。目前产量最多的薄膜电池是双结非晶硅电池，并且已经开始
2、向非晶/微晶复合电池转化，非晶硅半导体层的吸收范围主要在400-700nm 的可见光范围，而微晶硅半导体的吸收主要在 600-1000nm ，扩展到了近红外波段。因此非晶/微晶复合叠层能够吸收利用更多的太阳光，提高转换效率，检验TCO 镀膜的光谱透射率采取的波长范围为4001000nm 。方块电阻： TCO 镀膜的导电性能用面电阻（方块电阻）值表征，面电阻值越低则TCO 镀膜内阻越低，导电性能就越好。雾度：为了增加薄膜电池半导体层吸收光的能力，光伏用 TCO 玻璃需要提高对透射光的散射能力，这一能力用雾度（Haze）表示。即为透明或半透明材料的内部或表面由于光漫射造成的均匀的云雾状或浑浊状外观
3、。针孔： 从镀膜玻璃透射方向看，相对膜层整体可视透明的部分或全部没有附着膜层的点状缺陷。斑点： 从镀膜玻璃透射方向看，相对膜层整体色泽较暗的点状缺陷。划伤： 镀膜玻璃表面各种现象的划痕，可见程度取决于他们的长度、宽度、位置和分布。斑纹： 从镀膜玻璃的反射方向看，膜层表面色泽发生变化的云状、放射状或条纹状的缺陷。DONG XU JITUAN CO., LTD. 2 / 12 暗道： 从镀膜玻璃的反射方向看，膜层表面亮度或反射色异于整体的条状区域，可见光程度取决于他们和周围膜层的亮度差。3. 产品分类产品按照外观质量、光学性能差值、颜色均匀性等分为优等品和合格品。4. 要求3.1 TCO镀膜玻璃各
4、项性能要求（表1）序号项目要求/ 标准检验工具1 TCO 膜层厚度1000nm 5% 台阶测试仪2 光谱透射率81% (400-1000nm) 光谱透射测量仪3 方块电阻10/ 四探针电阻测量仪4 雾度10-30% 光谱雾度测量仪5 耐磨性试验前后可见光透射比平均值的差值的 绝对值不应大于 4% ；并且膜层不能有明显 的变化，磨耗试验机、谱透射测量仪6 耐酸性试验前后可见光透射比平均值的差值的 绝对值不应大于 4% ；并且膜层不能有明显 的变化，光谱透射测量仪7 耐碱性试验前后可见光透射比平均值的差值的绝对值不应大于 4%;并且膜层不能有明显的变化，光谱透射测量仪8 膜层的附着力使用3M No
5、.610胶带拉向面的直角方向， 30sce后取下胶带，观察膜表面，无膜层脱落现象。3M No.610胶带粘着力： N/cm 3.92 9 膜厚均匀性5% 台阶测量仪10 方块电阻均匀性7% 四探针电阻测量仪11 透过率均匀性1% 光谱透射测量仪注：超出此规定的其他要求由供需双方协商决定3.2TCO 璃外观检查质量要求（表2）TCO 镀膜玻璃原片的外观质量应该符合GB/T 18915.2 中规定的对镀膜玻璃的要求。表2 TCO 镀膜玻璃的观质量DONG XU JITUAN CO., LTD. 3 / 12 缺陷名称说明优等品合格品针孔直径2.0mm 不允许不允许斑点1.0mm5.0mm 不允许不
6、允许斑纹目视可见不允许不允许暗道目视可见不允许不允许膜面划伤0.1mm 宽度 0.3mm 长度 6mm 不允许不限，划伤间距不得小于 100mm 宽度 0.3mm 或长度 6mm 不允许不允许玻璃面划伤宽度 0.5mm 长度 6mm 不允许3.0 S ，条宽度 0.5mm 或长度 6mm 不允许不允许DONG XU JITUAN CO., LTD. 4 / 12 注1: 针孔集中是指在 100 mm 面积内超过 20个注2:S是以平方米为单位的玻璃板面积，保留小数点后两位; 注3: 允许个数及允许条数为各系数与S相乘所得的数值 . 按GB/T 8170修约至整数 ; 注4: 玻璃板的中部是指距
7、玻璃板边缘75 mm 以内的区域，其他部分为边部。注5：此表所列举的外观检查项目均由在线检查机完成、部分检查可增加人工抽检复查；除本表格中所包含的其他外观缺陷的判定标准以供需双方最终商讨结果为准5. 离线检验方法及测量工具4.1 膜层厚度4.1.1判定标准：- 常规膜厚： TCO膜厚： 1000nm 5% ；其他特殊膜厚标准依照客户要求。- 膜厚均匀性： D5% 计算公式：（Xmax 代表膜厚最大值； Xmin代表膜厚最小值）4.1.2抽检频率生产初期每班测试一次；测试点数为25点测试法。4.1.3使用工具：台阶测试仪；咖啡色胶带；烧杯；搅动棒；4.1.4测试材料及方法1） 蚀刻溶液配制，溶液
8、配比比例：HNO3:HCl:H2O=1:4:1000 ；蚀刻时溶液温度要求控制在 251之内；2） 在 TCO 蚀刻前及蚀刻后分别采取在线生产的正常玻璃基板，按照附件1 图示，在标示点附近区域用玻璃刀取25 块样品并按图示顺序进行编号 （分两组样品，蚀刻前与蚀刻后）。3） 将取下的测试条用咖啡色胶带（要求胶带不留胶且耐腐蚀）贴于测试片镀膜面的中间位置，如图示：DONG XU JITUAN CO., LTD. 5 / 12 图 1 测试片制作示意图然后将此测试片放入盛有蚀刻液的烧杯中，用玻璃棒搅拌直至未被胶带覆盖区域的膜层完全蚀刻干净（可在洗净后用40 倍的显微镜观察是否已蚀刻干净） 。4）取出
9、测试片，用去离子水洗净，取下胶带，将玻璃片用无尘纸擦干。5) 用台阶测试仪进行膜厚测量。考虑到测量的准确性，对每片玻璃取 4 个点进行测量，之后取平均值作为该片玻璃的膜厚测量值。6) 对测量的数据进行统计并计算出均匀性，分别统计蚀刻前与蚀刻后的膜厚均匀性，并对蚀刻前后的膜厚差值进行统计，由测试人员给出验证报告。4.2 光谱透过率4.2.1判定标准要求测试波长在400-1000nm 范围内的光谱透过率 81% 4.2.2抽检频率：生产初期每班测试一次；测试点数为5 点测试法。4.2.3使用工具：光谱透射测量仪（符合GB/T 2680 的规定） ；玻璃刀4.2.4测量材料及方法：1)在 TCO 蚀
10、刻前及蚀刻后的同一批次中随机抽取在线生产的正常玻璃基板，按如下图示在同一片玻璃的四角和正中间取50mm 50mm 的式样 5片，式样外边缘距该片玻璃边缘50mm （如图 2） ，样品分两组取样，蚀刻前A与蚀刻后 B。DONG XU JITUAN CO., LTD. 6 / 12 图 2 透过率测试点示意图2)按编号顺序使用台式分光光度计测量波长在400-1000nm范围内时的透过率，每块样品测试 4 个不同点取其平均值。3)对测量的数据进行统计并计算出蚀刻前后的透过率差值及均匀性，由测试人员给出验证报告。4.3 膜的初期面电阻值4.3.1判定标准：蚀刻完后的面电阻值 10/ 4.3.2抽检频率
11、：生产初期每班测试一次；测试点数为25 点测试法。4.3.3使用工具：手持式面电阻测试仪；4.3.4测量材料及方法：1). 选取同膜厚测试样品同片或同批次的玻璃，蚀刻完成后放在抽检台上， 依附件1 照图示顺序对样品进行测量，在每个测试点的附近连续测量四次取其平均值2）对测量的数据进行统计并计算出均匀性，由测试人员给出验证报告。4.4雾度1 2 3 4 5 50 50 50 50 DONG XU JITUAN CO., LTD. 7 / 12 4.4.1判定标准Haze范围： 10-30%4.4.2抽检频率：生产初期每天测试一次；测试点为5 点测试法4.4.3使用工具雾度测定仪；玻璃刀4.4.4
12、操作方法：1）取样，以与制品相同工艺制造的约50mm 50mm 的试片为式样，制作方法可参考 4.2.4. 2）使用符合标准的雾度测定仪，按照编号顺序对试样进行雾度测量3）计算得出雾度值并给出实验报告。4.5耐磨性4.5.1判定标准试验前后可见光透射比平均值的差值的绝对值不应大于4% ；并且膜层不能有明显的变化。4.5.2抽检频率：生产初期每天测试一次4.5.3使用工具磨耗试验机（应符合GB/T 5137.1 的规定） ；便携式分光光度计4.5.4操作方法：4）取样，以与制品相同工艺制造的约100mm 100mm 的试片为式样，或从正常生产的玻璃基板上随机制取同规格的试片作为样品。5）磨耗实验
13、前式样应符合GB/T2680的分光光度计测得图3 所示 4 点的可见光透射比，计算其平均值。DONG XU JITUAN CO., LTD. 8 / 12 6）以镀膜面为磨耗面，将试样安装在磨耗实验机的水平回转台上旋转试样，每次磨耗前应保持磨轮表面的清洁；试样旋转200次；磨耗后试样的磨痕宽度应不小于 10mm 。7）对磨耗后的试样用同样的仪器测定图3 所示的 4 点的可见光透射比，计算其平均值。8）计算磨耗前后可见光透射比平均值差值的绝对值，给出测试分析报告。4.6耐酸性4.6.1判定标准试验前后可见光透射比平均值的差值的绝对值不应大于4% ； 并且膜层不能有明显的变化4.6.2抽检频率生产
14、初期每天测试一次4.6.3使用工具便携式分光光度计；烧杯加热器；烧杯；温度计；玻璃刀4.6.4操作方法：1）取样，选取同膜厚测试样品合格的同块或同批次玻璃基板，选取合格的区域，用玻璃刀将样品切割出一块25mm*50mm 的测试片作为试样。DONG XU JITUAN CO., LTD. 9 / 12 2）用符合 GB/T2680的分光光度计测定浸渍前的可见光透射比。3）将试样浸没在（ 232） 、1mol/L 浓度的盐酸中，浸渍时间24h。4）浸渍后的试样水洗，干燥，用同一台仪器测定试样的可见光透射比。5）求出浸渍前后可见光透射比差值的绝对值并给出实验报告。4.7耐碱性4.7.1判定标准试验前
15、后可见光透射比平均值的差值的绝对值不应大于4% ； 并且膜层不能有明显的变化4.7.2抽检频率生产初期每天测试一次4.7.3使用工具便携式分光光度计；加热器；烧杯；温度计；玻璃刀4.7.4操作方法：1）取样，选取同膜厚测试样品合格的同块或同批次玻璃基板，选取合格的区域，用玻璃刀将样品切割出一块25mm*50mm 的测试片作为试样。2）用符合 GB/T2680的分光光度计测定浸渍前的可见光透射比。3）将试样浸没在（ 232） 、1mol/L 浓度的氢氧化钠溶液中，浸渍时间24h 。4）浸渍后的试样水洗，干燥，用同一台仪器测定试样的可见光透射比。5）求出浸渍前后可见光透射比差值的绝对值并给出实验报
16、告。4.8膜层附着力4.8.1判定标准：使用 3M No.610 胶带拉向面的直角方向， 30sce 后取下胶带， 观察膜表面， 无膜层脱落现象。4.8.2抽检频率：生产初期每班测试一次；4.8.3使用工具：3M No.610胶带；百格刀DONG XU JITUAN CO., LTD. 10 / 12 4.8.4操作方法：1）将待测试的玻璃基板放置测试台上，观察其表面无气泡现象。2）用百格刀按照附件1 中的示意图对测试点进行划切，长度约为10cm ；3）将 3M No.610 胶带黏贴在测试区域，黏贴长度约7cm ，30sec 后双手沿测试片垂直方向快速将胶带扯下，观察黏贴区域是否有膜层脱离现象，必要时使用放大镜观察。6. 检验规则5.1 检验分类检验分为出厂检验和型式检验5.2 出厂检验出厂检验项目为4.1, 、4.2 、4.3 、4.4 并计算出膜厚、透过率、方阻的均匀性。5.3 型式检验有下列情况之一时，应进行型式检验。a) 正式生产后，结构、材料、工艺有较
